高溫和高流量
製程範圍廣，防腐蝕性高
自我診斷
內建式感測器，可進行效能診斷、維護優化和外部通訊
經濟
經過優化的溫度管理、電力和冷卻水消耗量低、擁有成本低
技術規範
市場和應用
顯示器
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物理氣相沉積 (PVD)
半導體
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LPCVD/擴散
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PVD
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檢測與計量
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多晶矽蝕刻
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光沉積
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離子佈植
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PECVD
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微影
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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氧化層蝕刻
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Load lock 與移轉
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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ALD
薄膜鍍膜
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光學鍍膜
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裝飾鍍膜
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防磨損鍍膜
配件
- 保護性密封氣體沖洗閥
- 冷卻水閥
- 手持式遠端控制
- 入口法蘭的保護性過濾器
- 裝配套件
- 入口法蘭：VG350 或 VG400
- 排氣法蘭：DN40 或 DN50
- 多種加熱選項
- 適用於嚴苛製程的額外中間沖洗
- 轉子溫度感測器
- 沖洗存在性感測器
- 輸入功率：200、440 或 480 VAC