可靠
一流的混合軸承技術，卓越的軸承潤滑，使用壽命長
高氣體流量
高抽氣速率，與多種底泵浦相容，輕質氣體壓縮率高
效能卓越
優化的轉子幾何形狀，增強的氣體負載處理能力
技術規範
市場和應用
汽車與運輸
-
太空研究
化學
-
實驗室真空
醫療
-
實驗室真空
製藥與生物科技
-
實驗室真空
研發
-
高能物理學
-
太空研究
-
超高真空
-
電漿物理學
-
實驗室真空
半導體
-
LPCVD/擴散
-
剝離/灰化
-
PVD
-
檢測與計量
-
多晶矽蝕刻
-
光沉積
-
離子佈植
-
PECVD
-
微影
-
金屬與高介電常數材料的蝕刻
-
氧化層蝕刻
-
Load lock 與移轉
-
ALD
技術氣體
-
裝瓶