- 효율성
- 편리한 수리
- 내구성
습식 가스 처리
많은 생산 공정 중에 미처리 시 폐기물 가스와 함께 방출되는 유해 물질이 생성됩니다. 습식 스크러빙 절차를 통해 수용성 물질을 스크러빙하고 세척액에 결합시킨 후 안전하게 폐기할 수 있습니다. 당사의 CT-W 제품 시리즈는 다양한 산업 분야의 모든 응용 분야에 적합한 습식 스크러빙 솔루션을 제공합니다. 반도체 제조부터 LED 및 태양광 설비 생산까지, 또한 대학 및 등의 기관.
장점
두 개의 습식 단계를 통한 고효율
수용성 가스 및 입자의 효율적인 제거
물 사용량을 최소화하는 내부 중화
당사의 습식 스크러버 살펴보기
CT-W 습식 스크러버(현장 사용)
CT-W(현장 사용)의 장점
CT-W는 에칭 및 에피택시와 같은 애플리케이션/응용 분야 내 다른 산성 및 알칼리성 폐기물 가스와 함께 HCl, HF, SiH2Cl2, SiCl4 및 NH3을 효율적으로 처리할 수 있는 솔루션을 제공합니다. 공정 중 물을 최소한으로 사용하기 때문에 운영 비용을 절감할 수 있습니다.
이 스크러버는 유연하며 산성 또는 알칼리성 중화제를 사용하여 작동할 수 있습니다. 이는 공정 중인 가스에 따라 스크러빙 중 pH가 변경되는 폐수 중화에 사용됩니다.
가동 시간을 99% 이상 보장함으로써 기계식 흡입구 청소, N2 벤츄리 플러싱 및 WF6, BCl3, AlCl3 및 NH4Cl용 가열 배기 가스 흡입구 등의 가동 시간을 향상 시킬 수 있습니다. 또한 유지보수가 빠르고 쉬워집니다.
H2 배기 유량이 많은 방폭 버전 또한 제공됩니다.
CT-W 중앙 습식 스크러버(파이프의 말단)
대용량 체적 유량 가스 처리용
- 효율성
- 편리한 수리
- 사용자 지정 구성 가능
CT-W(파이프의 말단)의 장점
CT-W 습식 스크러버는 NH3, HCl, HF, 메탄올 및 에탄올을 포함한 수용성 가스에 대해 매우 높은 세척 효율성을 갖춘 파이프 말단 부착식의 중앙 스크러버입니다. 최소 입자상 물질을 효과적으로 세정하고 분리하기 위한 여러 개의 고압 역류 노즐을 포함하여 높은 가스 유량에 적합하도록 디자인되었습니다. 또한, 스크러버는 고객의 공정 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 산성 및 알칼리성 중화제를 모두 사용할 수 있으며 체적 유량 및 가스 유형에 따라 개별 장비 구성을 사용할 수 있습니다.