Família de produtos | Tecnologia | Médio | Gás de oxidação |
|---|---|---|---|
CT-BW | Queimador a gás | O2 ou ar comprimido seco | |
CT-PW | tocha de plasma | ar comprimido seco | |
CT-TW | aquecedor elétrico | ar ambiente | |
CT-TW-H | aquecedor elétrico, H2 | ar ambiente | |
CT-W | água | - | |
CT-D | granulado | - | |
CT-D-E | granulado | - | |
CT-D VLC | granulado | - | |
CT-PF | filtro | - |
Soluções inovadoras para um ambiente limpo
Assumimos a responsabilidade pelo gerenciamento de suas emissões e adaptamos os processos comprovados, como queima, depuração, filtragem ou absorção de poluentes, aos seus requisitos específicos.
Tipos de sistemas de redução de gás
Tratamento de gás térmico
Nossos vários sistemas de tratamento gás térmico combinam a combustão em alta temperatura de gases perigosos na câmara de reação com um processo avançado de lavagem úmida para remover de forma eficiente gases residuais e poluentes. Eles garantem a destruição efetiva de compostos perigosos e perfluorados (PFC) ao mesmo tempo em que minimizam o impacto ambiental.
Esses sistemas oferecem conformidade com regulamentos rigorosos de emissões por meio de uma abordagem comprovada e sustentável, tornando-os ideais para uma variedade de setores que exigem uma redução de gás confiável, como as indústrias de semicondutores e produtos químicos, bem como a pesquisa e o desenvolvimento.
Tratamento de gás úmido
Nossos sistemas de tratamento de gás úmido, também conhecidos como depuradores úmidos, removem eficazmente poluentes, partículas e gases solúveis dos fluxos de exaustão industrial. Através da absorção de líquidos e reações químicas, esses sistemas de redução garantem alta eficiência na remoção de gases ácidos, compostos orgânicos voláteis (COV) e poeira.
Graças à sua menor necessidade energética, o tratamento de gás úmido é uma solução confiável e versátil para atender às rigorosas regulamentações ambientais, mantendo a eficiência operacional.
Absorvedor de leito seco
A inovadora tecnologia de absorção de leito seco da Pfeiffer remove com segurança gases tóxicos e corrosivos por meio da quimiossorção utilizando um granulado especial. Isso converte os gases em sólidos estáveis e não voláteis. Os produtos químicos, agora ligados de forma permanente ao granulado, podem então ser descartados com segurança de acordo com os regulamentos locais.
Este método não requer gás combustível nem água e não produz resíduos líquidos. Portanto, fornece uma solução altamente eficiente com baixos requisitos de meios para o tratamento de gás industrial, especialmente para a indústria de semicondutores e pesquisa e desenvolvimento.
Sistemas de filtragem
Nosso filtro de partículas seco reduz ao mínimo as emissões de poeira fina. Esse sistema pode ser combinado com nosso tratamento térmico de gás para alcançar a melhor eficiência de remoção de partículas na sua categoria.
Como o filtro coleta a poeira no ponto de uso, antes do duto de exaustão, ele minimiza a necessidade de limpeza manual da exaustão a jusante. Isso reduz os custos operacionais da instalação.
Aplicações
Os sistemas de redução de gás da Pfeiffer são essenciais para manter um ambiente de produção limpo e seguro, especialmente na indústria de semicondutores. Da gravação, deposição química de vapor (CVD), epitaxia, deposição de camada atômica (ALD), implantação de íons e deposição de película fina para litografia ultravioleta extrema (EUV), nossas tecnologias avançadas garantem a remoção confiável de gases de processo perigosos diretamente no ponto de uso: tratamento de gás térmico, tratamento de gás úmido, absorvedor de leito seco e sistemas de filtragem, ou uma combinação deles.Cada setor tem requisitos e padrões de segurança únicos. Para descobrir a melhor solução de redução de gás para suas necessidades, entre em contato com nossos especialistas.
Serviços de redução de gás
Dainstalação e comissionamento à manutenção, atualizações e verificações do sistema, nossa equipe de especialistas fornece suporte personalizado para manter seu equipamento em funcionamento com o máximo desempenho.
Também oferecemos análise de custos operacionais, medições de gás por espectroscopia de infravermelho por transformação de Fourier (FTIR), fornecimento de peças de reposição e serviços de descarte, garantindo que o seu sistema permaneça seguro, em conformidade e econômico.
Projetadas para o seu processo: soluções personalizadas de redução de gás
Nossos sistemas modulares desenvolvidos internamente nos permitem adaptar cada solução às suas necessidades específicas.
FAQ
O que é um sistema de redução de gás e como ele funciona?
Os sistemas de redução de gás eliminam poluentes perigosos e gases de efeito estufa gerados durante o processo de fabricação, como na fabricação de semicondutores ou no manuseio de gases industriais. A limpeza de gases residuais é essencial para garantir que esses gases possam ser liberados com segurança na atmosfera sem causar danos a pessoas, animais ou ao meio ambiente. As diversas propriedades dos vários gases residuais significam que eles requerem diferentes tecnologias de tratamento. Entre elas estão a oxidação térmica, o tratamento úmido, a redução de leito seco, a filtragem de partículas ou uma combinação delas.
Térmico úmido: Combina a tecnologia de tratamento térmico e úmido para a redução de uma ampla variedade de gases residuais. Ele altera a composição química dos gases do processo nocivos através da oxidação térmica e dissolve gases solúveis em água, bem como subprodutos no estágio úmido a jusante.
Depurador úmido: Esse processo envolve a depuração de poluentes nocivos solúveis em água no gás de exaustão, absorvendo-os e convertendo-os na fase líquida.
Absorvedor de leito seco: Um absorvedor de leito seco é um sistema de redução de gás que remove gases residuais passando-os através de um leito absorvente sólido, onde os poluentes são ligados quimicamente ou fisicamente. Esse método trata eficientemente gases do processo nocivos, garantindo emissões seguras e em conformidade com o meio ambiente. Uma vez saturados, os absorventes são substituídos ou regenerados para a operação contínua.
Sistemas de filtragem: O filtro de partículas reduz as emissões de pó fino com elementos de filtragem a seco. Isso permite que você limpe eficientemente fluxos de ar de exaustão carregados de partículas, como os produzidos durante os processos de semicondutores propensos a partículas. Se necessário, o filtro de partículas pode ser instalado a jusante de nossos sistemas de redução de gás térmico.
Quais são as vantagens da tecnologia de redução de gás da Pfeiffer?
Os sistemas de redução de gás da Pfeiffer oferecem alta eficiência, flexibilidade e custo-benefício, tornando-os a escolha ideal para a fabricação de semicondutores e outras indústrias exigentes. Principais vantagens:
- Duráveis: Construídos com materiais de alta qualidade, nossos sistemas garantem desempenho duradouro e menores custos operacionais e pós-venda.
- Flexíveis: Oferecemos todas as principais tecnologias de redução, permitindo alta flexibilidade na escolha do sistema de acordo com as demandas da aplicação individual.
- Modulares: Nossos sistemas de redução combinam diferentes tecnologias para soluções sob medida.
- Seguros: Recursos de segurança integrados, como sensores de gás padrão, diluição de N₂ de emergência, válvulas de desvio e opções de backup garantem a máxima segurança em caso de emergência.
Como escolher o sistema de redução de gás certo para a minha aplicação?
Tipos de gases de exaustão
Diferentes sistemas de redução de gás são projetados para lidar com tipos específicos de gases. Para os gases mais comuns produzidos nas indústrias de semicondutores e produtos químicos, bem como em P&D e outras indústrias comparáveis, são recomendadas tecnologias de redução de gases residuais, como mostrado no gráfico abaixo.
Modo de operação em processos específicos
Como seu processo opera pode ter um impacto na adequação de uma determinada tecnologia de redução de gás. Uma tecnologia ideal para o processo de produção contínua pode não ser a mais econômica para a operação pouco frequente, como em P&D. E outra ainda pode ser a melhor escolha para processos de produção semicontínua ou operação parcialmente interrompida. Nossos especialistas terão prazer em ajudá-lo a identificar a tecnologia adequada para sua aplicação específica.
Requisitos específicos da instalação
A infraestrutura da sua instalação também pode ter um impacto na tecnologia mais adequada. Diferentes tecnologias de redução de gás requerem diferentes pegadas, portanto, o espaço disponível para a instalação do sistema de tratamento de gás residual deve ser levado em consideração. Além disso, o fornecimento de meios disponíveis, como eletricidade e nitrogênio, é outro fator importante, bem como os requisitos adicionais específicos da tecnologia, como oxigênio, gás combustível e fluidos.
Para encontrar o sistema de redução de gás certo, entre em contato com nossos especialistas.
Como os sistemas de redução de gás apoiam a proteção ambiental?
Estamos empenhados em minimizar o impacto ambiental das emissões de gases residuais por meio de tecnologia avançada de redução de gás. Nossos sistemas reduzem de forma eficaz as emissões nocivas, incluindo gases PFC altamente persistentes como CF4, SF6 e NF3, que têm um potencial de aquecimento global extremo. Ao limpar esses gases de forma eficiente no ponto de uso, nossos sistemas de redução de gases ajudam a proteger o clima e a reduzir as emissões industriais.
Nossas soluções de redução atendem a todos os padrões de segurança importantes e garantem conformidade com as rigorosas leis de qualidade do ar, incluindo a regulamentação TA-Luft da Alemanha. Além disso, nossas certificações ISO 14001 e ISO 9001 refletem nosso compromisso com a sustentabilidade industrial e a produção de alta qualidade.
Ao combinar tecnologia de ponta com foco na sustentabilidade, fornecemos soluções que beneficiam sua eficiência operacional e sua pegada ambiental.
A Pfeiffer também fornece planejamento personalizado para soluções de redução de gás?
Cada instalação tem requisitos únicos, razão pela qual os sistemas de redução de gás da Pfeiffer apresentam um design modularque pode ser personalizado segundo suas necessidades específicas de tratamento de gás residual. Trabalhamos em estreita colaboração com você para desenvolver uma solução eficiente, econômica e sustentável adaptada ao seu processo e aplicação.
Como fornecedor de serviços completos, garantimos o planejamento detalhado do projeto, da consulta inicial até o comissionamento, e continuamos a apoiá-lo com o pós-venda e serviço abrangentes para manter seu sistema funcionando com o máximo desempenho.
Soluções personalizadas de redução de gás
O que torna a Pfeiffer líder em inovação em redução de gás?
Na Pfeiffer, a inovação está no centro de todos os nossos sistemas de redução de gás. Como líder mundial em tecnologia e fornecedor único de tecnologias de redução, fornecemos as soluções mais avançadas e eficientes para padrões industriais mais limpos e sustentáveis, especialmente na fabricação de semicondutores.
Nosso laboratório de pesquisa interno nos permite seguir desenvolvendo continuamente tecnologias ambientais de ponta. Além disso, colaboramos ativamente com universidades e institutos de pesquisa, apoiando o desenvolvimento de novos processos de fabricação, garantindo a redução de gás de forma segura e em conformidade com os processos.