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热气体处理

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许多行业在生产过程中会使用有害气体，这些气体在废气排入大气之前必须被去除。在热气处理过程中，这些物质在非常高的温度下被破坏，然后在下游湿泵级中被洗涤。Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 提供多种不同的技术，以实现最可持续的结果。

这些解决方案非常适合半导体行业以及光伏、LED 和各种化学品生产过程中的流程。

我们的每套尾气处理系统均可根据您的特定需求进行个性化配置。我们的团队将详细了解您的流程，并为您推荐理想的废气处理解决方案。

优势

通过自适应工艺控制，实现高效和智能减排

用水冲洗和冷却燃烧腔体，显著延长保养周期

附加洗涤器泵级用于无法通过专门的热处理系统进行处理的水溶性气体和颗粒

了解我们的产品系列

CT-BW 烧湿

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  • 灵活
  • 可靠
  • 便于保养

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CT-BW 烧湿系统优势

CT-BW 烧湿系统可为工艺气体和全氟碳 (PFC) 提供高清洁效率，并能可靠地处置气体和颗粒副产品。

由于该减排系统具有与工艺相关的燃烧器功率控制器，因此可最大限度地减少介质消耗，从而优化不同运行条件下的效率。其高度灵活的配置可精确适应特定的流程要求。这些变化包括每个模块的输入数量、介质类型和备份类型。此外，集成的安全功能（如旁路功能、水回路中的温度监控和气体泄漏传感器）也是标配。CT-BW 运行可靠，具有超过 98% 的可用性，且维护需求量少。集成到 CT-BW 中的标准控制柜最多可操作四个并联的 CT-BW 系统，还可提供定制的备用配置，以确保即使在发生故障时也能连续运行。

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CT-PW 等离子湿法

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  • 灵活
  • 智能
  • 性能卓越

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CT-TW 热湿法

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  • 灵活
  • 便于保养
  • 高效

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CT-TW 热湿式系统的优势

CT-TW 热湿式系统专为经济高效的废气处理而设计。它无需外部燃气或氧气供应即可运行，最大限度地降低了基础设施要求和运行成本。此外，由于维护周期长、易损件数量少，因此服务费用低。

这种不频繁且可规划的服务和较长的系统正常运行时间可确保可靠的性能，同时最大限度地减少流程中断。系统最多可根据介质类型通过六个输入适应特定的客户要求。此外，还可以实施自定义备份配置，以确保即使在发生故障时也能连续运行。

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CT-TW-H 热湿混合法

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  • 灵活
  • 便于保养
  • 高效

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CT-TW-H 热湿混合系统的优势

CT-TW-H 热湿混合系统是一种电加热废气处理解决方案，配有集成式湿式洗涤器和氢增压泵。这种专用增压泵可燃烧注入的氢气，从而在工艺和特定气体需要时选择性地提高燃烧温度。这可有效处理各种应用中要求严苛的工艺气体。

该系统将低运行成本与长维护间隔和长正常运行时间相结合，确保最大限度地减少中断。灵活的系统架构意味着可以根据特定的客户要求定制 CT-TW-H，提供定制的备用配置，即使发生故障也能保持系统运行。

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