可靠
一流的混合軸承技術，長壽命，最長正常運行時間
安靜運行
得益於獲得專利的雷射平衡技術，噪音和振動級低
效能卓越
輕質氣體的最佳壓縮比，非常適合高真空和超高真空應用
技術規範
市場和應用
研發
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高能物理學
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超高真空
半導體
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LPCVD/擴散
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剝離/灰化
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PVD
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檢測與計量
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多晶矽蝕刻
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光沉積
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離子佈植
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PECVD
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微影
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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氧化層蝕刻
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Load lock 與移轉
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ALD