堅固耐用
捕獲水溶性氣體和顆粒
便於保養
維護快速簡單，只需從正面進行維護相關操作
高效
淡水消耗量極低，運作成本低，正常運行時間高達 99%
技術規範
市場和應用
冶金
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真空燒結
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真空硬焊/軟焊
半導體
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剝離/灰化
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多晶矽蝕刻
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
太陽能
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電池製造
配件
- 廢氣入口加熱護套
- 廢氣入口 N₂ 加熱
- 入口清潔裝置
- 用於排氣的風扇套件