洩漏檢測技術

使用氦氣或氫氣混合氣體（氫氣和惰性氣體（通常是氮氣）的混合物）進行示蹤氣體洩漏偵測，是高精度識別極低洩漏率的理想選擇。此方法廣泛用於對準確度、可重複性和靈敏度有嚴格要求的各行業，例如半導體製造業。

利用氦氣和氫氣進行洩漏試驗的方法

在常見問題中找到更多關於利用氦氣和氫氣進行洩漏試驗的不同測試方法的詳細資訊。

配備我們專利 Micro-Flow 感測器的空氣檢漏儀在業界是獨一無二的。這些智慧型氣體洩漏感應器量測流量、壓力和溫度，以提供一個數值結果，該結果與洩漏率，進而與缺陷大小直接成正比。與其他洩漏試驗方法相比，這項技術具有許多益處。

測試方法

在常見問題中找到更多關於空氣洩漏偵測的不同測試方法的詳細資訊。

真空洩漏是指真空系統中意外或不必要的開口。它使得空氣或其他氣體進入或離開系統。從真空系統中洩漏的空氣或氣體的量以洩漏率表示。洩漏率取決於多個因素，包括開口的大小和數量、氣體類型以及系統內外的壓差。

真空洩漏有兩種類型：

更多關於洩漏偵測

真空洩漏的原因有很多。包括有缺陷或老化的密封件不密閉、組件損壞或真空設備安裝不當等問題。

真空洩漏沒有平均大小。洩漏可能源自於微小孔洞、較大裂縫或介於兩者之間的任何情況，具體取決於洩漏原因。真空洩漏的大小可以透過量測洩漏率來確定，洩漏率是指每秒從系統中逸出的製程氣體或空氣的量。大多數的技術洩漏都太小，肉眼無法看到。氦氣或空氣檢漏儀提供偵測和量化小型真空洩漏的最準確方法。

使用檢漏儀偵測洩漏有多種方法：利用示蹤氣體或利用空氣。

使用示蹤氣體作為偵測手段，有三種選擇。噴霧測試適用於真空條件下的組件，嗅探式洩漏偵測則用於壓力條件下的組件。整體式洩漏試驗是針對可放入真空腔體內的組件的變體。
這些測試方法均易於執行並提供準確結果，使 Pfeiffer 檢漏儀成為您的真空處理法不可或缺的補充產品。

示蹤氣體洩漏偵測

使用示蹤氣體作為偵測手段，有三種選擇。噴霧測試適用於真空條件下的組件，嗅探式洩漏偵測則用於壓力條件下的組件。整體式洩漏試驗是針對可放入真空腔體內的組件的變體。

噴霧測試

噴霧測試是在真空條件下對組件進行測試的理想方法。在所有可用方法中，這種量測原理的靈敏度最高。真空泵浦將空氣從疑似洩漏的測試對象中抽出，檢漏儀透過法蘭連接到測試對象。測試對象的範圍可從真空爐到管道、容器或其他設備。使用噴槍套件將氦氣或氫氣噴到測試對象的外表面上（參見圖 1）。如果存在洩漏，進入的分子會被檢漏儀整合的渦輪分子真空泵浦和其底泵浦吸入。這些分子進入分析儀單元，該單元對示蹤氣體進行偵測。

嗅探式洩漏偵測

嗅探式洩漏偵測是針對受壓組件的理想方法。將示蹤氣體注入測試對象，例如設備、管道或容器中，以增加內部壓力。嗅探探針是一種設計用於收集示蹤氣體的工具，可作為配件購買，並連接到我們的檢漏儀。操作人員緩慢且系統地將嗅探探針引導至測試對象上方，以搜尋潛在洩漏（參見圖 2）。發生洩漏時，會檢測到逃逸的示蹤氣體原子。這樣可以精確定位洩漏點。

整體式洩漏偵測

噴霧測試和嗅探洩漏檢測均可用於整體式檢漏測試。測試對象被放入容器內，例如塑膠薄膜或堅硬容器（如圖 3 和圖 4 中藍色所示）。

整體式嗅探式洩漏偵測在大氣壓力下進行。測試對象充滿氦氣或氫氣混合氣體 (1)。如果發生洩漏，示蹤氣體開始逸出，就會被捕獲在容器中。嗅探探針確定其濃度隨時間的增量並量測洩漏率 (2)。

對於整體式噴霧測試，測試對象連接到檢漏儀並放置在容器內 (3)。與傳統噴霧測試一樣，整體式噴霧測試在真空下進行。然而，傳統噴霧測試對測試對象本身進行抽真空，而此方法僅抽空周圍容器。然後向容器中填充規定量的氦氣。這確保了精確的測試條件和準確結果。如果存在洩漏，則氦氣將由於壓差而滲入測試對象。檢漏儀量測測試對象內部的氦氣量並確定洩漏率。然而，整體式洩漏試驗方法無法定位洩漏。

空氣洩漏偵測

另一種方法是使用空氣檢漏儀。這些儀器使用我們獲得專利的 Micro-Flow 感測器，以量測為了補償因洩漏而流失的空氣，必須從儲氣槽流出的空氣量。Micro-Flow 感測器可使用質量提取（一種利用 Micro-Flow 感測器的特殊方法）在壓力環境下或真空環境下偵測物體中的洩漏。

Micro-Flow

首先，將測試對象連接到測試裝置。該裝置由檢漏儀和儲氣槽組成。然後，儲氣槽中的空氣將測試對象加壓至預定義壓力水平。如果存在洩漏，空氣將從測試對象中洩漏而出。

該裝置持續補充氣體流量以補償流失的空氣，從而維持壓力。補充的氣體流量從儲氣槽流經特殊設計的感測器，即 Micro-Flow 感測器。此感測器配備獲得專利的訊號放大技術，使其甚至能夠量測極低洩漏率，低至 5 · 10^-4 mbar · l/s。

此技術屬非破壞性技術，測試對象能夠保持完整。它提供定量結果，無需每日校準，使其在各種工業應用中高度可靠且高效率。

質量提取

質量提取法也使用 Micro-Flow 感測器，但在真空條件下進行。這提高了偵測極限，並確保由於真空的隔熱效應而不會產生熱傳遞。

質量提取的第一步，將測試單元放置在真空腔體中。此腔體連接至包含 Micro-Flow 感測器和儲氣槽的檢漏儀。然後將腔體抽真空。測試單元的洩漏率由從儲氣槽到測試單元的流量決定。使用此方法，可以達到低至 7 · 10^-7 mbar · l/s 的偵測極限，並且可偵測到小至 1 μm 的缺陷。

噴霧測試和嗅探式洩漏偵測是兩種最常見的洩漏偵測測試，使用示蹤氣體氦氣或氫氣進行。

噴霧測試是在真空條件下對組件進行測試的理想方法。在所有可用方法中，這種量測原理的靈敏度最高。將氦氣或氫氣噴到測試對象的外表面上。如果存在洩漏，進入的分子會被整合的渦輪分子真空泵浦及其底泵浦吸入。最終進入一個分析儀單元。該單元偵測示蹤氣體。

嗅探式洩漏偵測是針對受壓組件的理想方法。用氦氣或氫氣對測試對象加壓。然後，與檢漏儀連接的嗅探探針將緩慢而系統地引導至物體上。發生洩漏時，會檢測到逸出的示蹤氣體原子，並且可以精確定位洩漏位置。

定性洩漏偵測僅確定測試對像是否有洩漏。使用 ASM 系列產品，從 100 mbar 的入口壓力起就已經可以實現。隨著入口壓力降低，通常在 25 mbar 時，檢漏儀不僅能夠簡單地偵測洩漏，而且還能夠確定洩漏的大小。這被稱為定量洩漏偵測。

在壓力衰減測試中，向壓力容器中填充空氣，直至達到目標壓力。然後在設定的時間內量測壓力的損失（衰減）。

真空洩漏試驗有多種類型。例如，我們的 ASM 和 ASI 檢漏儀等專用裝置可以利用示蹤氣體氦氣或氫氣進行兩種類型的測試。或者，我們的空氣檢漏儀產品系列可以使用創新 Micro-Flow 技術偵測洩漏。

與壓力衰減測試相比，真空洩漏測試提供更快的結果，並且對溫度變化等外部因素的敏感度較低。結果也更準確。

噴霧測試和嗅探式洩漏偵測都是使用示蹤氣體的方法。噴霧測試是在真空條件下對組件進行測試的理想方法。第一階段，將氦氣或氫氣噴到測試對象的外表面上。如果存在洩漏，進入的分子會被檢漏儀整合的渦輪分子真空泵浦及其底泵浦吸入。最終進入一個分析儀單元。該單元檢測示蹤氣體原子。

嗅探式洩漏偵測是針對受壓組件的理想方法。用氦氣或氫氣對測試對象加壓。然後，與檢漏儀連接的嗅探探針將緩慢而系統地引導至物體上。發生洩漏時，會檢測到逸出的示蹤氣體原子，並且可以精確定位洩漏位置。

兩種測試方法均易於執行並可提供準確結果。

我們的 Micro-Flow 感測器使我們的空氣檢漏儀在業界獨一無二。與傳統空氣檢漏儀相比，這款智慧型氣體洩漏感應器靈敏度更高，可偵測的洩漏率低至 5 · 10^-4 mbar · l/s。此外，與替代方法相比，測試速度更快，比使用壓力衰減法得出結果的速度快 40%。

Micro-Flow 感測器透過量測壓力儲槽中補償洩漏所需的空氣流量，來量測洩漏率。透過量測此流量以及壓力和溫度，可以提供一個數值結果，該結果與洩漏率和缺陷大小直接成正比。

由於直接根據洩漏流量進行量測，Micro-Flow 感測器受溫度等環境變化的影響極小，從而大幅減少了其他洩漏試驗方法中可能出現的錯誤結果數量。例如，其他流量計的工作原理是溫度傳遞，即測量一段時間內的溫度變化來計算空氣流量。其他方法則量測機械運動，透過特定組件（例如膜片）的運動程度來計算流量。

此技術屬非破壞性技術，測試對象能夠保持完整。它提供定量結果，無需每日校準，使其在各種工業應用中高度可靠且高效率。

質量提取是使用 Micro-Flow 感測器的另一種技術。其基本原理與 Micro-Flow 方法類似，但為了達到更高靈敏度，測試在真空下進行。將測試單元放置在真空腔體中。此腔體連接至檢漏儀，其包含 Micro-Flow 感測器和儲氣槽。然後將腔體抽真空。測試單元的洩漏率由從儲氣槽到測試單元的空氣流量決定。使用此方法，低至 7·10^-7 mbar l/s (<1 μm) 的洩漏率可以被偵測到。