安靜運行
低噪音和振動級，非常適合半導體製造製程和分析儀器中對振動敏感的應用
靈活
相容於多種底泵浦，輕質氣體壓縮比優異
無需維護
採用磁性軸承技術，無磨損零件，維護週期長
技術規範
市場和應用
汽車與運輸
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太空研究
顯示器
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物理氣相沉積 (PVD)
研發
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高能物理學
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光子學研究
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太空研究
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超高真空
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電漿物理學
半導體
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LPCVD/擴散
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PVD
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檢測與計量
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多晶矽蝕刻
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光沉積
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離子佈植
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PECVD
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微影
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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氧化層蝕刻
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Load lock 與移轉
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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ALD