Systèmes d'analyse de gaz résiduels

Le HiCube Neo RGA peut fonctionner dans une plage de pression allant de l’atmosphère au vide poussé. Il est équipé d’une vanne d’arrêt intégrée pour un réglage précis de la pression d’aspiration. Pour une protection supplémentaire, le système est équipé d’un transmetteur DigiLine complet, qui protège le spectromètre de masse par une surveillance continue de la pression totale. Si la pression dépasse des niveaux sûrs, le transmetteur déclenche automatiquement l’arrêt du filament à l’intérieur du spectromètre de masse, évitant ainsi tout dommage. Ce mécanisme garantit que le système est protégé contre les erreurs de fonctionnement et élimine le besoin de remplacements coûteux des filaments, ce qui permet d’économiser sur les coûts de maintenance à long terme.

Le HiCube Neo RGA offre des entrées et sorties numériques et analogiques, permettant la collecte de données externes telles que la pression ou le débit de gaz. Ces données peuvent ensuite être transférées vers des unités de contrôle externes, ce qui permet une surveillance complète du procédé.

Le HiCube Neo intégré peut être contrôlé intuitivement via son écran tactile, qui affiche non seulement les valeurs mesurées, mais aussi les signaux des composants externes connectés tels que les jauges à vide. Vous avez ainsi un contrôle total sur votre analyse. Le logiciel PV MassSpec permet un accès facile et rapide à vos données.

Le HiCube Neo RGA peut être personnalisé pour s’adapter à vos procédés spécifiques. Par exemple, le récepteur – la chambre dans laquelle le vide est généré – peut être équipé d’un dispositif de chauffage. Cela permet d’évaporer les éventuels gaz résiduels qui ont pu s’adsorber sur les parois de la chambre. Pendant le fonctionnement, ces gaz piégés peuvent se libérer graduellement et interférer avec les mesures, créant un signal de fond indésirable. Grâce au chauffage de la chambre, ces gaz résiduels sont désorbés et évacués, ce qui réduit la contamination et améliore la précision de votre analyse. Le système peut également être équipé de soupapes d’aspiration manuelles supplémentaires pour plus de flexibilité dans la manutention des échantillons. De plus, lorsqu’il est monté sur un chariot, le HiCube Neo RGA devient une solution mobile, permettant un transport et une utilisation faciles dans différents emplacements de montage.

La sélection du spectromètre de masse quadripôle (PrismaPro ou HiQuad Neo) et la détermination du nombre de chambres ont une influence significative sur la limite de détection atteignable. Dans le système standard, il y a deux chambres, l’une dans laquelle se trouve l’échantillon de test et l’autre dans laquelle se trouve le spectromètre. Si nécessaire, cette structure peut être complétée par une troisième chambre, la chambre de verrouillage. Cela évite la contamination de la chambre de mesure par l’environnement et réduit considérablement l’arrière-plan. En étuvant le système, il est conditionné de manière optimale, ce qui augmente encore la capacité de mesure.

Dans le domaine des systèmes personnalisés, nous avons encore plus à offrir que des systèmes d’analyse de gaz résiduels. Notre connaissance des exigences des marchés des semi-conducteurs, pharmaceutiques, métallurgiques et émergents, acquise au fil de nombreuses années d’expérience, nous permet de développer des systèmes à la pointe de la technologie qui vous aident à vous imposer dans votre secteur. Par exemple, nous avons développé des systèmes de gestion de la contamination qui visent à identifier et minimiser les contaminants et à optimiser les procédés de fabrication à chaque étage. Pour des rendements plus élevés grâce à une meilleure qualité et des temps de cycle plus courts.

Outre les unités autonomes, nous proposons également des solutions modulaires que vous pouvez intégrer à votre système. Il s’agit notamment de notre module de test de fuite (en abrégé LTM), que vous pouvez intégrer dans votre ligne de production pour la production en série. Pour la présérie, il est également disponible en tant que banc de test individuel pour la qualification manuelle. Les modules configurables spécifiques au client peuvent couvrir toute la gamme de méthodes d’essai et de paramètres, et sont partiellement assemblés par nos soins. Grâce à notre expérience dans l’intégration mécanique et logicielle, nous apportons un support à nos clients dans la mise en œuvre de leur solution.