請更新您的瀏覽器。

您似乎正在使用舊版本 [ 技術 ]。 請更新您的瀏覽器,以獲得最佳的 Pfeiffer 網站體驗。

HiPace

渦輪分子真空泵浦

turbopumps_stage

HiPace 渦輪分子真空泵浦是精巧且功率強大的解決方案,適用於高真空和超高真空應用

HiPace 渦輪分子真空泵浦中使用的混合或磁性軸承系統可確保低噪音和低振動級。此外,還有特殊的 HiPace 版本可用於壓縮氫氣等輕質氣體或具有防腐蝕鍍膜。多種專用版本使 HiPace 真空泵浦成為鍍膜、半導體製造和分析製程應用的理想解決方案。

HiPace

turbomoleuclar_pumps_hipace_1
堅固耐用的渦輪泵浦,適用於高真空應用

  • 快速啟動時間
  • 精巧、輕量化的設計
  • 低噪音、低振動
  • 最少維護
  • 提供特殊鍍膜,適用於腐蝕性應用

HiPace 產品系列的益處

HiPace 渦輪泵浦的創新轉子設計,可實現高抽氣速率高氣體流量。這些真空泵浦提供混合或磁性軸承技術

混合軸承型號結合前級真空側的陶瓷滾珠軸承以及高真空側的永磁軸承,確保裝置堅固可靠。在磁浮版本中,主動式磁性軸承使用電磁鐵和距離感應器來保持轉子懸浮和迴轉,而無需實體接觸,並將磨損降至最低。

這兩種軸承類型均經過精心設計,耐用且維護需求低,可確保可靠的真空泵浦效能。對於混合版本,可在 30 分鐘內完成陶瓷滾珠軸承和工作液儲罐的現場更換,減少停機時間並最大限度地提高生產力。

HiPace 產品系列包含多種型號,可滿足各種應用要求,包括市場上最小的渦輪泵浦:HiPace 10 Neo。它採用機械軸承系統和油潤滑陶瓷滾珠軸承,即使面臨快速移動或振動,也能確保可靠運作。其佔地空間小使其成為高度整合式分析儀器的理想選擇,例如在質譜法、電子顯微鏡或可攜式系統中使用。

特殊版本使 HiPace 能夠適應各種製程要求。例如,它們配備創新的 Holweck 級互連,可提供對超輕氣體(如氫氣)的出色壓縮,這對於需要超高真空或科學應用的製程至關重要。其他型號採用 Kepla 塗層轉子(電漿化學表面處理)為鍍膜半導體製造中的嚴苛環境提供增強的防腐蝕性

所有 HiPace 產品