可靠
一流的混合軸承技術，卓越的軸承潤滑，使用壽命長
安靜運行
得益於獲得專利的雷射平衡技術，噪音和振動級低，非常適合對振動敏感的應用
效能卓越
優化的轉子幾何形狀，增強的氣體負載處理能力
技術規範
市場和應用
汽車與運輸
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熱處理
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洩漏偵測和 EoL 測試
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太空研究
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E-Beam 焊接
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3D 列印
電池
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洩漏偵測和 EoL 測試（主控）
化學
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實驗室真空
氫經濟
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洩漏偵測和 EoL 測試（主控）
醫療
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實驗室真空
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質譜儀
冶金
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E-beam 焊接
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真空硬焊/軟焊
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3D 列印
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熱處理
製藥與生物科技
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實驗室真空
發電
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綠色能源產生
研發
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高能物理學
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太空研究
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超高真空
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低溫工程
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電漿物理學
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實驗室真空
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質譜法
製冷與空調系統
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洩漏偵測和 EoL 測試
科學儀器
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質譜法
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表面分析
半導體
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LPCVD/擴散
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剝離/灰化
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PVD
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檢測與計量
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多晶矽蝕刻
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光沉積
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離子佈植
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PECVD
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微影
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金屬與高介電常數材料的蝕刻
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氧化層蝕刻
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Load lock 與移轉
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ALD
技術氣體
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裝瓶
薄膜鍍膜
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實驗室鍍膜