Vakuumpumpeneinheiten

Vakuumpumpeneinheiten werden für verschiedenste Anwendungen in einer Vielzahl von Branchen und Prozessen eingesetzt. In der industriellen Produktion werden sie zum Vakuumverpacken, zur Dünnfilmbeschichtung und in der Metallurgie verwendet. In F&E kommen Vakuumpumpeneinheiten für Anwendungen wie die Massenspektrometrie, Elektronenmikroskopie oder Restgasanalyse zum Einsatz. Sie sind auch im medizinischen und pharmazeutischen Bereich für Sterilisation, Gefriertrocknung und medizinische Absaugsysteme üblich.

Eine Standard-Vakuumpumpeneinheit ist mit einer Vakuumpumpe und einer Vorpumpe ausgestattet. Für Anwendungen, die ein höheres Saugvermögen erfordern, wie z. B. die Evakuierung großer Prozesskammern, kann eine zweite Vorpumpe in die Vakuumpumpeneinheit integriert werden, um die großen Gasvolumina zu bewältigen. In solchen Fällen kann eine einzelne Vorpumpe allein kein ausreichendes Saugvermögen liefern und wäre überlastet.

In Anwendungen wie der Massenspektrometrie oder Elektronenmikroskopie dient die Vakuumpumpeneinheit selbst in Verbindung mit einer Turbomolekular-Vakuumpumpe als Vorpumpe. Dies ist erforderlich, da Turbomolekular-Vakuumpumpen eine Vorpumpe benötigen, um ein hohes Vakuumniveau (≤ 10^-3 hPa (mbar)) zu erzielen. Eine einzelne Vakuumpumpe, beispielsweise eine Drehschieber-Vakuumpumpe, kann das erforderliche Vakuumniveau nicht allein erreichen. Daher ist ein zusätzlicher Vakuum-Booster notwendig, um die erforderlichen Vakuumbedingungen zu erzeugen oder den Differenzdruck zum Atmosphärendruck zu bewältigen.

Bei der Auswahl einer Vakuumpumpeneinheit sollten mehrere wichtige Aspekte berücksichtigt werden. Die wichtigsten Faktoren sind die anwendungsspezifischen Anforderungen, darunter das gewünschte Vakuumniveau, das Saugvermögen und die Kompatibilität mit Prozessgasen, um einen zuverlässigen und sicheren Betrieb zu gewährleisten. Betriebliche Aspekte wie Wartungsfreundlichkeit und Energieeffizienz sind für eine kontinuierliche Leistung entscheidend.

Darüber hinaus können praktische Überlegungen wie Stellfläche, Schalldruckpegel und Abgasbehandlung die Wahl beeinflussen. Wirtschaftliche Faktoren wie Verfügbarkeit, Einkaufspreis und langfristige Betriebskosten spielen ebenfalls eine wesentliche Rolle im Entscheidungsprozess.

Vakuumpumpeneinheiten kombinieren in der Regel verschiedene Vakuumpumpentypen oder eine Vakuumpumpe mit mindestens einem Vakuum-Booster, je nach den spezifischen Anwendungsanforderungen. Gängige Kombinationen sind z. B. ein Vakuum-Booster oder eine Turbomolekular-Vakuumpumpe mit einer Vorpumpe.

Speziell für das Handling großer Gasvolumina sind auch mehrstufige Vakuumpumpeneinheiten mit mehr als zwei Vakuumpumpen oder zwei Vakuum-Boostern erhältlich. In den meisten Fällen werden folgende Vorpumpentypen in Vakuumpumpeneinheiten verwendet: