靈活
可客製化設計以符合特定製程要求
便於保養
只需從正面進行維護，拆卸時間不到一分鐘，得益於更少的磨損零件，總擁有成本低
高效
整合濕式洗滌器的電加熱廢氣處理系統
技術規範
市場和應用
半導體
-
LPCVD/擴散
-
高流量應用
-
ALD
配件
- 廢氣入口加熱護套
- 廢氣入口 N₂ 加熱
- 用於排氣的風扇套件
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