- 高效
- 便于保养
- 坚固耐用
湿气体处理
在许多生产工艺中，会产生有害物质，如果不加以干预，这些有害物质会随废气释放。湿法洗涤可将水溶性物质洗涤并结合到洗涤液体中，然后进行安全处置。我们的 CT-W 产品系列为各种行业的每一种应用提供合适的湿式洗涤解决方案。应用领域涵盖从半导体制造到 LED 和光伏生产，以及大学和其他研究机构。
优势
采用两级湿式泵级，处理效率高
能够高效地去除水溶性气体和颗粒物
内部中和，最大程度地减少淡水消耗量
CT-W 湿式洗涤器（即插即用）
CT-W（使用点）的优势
CT-W 可高效处理 HCl、HF、SiH2Cl2、SiCl4 和 NH3 以及蚀刻和外延应用中的其他酸性和碱性废气。由于工艺过程中仅需极少量的淡水，因此运行成本保持在较低水平。
该洗涤器具有灵活性，可使用酸性或碱性中和剂运行。它们用于中和污水，其 pH 值在洗涤过程中根据所处理的气体而变化。
此外，还可通过机械进气口清洁、N2文丘里冲洗和加热废气进气口（适用于 WF6、BCl3、AlCl3 和 NH4Cl）等方式延长设备的正常运行时间，确保正常运行时间超过 99%。此外，维护快速简便。
针对高流量 H2 排放的情况，提供防爆版本。
CT-W 中央湿式洗涤器（管道末端）
适用于处理大流量的气体
- 高效
- 便于保养
- 可定制配置
CT-W（管道末端）的优势
CT-W 湿式洗涤器是一款管道末端中央洗涤器，对水溶性气体（包括 NH3、HCl、HF、甲醇和乙醇）具有非常高的清洁效率。设计用于高气体流量，配备多个高压回流喷嘴，能够有效地清洁和分离极为细小的颗粒物。该洗涤器支持定制，可适配您的工艺流程。可使用酸性和碱性中和剂，根据体积流量和气体类型提供单独的装备配置。