安靜運行
低噪音和振動級，非常適合半導體製造製程和分析儀器中對振動敏感的應用
靈活
相容於多種底泵浦，MT 版本配備整合式加熱系統，適用於高要求化學條件，採用變頻直流 (DC) 馬達
結構精巧
佔地空間小，整合式驅動單元，可任意方向安裝
技術規範
市場和應用
醫療
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診斷影像
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醫用加速器
研發
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光子學研究
半導體
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LPCVD/擴散
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PVD
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檢測與計量
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多晶矽蝕刻
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光沉積
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離子佈植
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PECVD
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微影
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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氧化層蝕刻
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Load lock 與移轉
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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ALD