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전 세계

사중극자 질량 분석기

가스 조성 분석을 위한 장치

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질량 분석 분석법은 물질의 화학적 조성을 조사하기 위해 널리 사용되는 분석 방법입니다. 당사의 (잔류) 가스 분석 장치는 모두 사중극자 질량 분석기(QMS)를 핵심으로 합니다.

제품군

기본 부품

감지기

패러데이 검출기(F)는 더 낮은 압력이 필요한 패러데이/C-SEM 결합 검출기(M)에 비해 더 높은 압력에서 작동해 작동 압력에 따라 다른 검출기가 사용됩니다. 그러나 이러한 차이는 검출 한계에 영향을 미칩니다. 정확한 값은 체류 시간과 사용된 이온원에 따라 달라집니다.

구성 가능한 RGA 시스템

모든 검사 작업은 고유합니다. 당사의 전문가들은 표준 OmniStar 및 ThermoStar 솔루션 외에도 다양한 Pfeiffer 제품을 사용하여 고객의 요구에 맞는 시스템을 구성할 수 있습니다. 한 가지 예는 OmniGrade RGA 청결도 검증 시스템입니다.

하드웨어 연결

다음 하드웨어 연결을 통해 장치를 통합할 수 있습니다.

  • PrismaPro: DN 40 CF 플랜지
  • HiQuad Neo: DN 63 CF 플랜지
  • OmniStar 및 ThermoStar: 모세관 호스 또는 적합한 어댑터(1/4" / DN 16 ISO-KF)
이러한 옵션은 다양한 응용 분야의 요구사항을 충족합니다.

소프트웨어 및 인터페이스(이더넷)

PV Mass Spec 소프트웨어는 사용하기 쉬우며 장치 구매 시 함께 제공됩니다. 업데이트는 온라인으로 이용할 수 있습니다. 당사의 질량 분석기는 PLC와 직접 통신할 수 있는 다양한 인터페이스도 제공합니다.

다양한 응용 분야에 적합한 질량 분석기

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모든 응용 분야에 적합한 범용 질량 분석기는 없습니다. 압력에 관계없이 초기 조건과 분석 목표는 다양합니다.

장비를 선택하기 전에 분석 작업과 달성하려는 목표를 명확하게 정의하십시오. 고려해야 할 사항은 다음과 같습니다.

측정 속도

분석 작업에 따라 측정 속도를 조정할 수 있습니다. 예를 들어, PrismaPro의 경우 최소 1ms에서 최대 16s의 범위를 갖습니다. 측정 속도는 신호와 배경의 노이즈 양에 영향을 미칩니다.

해상도

해상도는 주로 소프트웨어를 통해 응용 분야에 따라 조정할 수 있습니다. 이는 분리 및 신호 높이에 영향을 미칩니다. 일반적으로 표준 해상도가 사용됩니다.

검출할 질량

응용 분야에 필요한 질량을 결정합니다. 더 나은 감도(신호)를 보장하기 위해 가장 작은 적절한 질량 범위를 선택합니다.

검출 한계

검출 한계는 감도 및 피크 중첩에 의해 영향을 받습니다. 감도는 또한 사용된 검출기에 따라 달라집니다(패러데이 vs 패러데이/SEM).

FAQ

어떤 유형의 질량 분석기가 있나요?

다양한 질량 분석기 간의 주요 차이점은 분리 시스템에 있습니다. 유형은 다음과 같이 분류됩니다.

  • 섹터 필드 장치는 움직이는 전하 캐리어에 대한 자기장의 편향 효과를 이용합니다.
  • 비행 시간 질량 분석기(TOF)는 동일한 에너지를 가진 입자의 서로 다른 속도를 분리하는 데 활용합니다.
  • 이온 트랩에서 입자의 궤적은 고주파장의 영향을 받습니다.
  • 사중극자 질량 분석기(QMS)는 고주파 장에서 움직이는 이온의 공명(이온 트랩과 유사)을 활용합니다.

섹터 필드 및 QMS 장치는 진공 기술에서 가장 자주 사용되는 장치입니다.

질량 분석기는 어떻게 작동하나요?

  • 흡입 시스템을 통해 분석할 가스는 예를 들어 모세관 또는 정량 밸브를 통해 챔버로 유입되고 진공 시스템을 사용하여 작동 압력으로 흡입됩니다.
  • 기존에는 중성 기체 분자를 이온원을 통해 전자를 쏘아 이온화한 후 질량 대 전하비(m/z)에 따라 질량 필터(사중극자 막대 시스템)에서 분리했습니다.
  • 세퍼레이터 시스템 뒤에서 검출기가 이온 전류를 측정합니다. 이온 전류는 각 가스 성분의 분압 또는 이온원에서 생성된 동일한 질량의 조각을 측정한 값입니다.
  • 이온 공급원, 질량 필터 및 검출기는 함께 실제 분석기를 구성합니다.
  • 시간 간격당 항상 하나의 질량 범위만 고려됩니다. 즉, 서로 다른 질량이 동시에 분석되지 않고 순차적으로 분석됩니다.

QMS 스태프 시스템은 어떻게 작동되나요?

정사각형으로 배열된 4개의 평행 막대가 필터 시스템을 형성합니다. 그 사이에는 소위 필드 반경이 r0인 원이 있습니다. 한 쌍은 양전하, 다른 한 쌍은 음전하를 띠는 두 개의 마주보는 막대가 연결되고, 두 쌍의 막대 사이에 직류 전압과 교류 전압 성분으로 구성된 전압이 인가되어 사중극자 편향 전압 Uquad = U + V · cos ωt가 발생합니다. 질량이 다른 Ion이 거의 동일한 에너지로 로드 시스템에 축 방향으로 주입됩니다. 사중극자 장은 이온을 x 및 y 방향으로 편향시켜 질량별로 필터링합니다. 편향이 r0보다 작으면 이온이 검출기에 도달하고, 그렇지 않으면 도달하지 못합니다. 이는 다음 비디오에서 명확하게 살펴볼 수 있습니다.

어떤 질량 분석기가 나의 응용 분야에 적합한가요?

질량 분광계(쇼트 RGA로도 알려짐)는 분압을 측정하는 반면, 진공 측정 튜브 는 총 압력 측정에 사용됩니다. 고체 또는 액체 물질이 증발한 후 분석을 포함하는 가스 측정만 가능합니다.

장치 선택을 위한 중요한 결정 기준은 다음과 같습니다.

  • 압력 범위 및 관련 설계
  • 검출할 질량, 해상도, 검출 한계, 측정 속도를 포함한 분석 성능

PrismaPro를 빠르게 설정하려면 어떻게 해야 하나요?

퀵 스타트 가이드

당사의 퀵 스타트 가이드를 통해 PrismaPro 질량 분석기를 살펴보세요. 이 가이드는 PrismaPro를 빠르게 작동할 수 있도록 명확하고 간결한 지침을 제공합니다. 단계별 지침을 통해 장치를 효율적으로 연결, 구성 및 작동하는 방법을 배울 수 있습니다. PrismaPro는 높은 감도와 빠른 측정 속도, 누출 검출 및 가스 분석과 같은 응용 분야 이상을 위해 설계 되었습니다. PrismaPro 퀵 스타트 가이드를 사용하여 쉽게 분석 기능을 향상하세요.

압력 범위가 진공 시스템 구성에 미치는 영향은 무엇인가요?

저압으로 펌핑된 챔버의 가스는 전자를 이온화하여 분석을 위해 준비됩니다. 이러한 방식으로 생성된 이온은 질량 대 전하 비율에 따라 질량 필터 내에서 분리됩니다. 이러한 공정에는 고진공이 필수적입니다. 따라서 분석할 가스의 압력 범위에 따라 일반적으로 설계가 결정됩니다.
구조
진공 시스템에서 잔류 가스 분석을 위해 일반적으로 압력을 < 5 ∙ 10−4 hPa (mbar) 미만으로 낮추기 위해서는 추가적인 펌프가 필요하지 않습니다. 따라서 기본적으로 질량 분석기 자체로 구성된 독립 실행형 부품이 사용됩니다.

전체 시스템은 가스 흡입 시스템을 통해 펌핑하여 분석에 필요한 기존 가스 압력을 더 낮춰야 할 때 사용됩니다.
응용 분야
해당 영역이 이미 저압 상태이므로 분자 흐름이 있는 경우 필요한 정확도에 따라 압력을 더 낮출 필요가 없을 수 있습니다. 이를 진공 시스템 내 잔여 가스 분석이라고 합니다. 예를 들어, 검사할 가스가 대기압인 경우 압력을 낮추기 위한 부품이 필요합니다. 이를 대기압에서 가스 분석이라고 합니다.

질량 분석기는 기성품 전체 솔루션인가요, 아니면 개별 장치인가요?

실제로는 다양한 유형의 측정 작업을 수행하기 위해 다양한 부품이 선택됩니다. OmniStar와 같은 기성품 전체 솔루션부터 소형 사중극자 질량 분석기 PrismaPro와 같은 개별 장치에 이르기까지 모든 응용 분야에 적합한 솔루션이 있습니다.