ATH-M / ATP-M

ATH-M 與 ATP-M 產品系列中的磁性軸承技術利用電磁力與精密電子控制器系統，讓轉子保持懸浮狀態並使其在不與真空泵浦腔體實體接觸的情況下迴轉。這樣可消除摩擦，避免磨損，使這些渦輪泵浦免維護。

最小化的機械摩擦也能帶來低噪音和低振動級。這使得 ATH-M 和 ATP-M 渦輪泵浦非常適用於半導體製造製程中對振動敏感的應用。

此外，若發生功率故障，磁性軸承由真空泵浦的迴轉能量供電。這使得在發生功率故障時能夠輕鬆維持運轉數分鐘。

我們的渦輪分子真空泵浦中的轉子由速度控制直流 (DC) 馬達驅動。它們可以調節轉子的轉速，以適應所需真空度，有助於節省能源和成本。在最新一代的 ATH-M 和 ATP-M 真空泵浦中，驅動單元整合到真空泵浦中，確保佔地面積小。

一些 ATH-M 渦輪泵浦配有整合式加熱系統，有助於在高要求的化學條件下維持真空泵浦效能。此功能特別有利於化學氣相沉積 (CVD) 之類的應用，其中化學反應會產生副產物，這些副產物容易在真空系統內冷凝。整合式加熱可讓真空泵浦保持恆定的高溫，降低冷凝和殘留物堆積的風險。