잔류 가스 분석 시스템

HiCube Neo RGA는 대기 압력에서 고진공 압력 범위 내에서 작동할 수 있습니다. 이 제품에는 정밀한 흡입 압력 조정을 위한 통합 차단 밸브가 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 DigiLine 전체 범위 트랜스미터가 장착되어 있어 총 압력을 지속적으로 모니터링하여 질량 분석기를 보호합니다. 압력이 안전 수준을 초과하면 트랜스미터가 자동으로 질량 분석기 내부의 필라멘트 셧다운을 트리거하여 손상을 방지합니다. 이 방식은 작동 오류로부터 시스템을 보호하고 값비싼 필라멘트를 교체할 필요가 없어 장기 유지보수 비용을 절감할 수 있습니다.

HiCube Neo RGA는 디지털 및 아날로그 입력과 출력을 모두 제공하여 압력이나 가스 흐름과 같은 외부 데이터를 수집할 수 있습니다. 이 데이터를 외부 제어 장치로 전송하여 종합적인 공정 모니터링이 가능합니다.

통합 HiCube Neo는 측정값을 표시할 뿐만 아니라 진공 게이지와 같이 연결된 외부 부품의 신호도 표시하는 터치 스크린을 통해 직관적으로 제어할 수 있습니다. 이를 통해 분석을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한 PV MassSpec 소프트웨어를 사용하면 데이터에 쉽고 빠르게 액세스할 수도 있습니다.

HiCube Neo RGA는 특정 공정에 맞게 맞춤화할 수 있습니다. 예를 들어, 진공이 생성되는 챔버인 리시버에 히터를 장착할 수 있습니다. 이렇게 하면 챔버 벽에 흡착되었을 수 있는 잔류 가스를 증발시킬 수 있습니다. 작동 중에 갇힌 이러한 가스는 서서히 방출되어 측정을 방해하여 원치 않는 배경 신호를 생성할 수 있습니다. 챔버를 가열하면 이러한 잔류 가스가 탈착 및 배출되어 오염을 줄이고 분석의 정확도를 향상시킵니다. 이 시스템에는 샘플 취급의 유연성을 높이기 위해 수동 흡입 밸브를 추가로 장착할 수 있습니다. 또한 트롤리에 장착하면 HiCube Neo RGA가 이동식 솔루션으로 변신하여 여러 장소에서 쉽게 운반하고 사용할 수 있습니다.

4중극자 질량 분석기(PrismaPro 또는 HiQuad Neo)의 선택과 챔버 수의 결정은 달성 가능한 검출 한계에 큰 영향을 미칩니다. 표준 시스템에는 두 개의 챔버가 있으며, 하나는 검사 시료가 놓여 있는 챔버이고 다른 하나는 분광기가 있는 챔버입니다. 필요한 경우 이 구조를 세 번째 챔버인 잠금 챔버로 보완할 수 있습니다. 이렇게 하면 측정 챔버가 환경으로부터 오염되는 것을 방지하고 배경을 크게 줄일 수 있습니다. 시스템을 베이크아웃함으로써 최적의 상태를 유지하여 측정 성능을 더욱 향상할 수 있습니다.

맞춤형 시스템 분야에서는 잔류 가스 분석 시스템 외에도 훨씬 더 많은 제품을 공급합니다. 다년간의 경험을 통해 얻은 반도체, 제약, 금속가공 및 신흥 시장의 요구 사항에 대한 지식은 고객이 업계에서 우위를 점할 수 있는 최첨단 시스템을 개발하는 데 활용됩니다. 예를 들어, 당사는 오염 물질을 식별 및 최소화하고 모든 단계에서 생산 공정을 최적화하는 것을 목표로 하는 오염 관리 시스템을 개발했습니다. 품질 향상과 주기 시간 단축을 통해 수율을 높일 수 있습니다.

당사는 독립형 장치 외에도 고객의 시스템에 통합할 수 있는 모듈식 솔루션도 공급합니다. 여기에는 특히 시리즈 생산을 위해 생산 라인에 통합할 수 있는 누설 테스트 모듈(줄여서 LTM)이 포함됩니다. 양산 전 생산을 위해 수동 검증을 위한 개별 검사 스탠드로도 사용할 수 있습니다. 고객별로 구성 가능한 모듈은 모든 검사 방법과 매개 변수를 포괄할 수 있으며, 부분적으로 당사가 조립합니다. 당사는 기계 및 소프트웨어 통합에 대한 경험을 바탕으로 고객이 솔루션을 구현할 수 있도록 지원합니다.