COMBI

Dzięki zintegrowanemu boosterowi próżniowemu HiLobe z wysoce wydajnym wewnętrznym silnikiem z magnesami stałymi (IPM) ta wersja naszych modułów pomp wspomagania próżniowego umożliwia krótki czas przestoju pompy. Silnik spełnia normy IE4 oraz IE5, zapewniając niskie koszty eksploatacji, które są dodatkowo zmniejszane przez wydajne chłodzenie powietrzem lub chłodzenie wodą. Aby umożliwić instalację w zamkniętych przestrzeniach, w modułach pomp wspomagania próżniowego stosowane są tylko małe i średnie wersje HiLobe. Dzięki elastycznym pozycjom mocowania można je ustawiać pionowo lub poziomo. Nasze moduły pomp wspomagania próżniowego COMBI są dostępne w standardowych konfiguracjach, które można dostosować do konkretnych zastosowań, z szeroką gamą akcesoriów dodatkowych. Na przykład szafy sterownicze zapewniają obudowę ochronną sprzętu elektronicznego i jednostek sterujących, ułatwiając monitorowanie stanu i niezawodne zarządzanie procesami modułów pomp wspomagania próżniowego za pośrednictwem interfejsu ProfiNet (protokół Ethernet).

Cały moduł pompy próżniowej klasyfikuje się odpowiednio w zależności od tego, czy pompa wspomagająca jest sucha, czy też smarowana olejem.

Moduły pomp wspomagania próżniowego COMBI RH zapewniają wysoką wydajność pompowania i krótki czas opróżniania, dzięki czemu idealnie nadają się do zastosowań typu load lock. Łączą suche pompy wspomagające, zazwyczaj śrubowe pompy próżniowe COBRA, z boosterem próżniowym HiLobe.

Moduły pomp wspomagania próżniowego COMBI RU wyposażone w jednostopniowe rotacyjne łopatkowe pompy próżniowe smarowane olejem, takie jak R5, zapewniają niezależną od gazu wydajność pompowania dzięki bardzo trwałym, wzmocnionym włóknami łopatkom z żywicy epoksydowej, które zapewniają stabilne osiągi niezależnie od rodzaju gazu. Te solidne łopatki są odporne na działanie czynników chemicznych i wymagają minimalnej konserwacji. Do typowych zastosowań należą wykrywanie nieszczelności za pomocą helu lub w procesie metalurgii.

Moduły pomp próżniowych COMBI RD łączą HiLobe z dwustopniową rotacyjną łopatkową pompą próżniową, np. DuoVane. Model standardowy jest wyposażony w uszczelnienia wału, natomiast alternatywna konfiguracja obejmuje zawór DuoVane ze sprzęgłem magnetycznym. W połączeniu z hermetycznie zamkniętą HiLobe powstaje trwale uszczelniony moduł pompy próżniowej, który zapobiega wyciekom i zanieczyszczeniom, zapewniając niezawodne i czyste wytwarzanie próżni. Nasze moduły pomp próżniowych COMBI RD nadają się szczególnie do pompowania gazów szlachetnych i osiągania niskich ciśnień końcowych. Są one idealne jako pompy wspomagające do pomp wysokiej próżni, takich jak turbomolekularne pompy próżniowe, ponieważ dwustopniowa rotacyjna łopatkowa pompa próżniowa osiąga niższe ciśnienie końcowe niż modele jednostopniowe. Te moduły pomp wspomagania próżniowego są często stosowane w takich branżach jak metalurgia, powlekanie próżniowe lub R&D.

Wyposażony w zawór obejściowy, zintegrowany booster próżniowy PANDA jest niezawodniechroniony przed przeciążeniem lub przegrzaniem.. Dzięki temu można je optymalnie stosować przy wysokich różnicach ciśnień.

Booster próżniowy PANDA pracuje bezstykowo bez płynów eksploatacyjnych w komorze procesowej, zapewniając minimalne wymagania w zakresie konserwacji. Jego wyjątkowa wydajność objętościowa umożliwia przenoszenie dużej objętości przepompowanego medium na obrót i osiąganie dużych objętości przepływu. Opcjonalnie booster próżniowy PANDA jest dostępny ze napędem o zmiennej prędkości, która umożliwia uzyskanie niskiego zużycia energii i niższych kosztów eksploatacji.

Zespoły pomp próżniowych COMBI BNV łączą pompy wstępne, zazwyczaj śrubowe pompy próżniowe serii COBRA, z boosterem próżniowym PANDA. Ta kombinacja zapewnia wysoką wydajność pompowania przy niskim ciśnieniu końcowym, zapewniając krótki czas przestoju pompy. Typowe zastosowania to metalurgia, pakowanie i suszenie próżniowe.

Moduły pomp próżniowych COMBI BRV są wyposażone w jednostopniowe rotacyjne łopatkowe pompy próżniowe R5. Seria R5 ma niezwykle trwałe łopatki o wysokiej wydajności wykonane z żywicy epoksydowej wzmocnionej włóknami, które zapewniają długi okres użytkowania i stałą eksploatację. Dzięki temu moduł z boosterem próżniowym idealnie nadaje się do szybkiej ewakuacji komór typu load lock, a także do takich zastosowań jak spawanie wiązką elektronów i obróbka powierzchni.

Układ pomp próżniowych COMBI WVD łączą w sobie dwustopniową rotacyjną łopatkową pompę próżniową, taką jak DuoVane, ze wspomaganiem próżniowym PANDA. Ta konfiguracja jest idealna jako pompa wspomagająca do pomp wysokiego podciśnienia, w tym turbomolekularnych pomp próżniowych, dzięki zdolności dwustopniowej rotacyjnej łopatkowej pompy próżniowej do osiągania niższych ciśnień końcowych niż jednostopniowa rotacyjna łopatkowa pompa próżniowa. Jest ona zazwyczaj wykorzystywana w takich zastosowaniach jak powłoki lub metalurgia.