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Svizzera

Sistemi di analisi del gas rimanente

Soluzioni di sistema per la verifica del grado di pulizia

Sistema di analisi del gas rimanente OmniGrade

I sistemi di analisi del gas rimanente (RGA) utilizzano la spettrometria di massa per analizzare la composizione dei gas in ambienti sottovuoto e rilevare qualsiasi potenziale contaminazione. Ciò garantisce una qualità del prodotto e una sicurezza di processo ottimali.

L'RGA viene utilizzato in applicazioni come forni a vuoto o rivestimento sottovuoto. Il nostro portafoglio include sia soluzioni chiavi in mano che compatte.

Scoprite i nostri sistemi di analisi del gas rimanente

Test di purezza con conoscenza approfondita dell'analisi del gas rimanente (RGA)

Mercati in rapida espansione con requisiti tecnici sempre più rigorosi pongono sempre più enfasi sul massimo livello di pulizia, poiché la contaminazione molecolare influisce sulla funzionalità dei loro prodotti. La chiave per una garanzia di qualità professionale risiede nella corretta determinazione dei tassi di degassamento mediante spettrometria di massa in condizioni di alto vuoto.

Da molti anni forniamo assistenza ai nostri clienti con un ampio portafoglio di dispositivi per l'analisi del gas rimanente. Anche i requisiti di test cambiano nel tempo. Con i nostri prodotti OmniGrade e HiCube Neo RGA stiamo ampliando il nostro portafoglio di prodotti per l'analisi del gas rimanente, per offrire un maggiore livello di creazione di valore e quindi aumentare i vantaggi per i nostri clienti.

HiCube Neo RGA

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Soluzione compatta e versatile per l'analisi del gas rimanente
Il sistema HiCube Neo RGA è una soluzione compatta per l'analisi del gas rimanente. È facile da usare, offre un'elevata accuratezza e sensibilità per misurazioni precise. Il sistema integra un'unità pompa per vuoto turbomolecolare HiCube Neo e uno spettrometro di massa PrismaPro, che lavorano insieme per garantire un'analisi del gas affidabile.

La turbopompa genera i livelli di alto vuoto necessari per la spettrometria di massa, mentre il PrismaPro è personalizzato per rilevare l'intervallo di massa specifico delle molecole rilevanti per la vostra applicazione. Ciò consente l'accuratezza nel riconoscimento e nell'analisi del gas rimanente.

L'HiCube Neo RGA è ideale per applicazioni che vanno dal rivestimento ai forni a vuoto.

Ulteriori informazioni

Vantaggi di HiCube Neo RGA

  • Soluzione ottimizzata in termini di costi per l'analisi dei gas
  • Software di facile utilizzo
  • Design compatto
  • Pannello di comando dal funzionamento semplice
  • Completamente personalizzabile
  • Soluzione chiavi in mano (preassemblata)

Applicazioni di HiCube Neo RGA

  • Applicazioni generali per l'analisi del gas rimanente
  • Rivelazione di perdite
  • Rivestimento sottovuoto
  • Forni a vuoto

In che modo il trasmettitore full range DigiLine migliora la sicurezza dell'HiCube Neo RGA?

L'HiCube Neo RGA può funzionare nell'intervallo della pressione dall'atmosferica all'alto vuoto. È dotato di una valvola di intercettazione integrata per una regolazione di precisione della pressione in aspirazione. Per una protezione aggiuntiva, il sistema è dotato di un trasmettitore DigiLine full-range, che protegge lo spettrometro di massa tramite il monitoraggio continuo della pressione totale. Se la pressione supera i livelli di sicurezza, il trasmettitore attiva automaticamente lo spegnimento del filamento all'interno dello spettrometro di massa, impedendone il danneggiamento. Questo meccanismo garantisce che il sistema sia protetto da usi scorretti ed elimina la necessità di costose sostituzioni del filamento, risparmiando sui costi di manutenzione a lungo termine.

Quali opzioni di personalizzazione offre l'HiCube Neo RGA per i processi?

L'HiCube Neo RGA offre ingressi e uscite digitali e analogici, consentendo la raccolta di dati esterni come pressione o flusso di gas. Questi dati possono essere trasferiti a pannelli di controllo esterni, consentendo un monitoraggio completo del processo.

L'HiCube Neo integrato può essere controllato in modo intuitivo tramite il suo touchscreen, che non solo visualizza i valori rilevati, ma mostra anche i segnali dei componenti esterni collegati, come i misuratori di vuoto. In questo modo si ha il pieno controllo sull'analisi. Il software PV MassSpec consente inoltre un accesso semplice e rapido ai dati.

L'HiCube Neo RGA può essere personalizzato per adattarsi ai vostri processi specifici. Ad esempio, il recipiente, ovvero la camera in cui viene generato il vuoto, può essere dotato di un riscaldatore. Ciò fa evaporare eventuali gas rimanenti che potrebbero essersi adsorbiti sulle pareti della camera. Durante il funzionamento, questi gas intrappolati possono rilasciarsi gradualmente e interferire con le misurazioni, creando un segnale di fondo indesiderato. Grazie al riscaldamento della camera, questi gas rimanenti vengono desorbiti ed evacuati, riducendo la contaminazione e migliorando l'accuratezza dell'analisi. Il sistema può inoltre essere dotato di valvole di aspirazione manuali aggiuntive per una maggiore flessibilità nella movimentazione dei campioni. Inoltre, con il montaggio su carrello, HiCube Neo RGA diventa una soluzione mobile, che consente un facile trasporto e utilizzo in diverse posizioni.

OmniGrade

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Sistema modulare per l'analisi del gas rimanente
Il nostro OmniGrade è la soluzione completa personalizzata per la verifica del grado di pulizia, configurata e ottimizzata individualmente per voi. Ogni attività di test è diversa. Il nostro team di esperti accede all'intera gamma di prodotti Pfeiffer e li utilizza per configurare il sistema che meglio si adatta alle vostre esigenze.

Per il vostro OmniGrade non solo vengono selezionati solo i singoli componenti, come spettrometri di massa quadripolari, pompe per vuoto, camere e altri componenti singoli, ma vengono presi in considerazione anche i costi di esercizio totali e i tempi di consegna della soluzione chiavi in mano fatta su misura.

Grazie alla nostra esperienza, possiamo aiutarvi a ottenere risultati di test con la precisione di cui avete bisogno, riducendo al minimo gli sforzi superflui.

Ulteriori informazioni

Vantaggi di OmniGrade

  • Esecuzione su misura per le vostre esigenze utilizzando un sistema modulare
  • Possibilità di limiti di riconoscimento bassi
  • Processo di misura completamente automatizzato
  • Rete di assistenza in tutto il mondo
  • Test secondo GSA 07 1221 e GSA 07 2221

Applicazioni di OmniGrade

Componenti singoli


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Non esitate a contattarci, saremo lieti di soddisfare le vostre esigenze!

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FAQ

In che modo la scelta dello spettrometro di massa e la configurazione della camera influiscono sul limite di riconoscimento?

La scelta dello spettrometro di massa quadripolare (PrismaPro o HiQuad Neo) e la determinazione del numero di camere influiscono in modo significativo sul limite di riconoscimento raggiungibile. Nel sistema standard sono presenti due camere, una in cui si trova il campione di prova e una in cui si trova lo spettrometro. Se necessario, questa struttura può essere integrata con una terza camera, la camera di bloccaggio. In questo modo si evita la contaminazione della camera di misura da parte dell'ambiente e si riduce notevolmente lo sfondo. Con la cottura, il sistema viene messo in condizioni ottimali, aumentando ulteriormente la capacità di misurazione.

Quali altri sistemi offre Pfeiffer?

Nel campo dei sistemi personalizzati, abbiamo molto più da offrire oltre ai sistemi di analisi del gas rimanente. La nostra conoscenza delle esigenze dei mercati dei semiconduttori, farmaceutici, metallurgici ed emergenti, acquisita nei molti anni di esperienza, si traduce nello sviluppo di sistemi all'avanguardia che vi aiutano a affermarvi nel vostro settore. Ad esempio, abbiamo sviluppato un sistema di gestione della contaminazione che mira a identificare e ridurre al minimo i contaminanti e a ottimizzare il processo di produzione in ogni stadio. Per rendimenti più elevati grazie a una migliore qualità e a tempi di ciclo più brevi.

Quali soluzioni vengono offerte per integrarle nel mio sistema?

Oltre alle unità autosufficienti, offriamo anche soluzioni modulari che possono essere integrate nel vostro sistema. Tra queste vi è il nostro modulo per test di tenuta (LTM in breve), che potete integrare nella vostra linea per la produzione in serie. Per la produzione in preserie è disponibile anche come banco di test individuale per la qualificazione manuale. I moduli configurabili specificamente per il cliente sono in grado di coprire l'intera gamma di metodi di prova e parametri e vengono parzialmente assemblati da noi. Grazie alla nostra esperienza nell'integrazione meccanica e software, forniamo assistenza ai nostri clienti nell'implementazione della loro soluzione.