- Effizient
- Einfache Wartung
- Robust
Nasschemische Gasreinigung
In vielen Herstellungsprozessen entstehen schädliche Stoffe, die ohne Gegenmaßnahmen mit dem Abgas freigesetzt würden. Bei der Nasswäsche werden wasserlösliche Schadstoffe ausgewaschen und an die Waschflüssigkeit gebunden, woraufhin sie sicher entsorgt werden können. Unsere Baureihe CT-W hält die passende Nasswäscherlösung für jede Anwendung in den verschiedensten Branchen bereit. Von der Halbleiterindustrie über die Produktion von LEDs und Photovoltaik bis hin zu Universitäten und Forschungseinrichtungen.
Vorteile
Hohe Effizienz mit zwei Nasswäscherstufen
Wirksame Abscheidung wasserlöslicher Gase und Partikel
Interne Neutralisation zur Minimierung des Frischwasserverbrauchs
Entdecken Sie unsere Nasswäscher
CT-W Nasswäscher (Point-of-Use)
Vorteile des CT-W (Point-of-Use)
Der CT-W bietet eine effiziente Behandlung von HCl, HF, SiH2Cl2, SiCl4 und NH3 sowie anderen sauren und alkalischen Schadgasen in Anwendungen wie Ätzen und Epitaxie. Da für den Prozess sehr wenig Frischwasser benötigt wird, bleiben die Betriebskosten niedrig.
Dieser Wäscher ist flexibel und kann mit sauren oder alkalischen Neutralisationsmitteln betrieben werden. Diese dienen zur Neutralisierung des Abwassers, dessen pH-Wert sich während der Wäsche je nach den zu behandelnden Gasen verändert.
Durch mechanische Eingangsreinigung, N2-Venturi-Spülung sowie beheizte Schadgaseinlässe für WF6, BCl3, AlCl3 und NH4Cl lässt sich die Verfügbarkeit auf über 99 % erhöhen. Zudem ist die Wartung schnell und einfach.
Eine explosionsgeschützte Ausführung für hohen H2-Abgasdurchfluss ist ebenfalls erhältlich.
CT-W zentraler Nasswäscher (End-of-Pipe)
Zur Abgasbehandlung hoher Volumenströme
- Effizient
- Einfache Wartung
- Individuelle Konfigurationen
Vorteile des CT-W (End-of-Pipe)
Beim CT-W Nasswäscher handelt es sich um einen zentralen End-of-Pipe-Wäscher mit sehr hoher Reinigungseffizienz bei wasserlöslichen Gasen wie NH3, HCl, HF, Methanol und Ethanol. Ausgelegt für hohe Gasdurchflüsse, umfasst er mehrere Hochdruck-Gegenstromdüsen für die wirksame Reinigung und Abscheidung kleinster Partikel. Der Wäscher kann individuell an Ihren Prozess angepasst werden. Es können sowohl saure als auch alkalische Neutralisationsmittel verwendet werden, und je nach Volumenstrom und Gasart sind individuelle Anlagenkonfigurationen verfügbar.