정확한 누출 위치 확인을 위한 헬륨 스프레이
대형 진공 시스템에서 작은 누출이라도 성능 저하, 공정 오염 또는 작동 지연을 초래할 수 있습니다. 압력 상승 또는 하강 검사 시 누출 여부를 나타내는 경우가 많습니다. 다음 단계는 위치를 빠르고 안정적으로 탐 지하는 것입니다.바로 여기에서 헬륨 스프레이가 필수적입니다. 이 검출 방법은 광범위한 압력 범위에서 매우 효과적이며b 정성 분석을 지원합니다.b
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헬륨 스프레이는 단순히 누출이 존재하는지 확인하는 것이 아니라 '누출 감지기'를 진정한 누출 감지기로 전환합니다.
반도체 제조 시 과제
시스템 제작 시의 과제
UHV 환경의 과제
(예: 진공 용광로 또는 코터)
ASM 340
ASM 310
ASM 390/392
누출의 원인은 다음과 같습니다.
트랩된 가스 (종종 수증기)가 스크류 나사산 또는 다공성 재료와 같은 공동에서 천천히 방 출될 때 가상 누출이 발생합니다. 실제 발생한 것은 아니지만 이러한 가스 배출은 누출로 오해받을 수있습니다.
분압 조건 하에서 감지하기 어 려울 수 있으며 누출 감지를 위해 매우 민감한 방법이 필요합니다. 이를 식별하려면 고정밀 헬륨 누출 감지기 또는 확장된 모니터링 기능이 필요합니다.
아니요. WD-40은 특히 1×10−³ hPa 미만의 진공 환경에서 오일 잔류물과 오염물을 남깁니다. 대신 이소프로판올 또는 기타 알코올 기반 액체를 사용하십시오. 이 액체는 깨끗하게 증발하여 누출 위치를 표시하고 일시적으로 밀봉 합니다.
헬륨은 특히 진공 환경에서 여러 누설 테스트 방법에 걸쳐 선호되는 추적 가스입니다.
이유는 다음과 같습니다.
최신 헬륨 누출 감지기(예: ASM 시리즈) 지지대:
사용 가능한 누설 테스트 방법 중 헬륨 스프레이는 가장 관련된 누출을 감지하기에 충분한 정확도를 제공합니다. 헬륨 스프레이는 절대 속도 측정 대신 현지화를 위한 것입니다. 누출 감지는 최대 약 10−⁷ - 10−⁹ mbar∙l/s - 대부분의 진공 애플리케이션/응용 분야.
여러분을 위한 장점:
헬륨 스프레이 및 스니핑은 진공 누설 테스트 방법 중 두 가지에 불과합니다. 선택은 압력 조건 및 시스템 진공 상태 또는 공기 충전 여부에 따라 달라집니다.
헬륨 스프레이 | 헬륨 스니핑 | |
|---|---|---|
헬륨 흐름 | 외부 → 내부 | 내부 → 외부 |
응용 프로그램 유형 | 진공 상태인 챔버 | 압력이 가해진 챔버 |
헬륨 수량 | 소형, 제어 가능 | 최대 압력으로 가압됨 |
대부분의 검출기는 두 모드를 모두 지지대 입니다. 진공 누출 검출의 경우 스프레이가 가장 효율적이고 비용 효율적인 접근법으로 남아 있습니다.
대형 시스템에서는 헬륨이 누출 경로를 통과하는 데 시간이 걸릴 수 있습니다. 최적화:
예, 특히 공기 또는 기타 가스 유입으로 인한 누출 검출 시 사극자 질량 분석계(QMS)와 같은 대체 방법은 추가적인 정확도를 제공합니다.
QMS는 질소, 수증기 또는 아르곤과 같은 가스를 감지할 수 있습니다. 진단, 제약 및 R&D 환경에서 유용하며, 질량 대 전하 비율을 통해 누출 여부를 분석하다.
선택은 이동성, 반응 시간, 흡입 용량 및 통합 유연성을 포함 한 설정 요구 사항을 반영해야 합니다.
올바른 공구 를 사용하면 헬륨 누출 감지를 보다 정밀하고 효율적으로 수행할 수 있습니다.
주요 액세서리 포함: