진공 펌프 기계

진공 펌프 장치는 다양한 산업과 공정의 응용 분야에서 사용됩니다. 산업 제조 분야에서는 진공 포장, 박막 코팅, 금속 공정 등에 사용됩니다. R&D에서는 질량 분석, 전자 현미경 검사, 잔류 가스 분석과 같은 응용 분야에 진공 펌프 기계가 사용됩니다. 의료 및 제약 부문에서도 멸균, 동결 건조, 의료용 흡입 시스템 등에 흔히 사용됩니다.

표준 진공 펌프 기계에는 한 대의 진공 펌프와 한 대의 보조 펌프가 장착됩니다. 대형 챔버 공정에서의 배기와 같이 더 높은 흡입 용량이 필요한 응용 분야에서는 두 번째 보조 펌프를 진공 펌프 기계 내에 통합함으로써 대량의 가스를 처리합니다. 이러한 경우, 한 대의 보조 펌프만으로는 충분한 흡입 용량을 제공할 수 없어 과부하가 발생합니다.

질량 분석 또는 전자 현미경 검사와 같은 응용 분야에서는 진공 펌프 기계가 터보 진공 펌프와 결합되어 그 자체가 보조 펌프 역할을 합니다. 이는 터보 진공 펌프가 고진공 레벨(≤ 10^-3 hPa(mbar))을 달성하기 위해서는 보조 펌프에 의존해야 하기 때문에 필수적입니다. 로터리 베인 진공 펌프 같은 진공 펌프 한 대만으로는 필요한 저압에 도달할 수 없으므로, 요구되는 진공 조건을 생성하거나 대기와의 차압을 처리하기 위해서는 진공 부스터가 추가로 필요합니다.

진공 펌프 기계를 선택할 때는 몇 가지 주요 측면을 고려해야 합니다. 첫 번째로, 원하는 진공 레벨, 흡입 용량, 공정 가스와의 호환성 등 응용 분야 요건을 고려해야만 신뢰할 수 있고 안전한 운영이 보장됩니다. 유지보수 용이성, 에너지 효율성 등 운영적인 측면도 지속적인 성능 보장에 중요한 요소입니다.

또한 차지하는 공간, 소음 수준, 배출가스 처리 등의 실무적인 고려 사항도 선택에 영향을 줄 수 있습니다. 가용성, 구매 가격, 장기 운영 비용 등의 경제적 요소도 의사 결정 과정에서 중요한 역할을 합니다.

구체적인 응용 분야 요건에 따라 다르지만, 진공 펌프 기계는 일반적으로 서로 다른 유형의 진공 펌프 여러 대, 또는 한 대의 진공 펌프와 한 대 이상의 진공 부스터가 조합되어 구성됩니다. 흔히 진공 부스터 또는 터보 진공 펌프 한 대에 보조 펌프 한 대를 조합합니다.

특히 대량의 가스를 취급할 때는 두 대 이상의 진공 펌프 또는 두 대의 진공 부스터가 장착된 다단계 진공 펌프 기계를 사용하기도 합니다. 진공 펌프 기계 내에 일반적으로 사용되는 보조 펌프 유형은 다음과 같습니다.