- Modulable
- Fiable
- Facilité d'entretien
Traitement thermique des gaz
De nombreuses industries utilisent des gaz nocifs qui doivent être éliminés avant que les gaz résiduaires ne soient rejetés dans l’atmosphère. Dans le traitement thermique des gaz, ces substances sont détruites à des températures très élevées, puis lavées à l’étage humide en aval. Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions propose plusieurs technologies différentes pour obtenir les résultats les plus durables.
Ces solutions sont idéales pour les procédés de l’industrie des semi-conducteurs, ainsi que pour la fabrication de panneaux photovoltaïque, de LED et de divers produits chimiques.
Chacun de nos systèmes de traitement peut être adapté individuellement pour répondre à vos besoins spécifiques. Notre équipe examinera votre procédé en détail et vous recommandera la solution idéale de traitement des gaz résiduaires.
Les avantages
Haute efficacité et traitement intelligent par un contrôle de procédé adaptatif
Chambre de combustion rincée et refroidie à l’eau, allongeant considérablement les intervalles de maintenance
Étage de laveur supplémentaire pour les gaz hydrosolubles et les particules qui ne peuvent pas être traités par un système exclusivement thermique
Découvrez notre série de produits
CT-BW brûleur-laveur
Avantages du système brûleur-laveur CT-BW
Le système brûleur-laveur CT-BW offre une grande efficacité de nettoyage des gaz de procédé et des perfluorocarbures (PFC), avec une élimination fiable des sous-produits gazeux et particulaires.
Ce système de traitement consomme un minimum de media grâce à son contrôle de la puissance du brûleur en fonction du procédé, optimisant ainsi l'efficacité dans différentes conditions de fonctionnement. Sa configuration hautement flexible permet une adaptation précise aux exigences du procédé. Ces variations incluent le nombre d’entrées par module, le type de média et le type de redondance. En outre, des fonctions de sécurité intégrées telles qu’une fonction de dérivation, une surveillance de la température dans le circuit d’eau et un capteur de fuite de gaz sont incluses de série. Le CT-BW est fiable, avec une disponibilité supérieure à 98 % et des besoins de maintenance minimaux. L’armoire de commande intégrée de série dans le CT-BW peut piloter jusqu'à quatre systèmes CT-BW en parallèle, ainsi que des configurations de redondance personnalisées qui sont disponibles pour assurer un fonctionnement en continu, même en cas de panne.
Avantages du système thermique-laveur CT-TW
Le système thermique-laveur CT-TW est de conception économique pour le traitement des gaz résiduaires. Il fonctionne sans alimentation externe en gaz combustible ou en oxygène, ce qui réduit au minimum les besoins en infrastructure et les coûts d'exploitation. De plus, les frais d'entretien sont faibles grâce aux longs intervalles de maintenance et au nombre réduit de pièces d’usure.
Cet entretien peu fréquent et planifiable, ainsi que la forte disponibilité du système, garantissent des performances fiables avec un minimum de perturbations du procédé. Le système peut être adapté aux exigences spécifiques du client, avec jusqu'à six entrées et en fonction du type de media. En outre, des configurations de redondance personnalisées peuvent être mises en œuvre pour garantir un fonctionnement en continu, même en cas de panne.
Avantages du système hybride thermique-laveur CT-TW-H
Le système hybride thermique-laveur CT-TW-H est une solution de traitement des gaz résiduaires chauffée électriquement et dotée d’un laveur humide intégré et d’un booster d’hydrogène. Cette configuration de booster dédiée brûle l’hydrogène injecté pour créer une augmentation sélective de la température de combustion lorsque le procédé et les gaz spécifiques l’exigent. Cela permet un traitement efficace des gaz de procédé exigeants dans une large gamme d’applications.
Le système associe des coûts d’exploitation faibles à de longs intervalles de maintenance et une forte disponibilité, garantissant des interruptions minimales. Une architecture système flexible signifie que le CT-TW-H peut être personnalisé en fonction des exigences client spécifiques, avec des configurations de redondance personnalisées disponibles pour maintenir le fonctionnement du système même en cas de panne.