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ARGOS. Digitale Halbleiterservices von Pfeiffer.

Ihr zuverlässiger Partner zur Reduzierung von Stillstandszeiten

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ARGOS ist ein umfassender Service für die vorausschauende Wartung vor Ort, der alle Ereignisse und Veränderungen in Ihrer Halbleiterfabrik überwacht. ARGOS ist darauf ausgelegt, die Verfügbarkeit kritischer Ausrüstung zu gewährleisten, und kombiniert das umfassende Fachwissen von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions in der Halbleiterindustrie mit einer Premium-Servicelösung. Erkennen Sie Equipmentausfälle, bevor sie auftreten – und halten Sie Ihren Produktionsprozess ohne Unterbrechungen am Laufen.

Oder rufen Sie uns direkt an: +49 (0)6441 802-0

Wozu benötigen Sie ARGOS?

In einer Halbleiterfabrik werden in der Regel 20-25 % der Vakuumpumpen und Reinigungssysteme als kritisch eingestuft – also als Equipment, welches dafür sorgt, dass der gesamte Prozess reibungslos weiterlaufen kann. In Kombination mit unserer Expertise in der Halbleiterindustrie hält ARGOS diese kritischen Bereiche, und damit Ihre gesamte Halbleiterfabrik, am Laufen. Mit der Echtzeitüberwachung rund um die Uhr erhalten Sie eine kontinuierliche Übersicht über die Leistung Ihrer Vakuum- und Abgasreinigungsanlagen. ARGOS kann zudem Equipmentausfälle oder erforderliche Wartungen vorhersagen, bevor es zu spät ist – wodurch letztlich Stillstandszeiten minimiert werden und Sie Geld sparen.

Warum sollten Sie sich für ARGOS als Service entscheiden?

Ein Service – nicht nur ein Tool
ARGOS ist mehr als nur Alarme und Dashboards. Es wird zu weniger unerwarteten Ausfällen kommen, Sie werden bessere Wartungsentscheidungen treffen können und von einer höheren Verfügbarkeit Ihrer Anlagen profitieren.

Expertise
Dank unseres unübertroffenen Fachwissens über Vakuumequipment, Reinigungssysteme und Ventile in der Halbleiterindustrie kennen wir Ihre Anwendung genau. Unsere Techniker nutzen diese Expertise, um Daten in Maßnahmen umzusetzen, auf die Sie vertrauen können.

Installation ohne Unterbrechung
Sie müssen kein Equipment abschalten: Die ARGOS-Box wird über ein Plug&Play-Gateway mit drei Kabeln installiert, ohne dass Ihr Prozess unterbrochen wird.

Herausragende Transparenz
ARGOS basiert auf standardisierten Schnittstellen der Industrie 4.0 und lässt sich daher direkt in Ihre bestehenden Systeme integrieren. Dieses offene Konzept für den Datenaustausch zwischen Teams und autorisierten Partnern sorgt für schnellere Entscheidungsfindung, reibungslose Zusammenarbeit und einen vollständigen Einblick in Ihre Fabrik ohne Lieferantenabhängigkeit. Das heißt, wenn Sie später den Anbieter wechseln möchten, können Sie dies schnell und mit minimalem Aufwand tun.

Abgesichert und vor Ort
Ihre Daten sind sicher. Alle von ARGOS erfassten Daten werden lokal – innerhalb der Infrastruktur der Fabrik – gesammelt und verarbeitet, um vollständige Datenkontrolle, Datenschutz und Cybersicherheitskonformität zu garantieren. ARGOS ist nicht auf Cloud- oder Internetverbindungen angewiesen.

Zuverlässige Leistung
Wir gewährleisten die Verfügbarkeit Ihres Equipments. Stillstandszeiten führen zu Umsatzeinbußen und können sogar die Verschrottung von Wafern erforderlich machen. Mit ARGOS möchten wir die Stillstandszeiten Ihrer Anlagen um mindestens 50 % reduzieren.

Unsere digitale Servicelösung für Ihre Halbleiterfabrik

ARGOS ist eine umfassende Lösung für die vorausschauende Wartung, die fortschrittliche Software mit menschlicher Expertise und einem klaren Standardverfahren kombiniert, bei dem auf jede Warnmeldung eine Maßnahme folgt.

Die perfekte Kombination aus Mensch und Technologie

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Zum ARGOS Service gehört unter anderem Ihr Techniker für vorausschauende Wartung: ein Experte von Pfeiffer, der ausschließlich für Ihre Fabrik zuständig ist. Als menschliches Bindeglied zwischen Ihnen und ARGOS sitzt er bei Ihnen vor Ort. Seine Branchenerfahrung und sein Wissen über die eingesetzte Technologie schaffen eine Lösung, die über reine Software hinausgeht.

Der Techniker erstellt einen digitalen Zwilling Ihrer Fabrik – eine digitale Kopie Ihrer physischen Anlagen – und hält dort jede installierte oder entfernte Vakuumpumpe nach. Dann behält ARGOS alles im Blick.

Mithilfe fortschrittlicher vorausschauender und Machine-Learning-Technologie erkennt ARGOS potenzielle Anomalien in Ihrem System und gibt daraufhin einen Alarm aus. Ihr Techniker für vorausschauende Wartung wird umgehend benachrichtigt. Er klassifiziert und analysiert das Ereignis, damit ARGOS lernen kann – Fehlalarme zu ignorieren oder ein schwerwiegendes Problem noch früher zu erkennen. Schließlich teilt er Ihren Technikern mit, welche Maßnahmen nun genau erforderlich sind.

Wie funktioniert ARGOS?

Strategische Ausrichtung

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Vor der Aktivierung jeglicher Soft- oder Hardware analysiert der Techniker für vorausschauende Wartung mit Ihnen zusammen Ihre Installationen. Gemeinsam weisen Sie jeder Vakuumkammer eine bestimmte Risikokategorie zu und erstellen so eine Heatmap. Diese Heatmap zeigt die jeweilige Wahrscheinlichkeit eines Ausfalls einer bestimmten Anlage und deren Bedeutung für den Prozess an. In der Regel können 20-25 % der Vakuumpumpen und Reinigungssysteme in einer Halbleiterfabrik als kritisch eingestuft werden – was bedeutet, dass ihr Ausfall die Wafer-Produktion zum Stillstand bringen könnte.

Auf der Grundlage dieser Heatmap entscheiden Sie, welche Risikostufen Sie managen möchten – ob nur die kritische Ausrüstung oder auch Equipment mit geringem Risiko.

Überwachung

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ARGOS ist eine Plug&Play-Lösung, die mit nur drei Kabeln sehr schnell nachgerüstet werden kann – Sie müssen kein Vakuumequipment ins Servicezentrum schicken. Gleich nach der Installation beginnt die ARGOS Box mit der kontinuierlichen Überwachung Ihres Equipments. Dazu analysiert sie Temperatur, Vibrationen und Leistungsaufnahme. Diese Echtzeitdaten werden auf Ihrem Server vor Ort aufgezeichnet und eventuelle Anomalien werden gekennzeichnet.

Regelmäßige Berichte

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Sie erhalten Berichte in zwei verschiedenen Intervallen, damit Sie Ihr Equipment im Blick behalten können: Der Wochenbericht fasst die Aktivitäten der vergangenen sieben Tage zusammen. Im Monatsbericht wird die Gesamtleistung aller von ARGOS überwachten Anlagen detailliert erläutert. Mithilfe dieser Zusammenfassungen können Sie die Risiken verstehen und die richtigen Entscheidungen für Ihr Equipment treffen. Und natürlich nimmt Ihr zuständiger Techniker alle notwendigen Anpassungen vor.

Jede Woche wird ein Serviceplan erstellt. Dieser skizziert die risikoreichsten Vakuumpumpen basierend auf der von Ihnen und Ihrem Techniker festgelegten Kategorie, dem Zustand der Vakuumpumpe und ihrer Laufzeit. Außerdem wird Equipment hervorgehoben, das das Ende seiner vorgesehenen Lebensdauer erreicht, und es werden Handlungsempfehlungen gegeben.

Fehleranalyse

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Um Rückverfolgbarkeit zu gewährleisten und kontinuierliche Verbesserungen voranzutreiben, werden alle unerwarteten Ausfälle und jedes ungewöhnliche Verhalten sorgfältig analysiert. Wir führen eine vollständige Ursachenuntersuchung durch und erstellen einen Bericht für Sie. Gemeinsam finden und besprechen wir die Lösung, die Ihr Techniker für vorausschauende Wartung umsetzt, um zu verhindern, dass das Problem erneut auftritt.

Durchgängige Unterstützung als Ihr Co-Pilot

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ARGOS ist Ihr Co-Pilot im Alltag. Er sorgt für einen reibungslosen Betrieb Ihres Equipments und für ein nahtloses Asset-Management. Aber ARGOS ist mehr als nur Software und Berichte. Sie haben darüber hinaus einen engagierten Techniker für vorausschauende Wartung an Ihrer Seite, der sein Fachwissen teilt, Wartungsarbeiten durchführt, eine wirksame Strategie für die vorausschauende Wartung entwickelt und die erforderlichen Optimierungen umsetzt, die von ARGOS vorgeschlagen werden. Wir vereinen menschliches Fachwissen mit Technologie für höchstmögliche Verfügbarkeit Ihres Equipments.

Vorausschauende Wartung in der Halbleiterproduktion

In einer Halbleiterfabrik herrschen lange Vorlaufzeiten und ein rund um die Uhr laufender Produktionsplan, weshalb jede Minute Stillstandszeit einen Umsatzverlust bedeutet. Daher muss unbedingt auf zuverlässiges Equipment geachtet und die routinemäßige Wartung so geplant werden, dass der Prozess nicht unterbrochen wird. Hierbei hilft die vorausschauende Wartung mit ARGOS.

Durch eine optimierte Wartung Ihres Vakuumequipments – eine Wartung im richtigen Umfang und zur richtigen Zeit – können Sie und Ihre Fabrik Geld sparen. Nicht nur bei den Wartungskosten, sondern auch durch die Reduzierung von Ausfällen und die Vermeidung von Runderneuerungen.
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Reaktiv
Bei der reaktiven Wartung wird das Equipment im Falle einer Störung oder eines Ausfalls repariert und seine Funktionsfähigkeit wiederhergestellt. Dies wird auch als korrektive Wartung bezeichnet.

Geplant
Geplante Wartung bezieht sich auf planmäßige Wartungsarbeiten, die unabhängig vom tatsächlichen Zustand oder der aktuellen Leistung des Equipments durchgeführt werden.

Proaktiv
Proaktive Wartung ist eine Strategie, die darauf abzielt, die Ursachen für Equipmentausfälle zu ermitteln und zu beheben, bevor es zum Ausfall kommt.

Vorausschauende Wartung
Durch die Analyse der vom Equipment aufgezeichneten Daten können Störungen oder Ausfälle vorhergesagt werden, bevor sie auftreten. Auf dieser Grundlage kann ein Wartungsplan erstellt werden, der darauf abzielt, zukünftige Ausfälle zu vermeiden.

Lokale vs. Cloud-Softwarelösungen in der Halbleiterindustrie

Datensicherheit hat in der Halbleiterindustrie oberste Priorität. Ob für die Intelligenz in autonomen Fahrzeugen oder den Motor des schnell wachsenden KI-Sektors: Jede Fabrik verfügt über eigene geschützte Informationen, Designs und Forschungsergebnisse, die wichtige Technologiebereiche voranbringen. Cyberangriffe können verheerend sein und zu erheblichen finanziellen Schäden, Verlust von Forschungsergebnissen und Diebstahl geistigen Eigentums führen – was nicht nur Umsatzverluste bedeutet, sondern auch Sicherheitslücken in den Technologien, die die betroffenen Chips enthalten.

Wir sind uns dessen bewusst. Aus diesem Grund bleiben alle von ARGOS erfassten Informationen bei Ihnen vor Ort. Anders als bei SaaS-Servicemodellen (Software as a Service), die eine Internetverbindung erfordern und kontinuierlich Daten in die Cloud hochladen, verlässt nichts Ihre Räumlichkeiten. ARGOS benötigt keine externen Verbindungen, die Ihre Netzwerke anfällig für Angriffe machen könnten. Unsere Software wird ausschließlich auf einem Ihrer Server bereitgestellt, der sich vor Ort in Ihrer Halbleiterfabrik befindet.

Durch ungeplante Stillstandszeiten verursachte Kosten

Ein unerwarteter Ausfall kann in der Halbleiterproduktion enorme Kosten verursachen. Durch eine Verringerung der Ausfallhäufigkeit kann eine Fabrik daher erhebliche Kosten sparen. Betrachten wir ein typisches Szenario, in dem eine Kammer aufgrund einer ausgefallenen Vakuumpumpe stillsteht.

  • Kosten für die Verschrottung von Wafern bei einem Ausfall: 5.000 Dollar
  • Kosten für die Wiederinbetriebnahme der Kammer: 1.000 Dollar
  • Verlust pro Stunde Stillstandszeit: 5.000 Dollar
  • Gesamtkosten bei einem 24-stündigen ungeplanten Ausfall pro Kammer: 126.000 Dollar

In einer Halbleiterfabrik mit 500 installierten Vakuumpumpen und einer Ausfallrate von 10 % pro Jahr würde dies einen jährlichen Verlust von 6.300.000 Dollar bedeuten.

Ziel von ARGOS ist es, die Ausfallrate um 50 % zu senken – wodurch die Halbleiterfabrik in diesem Beispiel 3.150.000 Dollar pro Jahr einsparen würde.
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FAQ

Welche Daten überwacht ARGOS?

ARGOS überwacht alle relevanten Vakuumpumpendaten, wie z. B.:

  • Abgasdruck
  • Ansaugdruck
  • Energieverbrauch
  • Betriebsstunden
  • Verbleibende Zeit bis zur nächsten geplanten Wartung
  • Vibrationsniveau
  • Abgasgegendruck
  • Ablufttemperatur
  • Vakuumpumpentemperatur
  • Kühlwasserdurchfluss

Muss ich die Wafer-Produktion während der Installation von ARGOS stoppen?

Nein, ARGOS kann ganz ohne Unterbrechung Ihres Prozesses installiert werden. Die Box wird extern und über nur drei Kabel angeschlossen. Ihr Kundendiensttechniker kann dies vor Ort durchführen, ohne dass das Vakuumequipment ins Servicezentrum gebracht werden muss. Die Box ist dann auch sofort einsatzbereit.

Nutzt die ARGOS Box proprietäre Anschlüsse?

Nein, ARGOS nutzt ausschließlich Anschlüsse, die dem Industriestandard entsprechen. Das schenkt Ihnen Flexibilität: Die Integration von ARGOS ist einfach, und sollten Sie sich in Zukunft für eine andere Überwachungslösung entscheiden, können Sie problemlos zu einem neuen Anbieter wechseln.

Wie stellt ARGOS sicher, dass Alarme korrekt sind?

Sollte es vermehrt zu Fehlalarmen kommen, löst Ihr Techniker für vorausschauende Wartung eine kontrollierte Neukalibrierung der Algorithmen aus, ohne zusätzliche Risiken einzugehen, damit die Analysen relevant und genau bleiben. Dieser geschlossene Regelkreis sorgt für genaue Vorhersagen, verlängert die mittlere ausfallfreie Zeit (MTBF, Mean Time Between Failures) und stimmt die Wartung auf den tatsächlichen Zustand des Equipments ab. So werden Stillstandszeiten, Wartungsaufwand, Energieverbrauch und Kosten gesenkt.

Wie sicher sind meine Daten bei ARGOS?

Ihre Daten sind so sicher wie Ihre Halbleiterfabrik. Im Gegensatz zu den meisten cloudbasierten Lösungen verfügt ARGOS über keine Internet- oder Cloud-Verbindung; stattdessen verbleiben alle Daten auf einem Server bei Ihnen vor Ort. Ohne externe Verbindung ist ARGOS weniger anfällig für Sicherheitsverletzungen oder Angriffe.

Was ist der Unterschied zwischen ARGOS und OTTO – Digitale Services von Busch?

ARGOS und OTTO erfüllen weitgehend den gleichen Zweck: Sie überwachen die Vakuumpumpenleistung, ermöglichen die Zustandsüberwachung aus der Ferne und optimieren die Wartung mit dem Ziel, Stillstandszeiten zu reduzieren. Allerdings kann OTTO in praktisch jeden industriellen Prozess integriert werden, während ARGOS speziell für die Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt wurde, um den unterbrechungsfreien Betrieb der kritischsten Ausrüstung sicherzustellen.