Hohe Temperatur und hoher Durchfluss
Großer Anwendungsbereich, hohe Korrosionsbeständigkeit
Selbstdiagnose
Eingebauter Sensor für Leistungsdiagnose, Wartungsoptimierungen und externe Kommunikation
Wirtschaftlich
Optimiertes Temperaturmanagement, geringer Strom- und Kühlwasserverbrauch, niedrige Betriebskosten
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Display
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Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Halbleiter
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Poly-Silizium-Ätzen
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
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PECVD
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Lithografie
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Metall- & High-k-Ätzen
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Oxid-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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Kobalt, WCVD, TiN & TDMAT
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ALD
Dünnfilmbeschichtung
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Optische Beschichtung
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Dekorative Beschichtung
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Verschleißschutzbeschichtung
Zubehör
- Sperrgas-Spülventil
- Kühlwasserventil
- Fernbedienung
- Schutzfilter für Saugflansch
- Montagesatz
- Saugflansche: VG350 oder VG400
- Abluftflansche: DN40 oder DN50
- Verschiedene Heizoptionen
- Zusätzliche Zwischenspülung für harte Prozessbedingungen
- Rotortemperatursensor
- Spülsensor
- Eingangsleistung: 200, 440 oder 480 VAC