- 유연성
- 신뢰성
- 편리한 수리
열 가스 처리
많은 산업에서 폐기물 가스가 대기 중으로 방출되기 전에 제거해야 하는 유해 가스를 사용합니다. 열 가스 처리 시 이러한 물질은 매우 높은 온도에서 파괴된 후 다운스트림 습식 단계에서 스크러빙됩니다. Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions는 가장 지속 가능 결과를 달성하기 위해 여러 가지 기술을 제공합니다.
이러한 솔루션은 반도체 산업뿐만 아니라 태양광, LED 및 다양한 화학물질 제조 공정에도 이상적입니다.
당사의 각 저감 시스템은 고객별 요구 사항에 맞게 개별적으로 조정할 수 있습니다. 당사 팀이 귀사의 공정을 자세히 검토하고 이상적인 폐기물 처리 솔루션을 추천합니다.
장점
적응형 공정 제어 방식을 통한 높은 효율 및 지능형 제거
연소 챔버 세척 및 물 냉각, 서비스 간격 크게 연장
열 전용 시스템으로 처리할 수 없는 수용성 가스 및 입자를 위한 추가 공정 단계
제품 시리즈 살펴보기
CT-BW 연소 습식
CT-BW 연소 습식 시스템의 장점
CT-BW 연소 습식 시스템은 가스 및 미립자 부산물을 신뢰할 수 있는 방식으로 폐기하여 가스 공정 및 과플루오로탄소(PFC)의 높은 세척 효율성을 제공합니다.
이 제거 시스템은 공정에 따른 버너 출력 제어 덕분에 매질 소비를 최소화하여 다양한 사용 조건 전반에 걸쳐 효율성을 최적화 합니다. 매우 유연한 구성으로 특정 공정 요구 사항에 따른 정밀 조정이 가능합니다. 이러한 변형에는 모듈당 입력 수, 미디어 유형 및 백업 유형이 포함됩니다. 또한 바이패스 기능, 냉각수 회로 온도 모니터링 및 가스 누출 센서 등 통합 안전 기능이 기본 포함되어 있습니다. CT-BW는 98% 이상의 가용성 및 까다로운 유지보수 요건이 적용되는, 신뢰할 수 있는 제품입니다. CT-BW에 기본 통합된 컨트롤 캐비닛은 최대 4개의 병렬 CT-BW 시스템 뿐만 아니라 고장 발생 시에도 연속운전 보장을 위한 맞춤형 백업 구성을 사용할 수 있습니다.
CT-TW 열 습식 시스템의 장점
CT-TW 열 습식 시스템은 비용 효율적인 폐기물 가스 처리를 위해 설계 되었습니다. 외부 연료 가스 또는 산소 공급이 필요 없어 인프라 요구 사항과 운영 비용을 최소화할 수 있습니다. 또한 긴 유지보수 간격 및 마모 부품 수가 적어 서비스 비용이 낮습니다.
이러한 빈번하지 않고 계획 가능한 서비스 및 높은 시스템 가동 시간 덕분에 공정 중단을 최소화하면서도 신뢰할 수 있는 성능을 보장합니다. 시스템은 매체 유형에 따라 최대 6개까지 개별 사항을 입력하여 특정 고객 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 고장 발생 시에도 연속운전 보장을 위해 맞춤형 백업 구성을 구현할 수 있습니다.
CT-TW-H 열 습식 하이브리드 시스템의 장점
CT-TW-H 열 습식 하이브리드 시스템은 통합 습식 스크러버 및 수소 부스터 기능을 갖춘 전기 가열식 폐기물 가스 처리 솔루션입니다. 이 특별한 부스터 설정은 주입된 수소를 연소시켜 공정 및 특정 가스가 필요할 때 연소 온도를 선택적으로 높입니다. 이를 통해 다양한 응용 분야 내에서 까다로운 가스 공정 처리를 효과적으로 수행할 수 있습니다.
이 시스템은 낮은 운영 비용, 긴 유지보수 간격 및 높은 가동 시간 보장을 결합하여 가동 중단을 최소화합니다. 유연한 시스템 아키텍처가 적용된 CT-TW-H는 특정 고객 요구 사항에 따라 맞춤형 백업 구성을 통해 고장 발생 시에도 시스템 가동을 유지할 수 있습니다.