可靠
無碳氫化合物，操作期間自動校準感應器
安靜運行
低噪音、低振動
無需維護
電磁懸架可防止轉子過早磨損，持續補償轉子不平衡
技術規範
市場和應用
汽車與運輸
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太空研究
化學
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實驗室真空
醫療
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實驗室真空
製藥與生物科技
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實驗室真空
研發
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光子學研究
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太空研究
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超高真空
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實驗室真空
半導體
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LPCVD/擴散
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剝離/灰化
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PVD
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檢測與計量
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多晶矽蝕刻
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光沉積
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離子佈植
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PECVD
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微影
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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氧化層蝕刻
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Load lock 與移轉
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ALD