堅固耐用
一流的混合軸承技術,最長正常運行時間,鍍鎳表面,適用於腐蝕性應用
靈活
豐富的產品組合、標準配件和通訊工具
效能卓越
抽氣速率高,輕質氣體壓縮比優異
技術規範
市場和應用
汽車與運輸
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熱處理
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太空研究
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E-Beam 焊接
魚類養殖
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真空包裝
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MAP 包裝
醫療
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診斷影像
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醫用加速器
冶金
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E-beam 焊接
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真空硬焊/軟焊
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熱處理
研發
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高能物理學
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太空研究
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超高真空
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電漿物理學
半導體
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LPCVD/擴散
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剝離/灰化
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PVD
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檢測與計量
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多晶矽蝕刻
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光沉積
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離子佈植
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PECVD
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微影
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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氧化層蝕刻
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Load lock 與移轉
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ALD
薄膜鍍膜
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光學鍍膜
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裝飾鍍膜
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實驗室鍍膜
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防磨損鍍膜