Vakuumkammern

Eine Vakuumkammer ist ein hermetisch abgedichteter Behälter, aus dem Luft und Gase entfernt werden, um eine kontrollierte Niederdruckumgebung zu kreieren.

Sie schafft die sauberen, stabilen Bedingungen, die für Prozesse wie Dünnfilmbeschichtung, Halbleiterproduktion, Simulation von Weltraumbedingungen, Analytik und Forschungsexperimente erforderlich sind.

Je nach Design bieten Vakuumkammern Fein-, Hoch- oder Ultrahochvakuumbedingungen (UHV). Sie bestehen in der Regel aus Edelstahl oder anderen Materialien wie Aluminiumlegierungen.

Es gibt keinen Unterschied – die Begriffe Vakuumbehälter und Vakuumkammer werden synonym verwendet, um einen abgedichteten Behälter zu beschreiben, aus dem Gase und Luft entfernt werden, um eine Niederdruckumgebung zu kreieren.

Unsere Vakuumkammern sind für Fein-, Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen (UHV) erhältlich.

Vakuumkammern werden bevorzugt aus Edelstahl hergestellt, weil dieses Material korrosionsbeständig ist, bei hohen Temperaturen ausgeheizt werden kann und äußerst niedrige Leck- und Permeationsraten aufrechterhält.

Es können verschiedene Oberflächenbehandlungen und -veredelungen angewendet werden, um die für eine bestimmte Anwendung erforderliche Sauberkeit, Glätte und chemische Beständigkeit in einer Vakuumkammer zu erreichen.

Kleinere Unregelmäßigkeiten können durch Glasperlenstrahlen entfernt werden, was für eine gleichmäßige Oberfläche sorgt. Schleifen wird verwendet, um Unebenheiten zu beseitigen und ein gleichmäßiges Finish zu erzielen. Chemische Prozesse wie Säuretauchbäder und Passivieren helfen bei der Reinigung. Für UHV-Anwendungen wird Elektropolieren eingesetzt, um eine besonders glatte, kontaminationsfreie Oberfläche zu erzeugen. Und schließlich können durch anodische Reinigung stabilere Oberflächen erzielt und Schadstoffe entfernt werden.

Die Wahl des Materials hängt von den Anforderungen der Anwendung ab. Edelstahl ist aufgrund seiner geringen Ausgasung und seiner Beständigkeit gegenüber Ausheizen ideal für UHV-Anwendungen, während Aluminium bevorzugt zum Einsatz kommt, wenn die Kammer leicht sein muss.

Für Ultrahochvakuumkammern müssen typischerweise folgende kritische Aspekte sorgfältig berücksichtigt werden:

Vakuumkammern können in verschiedenen Formen und Geometrien gefertigt werden, um sie an den jeweiligen Prozess anzupassen. Zu den Standarddesigns gehören zylindrische (horizontale oder vertikale), kubische und rechteckige Kammern, die in verschiedenen Durchmessern und Längen erhältlich sind.

Für spezielle Setups gestalten wir auch kundenspezifische Geometrien. Diese Flexibilität gewährleistet eine optimierte Vakuumumgebung, unabhängig davon, ob es sich um eine Anwendung aus der Halbleiterproduktion, Beschichtung, Simulation von Weltraumbedingungen oder analytischen Forschung handelt.

Unter Ausgasung versteht man die Freisetzung von eingeschlossenen Gasen oder Dämpfen aus Materialien in einer Kammer, wodurch das erreichbare Vakuumniveau begrenzt sein kann.

Vakuumkammern von Pfeiffer bestehen in der Regel aus Edelstahl und können elektropoliert, chemisch passiviert und vakuumgeglüht werden, um Ausgasung zu minimieren und langfristig eine stabile Leistung sicherzustellen.

Ja. Pfeiffer bietet maßgeschneiderte Vakuumkammerlösungen, einschließlich angepasster Baugrößen, Speziallegierungen, durchsichtiger Kammertüren, Wasserkühlung oder -heizung (Pillow-Plate), Heizmanschette, Reinraummontage sowie Integration mit Vakuumpumpen, Messgeräten und Lecksuchern aus unserem eigenen Portfolio.

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Ein Pillow-Plate ist eine vollständig verschweißte Platte aus zwei übereinanderliegenden Metallblechen, die durch eine Schweißnaht entlang der Kanten und ein inneres Punktmuster verbunden sind. Nach dem Schweißen wird die Platte hydraulisch aufgeblasen, um einen Hohlraum zwischen den Blechen zu erzeugen, in dem ein Heiz- oder Kühlmedium zirkulieren kann. Durch seine hohle, aufgeblasene Struktur ist das Pillow-Plate leicht, stabil und langlebig.

Pillow-Plates erfüllen zwei Hauptzwecke:

1. Sie helfen, die erforderlichen Vakuumbedingungen schnell zu erreichen, da sie eine optimale Temperatur in der Kammer und damit bestimmte günstige Bedingungen ermöglichen.
Durch Erwärmen der Kammerwände wird die Desorption von Restgasen beschleunigt. Durch Kühlen kann Ausgasung reduziert und der Prozess stabilisiert werden, sobald der Basisdruck erreicht ist.

2. Sie sorgen für eine stabile und gleichmäßige Temperatur in der gesamten Kammer und minimieren so die Auswirkungen der Umgebungstemperatur auf den Prozess. Dies ist besonders wichtig bei temperaturempfindlichen Anwendungen, wie z. B. optischen Prozessen. Außerdem trägt es zur Verbesserung der Energieeffizienz bei, da Temperaturschwankungen reduziert und somit nicht kompensiert werden müssen.

Mit unseren hochwertigen Vakuumkammern in Einzel- und Serienproduktion bieten wir maßgeschneiderte Vakuumtechnologie für anspruchsvolle Anwendungen.

Pfeiffer liefert alleProzessschritte aus einer Hand, einschließlich Anwendungsberatung, Auslegung, Fertigung, Qualitätssicherung, Montage und Vor-Ort-Service.

Die wichtigsten Vorteile unserer Vakuumkammern:

Ja, Vakuumkammern von Pfeiffer werden nach einem zertifizierten Qualitätssystem gefertigt. Darüber hinaus entsprechen sie internationalen Normen.

Unsere Zertifizierungen im Überblick: