可靠
一流的混合軸承技術，卓越的軸承潤滑，使用壽命長
效能卓越
優化的轉子幾何形狀，增強的氣體負載處理能力
高氣體流量
高抽氣速率，與多種底泵浦相容，輕質氣體壓縮率高
技術規範
市場和應用
汽車與運輸
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太空研究
醫療
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診斷影像
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醫用加速器
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質譜儀
發電
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綠色能源產生
研發
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太空研究
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超高真空
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質譜法
科學儀器
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質譜法
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表面分析
半導體
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LPCVD/擴散
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剝離/灰化
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PVD
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檢測與計量
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多晶矽蝕刻
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光沉積
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離子佈植
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PECVD
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微影
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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氧化層蝕刻
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Load lock 與移轉
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ALD
技術氣體
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裝瓶
配件
- 電源適配器
- 電源電纜
- 連接電纜
- 多種現場總線系統
- 電源套件和顯示單元
- 裝配套件
- 安全閥
- 排氣配件
- 功率故障排氣單元
- 減震器