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真空泵机组

功能强大,坚固耐用

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稳定可靠的真空系统,对电子束焊、薄膜镀膜、冷冻干燥及太阳能电池制造等诸多生产工艺至关重要。旋片真空泵、干式螺杆真空泵与涡轮分子泵等多种真空技术,为不同应用提供理想解决方案。

我们不仅提供标准型号真空泵机组,还可以按需定制,灵活配置罗茨泵或前级泵的数量,确保能够精准适配您的工艺需求。

适用于各类应用的真空泵机组

在许多应用中,仅靠单台真空泵往往难以快速达到所需真空度。当需要处理大量气体或要求达到 ≤ 10-3 hPa(mbar)极高真空时尤为重要。并非所有真空泵都能在大气压下直接运行,因此需要额外配置前级泵(即粗抽泵)。前级泵与真空泵组成完整的真空泵机组,能够高效应对压差问题。

最常用的真空泵机组便是我们的涡轮分子真空泵机组罗茨泵机组

我们的真空泵机组

  • turbo_vacuum_pump_units_hicube

    HiCube Neo

    专为精密高真空应用设计的涡轮分子真空泵机组

    了解更多
  • roots_pump_unit_station

    COMBI

    具有高抽速或配备旁通阀的可靠罗茨泵装置

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定制化真空泵机组

我们提供标准的模块化真空泵机组,并可提供定制化选项,以满足您的特定需求。面对更复杂的应用需求,我们的专业团队将与您紧密协作,共同打造理想的解决方案。

我们的真空泵机组由两台或多台真空泵组合而成,或由一台真空泵与至少一台罗茨泵构成。系统还集成了各类阀门仪表以及挠性波纹软管、密封件等标准部件。同时还配备电子控制组件(PLC),使系统配置更加完备。

我们的专家将协助您选择并定制适合您的工艺流程的真空泵机组,并在全球范围内提供维护与支持服务。
定制化真空泵机组

常见问题解答

真空泵机组的典型应用领域有哪些?为何某些情况下需额外配备前级泵?

真空泵机组广泛应用于多个行业与工艺流程。在工业领域中,它们常被用于真空包装、薄膜涂层及冶金工艺。在研发领域中,它们则常被用于质谱分析、电子显微镜观测及残余气体分析等。在医疗与制药行业,它们常被用于灭菌处理、冷冻干燥及医用负压抽吸装置。

标准真空泵机组通常由一台真空泵和一台前级泵组成。对于需要更高抽速的应用(如大型工艺室抽真空),可在真空泵机组中集成第二台前级泵,以应对大量气体的处理需求。在此类应用中,单台前级泵抽速不足且容易超负荷。

质谱分析电子显微镜等应用中,真空泵机组本身作为涡轮分子真空泵的前级泵使用。这是因为涡轮分子真空泵需要前级泵方可达到高真空度(≤ 10-3 hPa (mbar))。单台真空泵,如旋片式真空泵,无法独立实现所需低压,因此需要额外配备罗茨泵以产生所需的真空条件或应对大气压至真空的压差。

选择真空泵机组时需综合考虑哪些因素?

选择真空泵机组时,需综合考虑以下多个关键因素。核心影响因素为应用需求,具体包括目标真空度、抽速以及与工艺气体的兼容性,这些因素是确保运行可靠与安全的关键。操作层面应关注维护便捷性与能效,这对保障设备持续稳定运行至关重要。

此外还需考虑实际限制因素,例如设备占地面积、声压级以及排气处理要求。经济性因素同样关键,需综合评估设备供货周期、采购成本以及长期运行成本。

真空泵机组可采用哪些真空泵类型?

真空泵机组通常依据具体应用需求,组合不同类型真空泵,或由一台真空泵与至少一台罗茨泵搭配构成。常见配置为罗茨泵或涡轮分子真空泵与前级泵组合。

对于需要处理大量气体的应用,也可采用配备两台以上真空泵或两台罗茨泵的多级真空泵机组。真空泵机组中常用的前级泵类型包括: