可靠
一流的混合軸承技術，長壽命，最長正常運行時間
輕鬆維護
現場更換軸承，對製程粉塵不敏感
效能卓越
專為鍍膜工藝而設計，經過優化的轉子/定子理念
技術規範
市場和應用
半導體
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LPCVD/擴散
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剝離/灰化
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PVD
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檢測與計量
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多晶矽蝕刻
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光沉積
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離子佈植
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PECVD
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微影
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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氧化層蝕刻
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Load lock 與移轉
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ALD