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Unverzichtbar für das Design eines Vakuumsystems
Vakuumventile spielen eine entscheidende Rolle für das Design und Funktion von Vakuumsystemen. Sie gewährleisten eine präzise Steuerung und Zuverlässigkeit in verschiedenen Industriezweigen und Forschungsanwendungen.
Unser Portfolio an Ventilen umfasst eine breite Palette von Druckregel- und Absperrventilen mit verschiedenen Stellantrieben und Flanschtypen für unterschiedlichste Anforderungen.
Manuelle Ventile können ohne Elektronik über ein Handrad oder einen Schnellschließ-/Schnellöffnungsmechanismus betätigt werden.
Handräder ermöglichen eine präzise, stufenweise Steuerung für einen reibungslosen Betrieb, während sich Schnellschließ-/Schnellöffnungsmechanismen zur schnellen Isolierung oder in Notsituationen schnell betätigen lassen.
Pneumatisch betätigte Ventile benötigen eine ölfreie Druckluftversorgung. Mit der Druckluft wird ein interner Kolben bewegt, der das Ventil öffnet oder schließt.
Für die elektrische Betätigung wandeln Motoren elektrische Energie in präzise mechanische Bewegung um. So kann das Ventil ohne Druckluft geöffnet oder geschlossen werden.
Elektropneumatisch betätigte Ventile enthalten ein pneumatisch betätigtes Ventil mit eingebautem Magnetventil zur Steuerung der Druckluftzufuhr.
Ein Magnetventil wird elektrisch gesteuert; es öffnet oder schließt sich, wenn durch elektrischen Strom ein Magnetfeld erzeugt wird.
Dadurch lässt sich das Ventil über ein elektrisches Signal fernsteuern, d. h. es kombiniert die schnelle und zuverlässige Bewegung einer pneumatischen Betätigung mit dem Komfort und der Kontrolliertheit einer elektronischen Schaltung.
Ein Vakuumventil ist ein mechanisches Bauteil, das den Durchfluss von Gasen in einem Vakuumsystem steuert.
Jedes Ventil hat eine andere Funktion: Es kann einfach öffnen oder schließen, um den Gasdurchfluss zu starten oder zu stoppen, oder es kann den Durchfluss steuern, um ein gewünschtes Druckniveau zu erreichen oder aufrechtzuerhalten. Außerdem können einige Ventiltypen Gas umleiten – z. B. durch Belüften einer Vakuumkammer mit sauberem, trockenem Gas –, um das System sicher wieder auf Atmosphärendruck zu bringen oder empfindliche Bauteile während der Abschaltung zu schützen.
Vakuumventile gibt es in verschiedenen Ausführungen mit unterschiedlichen Stellantrieben, einschließlich manueller, pneumatischer und elektrischer Designs.
Sie werden in Kombination mit Vakuumpumpen und Vakuumkammern verwendet. Sie sind unerlässlich für einen zuverlässigen und präzisen Betrieb in Anwendungen wie Halbleiterproduktion, Dünnfilmbeschichtung oder in Forschungslaboren.
Jeder Ventiltyp erfüllt eine bestimmte Funktion in einem Vakuumsystem.
In der folgenden Übersicht werden die wichtigsten Merkmale und Anwendungsfälle aufgezeigt, um Ihnen bei der Auswahl des richtigen Ventils für Ihre Anwendung zu helfen.
Ventiltyp | Typische Funktion | Zentrale Vorteile | Typische Anwendungen |
|---|---|---|---|
Absperrschieber | Öffnet und schließt mit einer flachen Platte zur Trennung von Abschnitten | Sehr hoher Strömungsleitwert, geeignet für Hoch- und Ultrahochvakuum | Schleusen- und Transferkammern, Beschichtungsanlagen, Isolierung von Turbomolekular-Vakuumpumpen |
Eckventil | Leitet den Gasfluss mit einer Dichtung, einem Stopfen und einer Spindel um 90° um | Kompakte Bauweise eignet sich für Systeme mit rohrbedingten Einschränkungen, die eine Änderung der Strömungsrichtung erfordern | Allgemeine Vakuumsysteme, F&E-Anlagen, alle Märkte |
Absperrklappe | Rotierende Scheibe zur Isolierung oder Steuerung des Durchflusses | Leicht, schnelle Betätigung | |
Kugelhahn | Ein-/Aus-Steuerung des Durchflusses mittels Kugelgelenk | Kompakte und robuste Bauweise, schnelle Betätigung | Industrielle und Automobilsysteme, Halbleiter |
Membranventil | Steuerung des Durchflusses mittels flexibler Membran | Sauberer Betrieb, geringes Kontaminationsrisiko | |
Pendelschieber-Ventil | Bewegung eines flachen Ventiltellers mit rotierendem Schieber | Geeignet für beengte Platzverhältnisse, hoher Strömungsleitwert, minimale Partikel | Halbleiter und Dünnfilmbeschichtung, Isolierung von Turbomolekular-Vakuumpumpen |
Belüftungsventil | Ermöglicht eine kontrollierte Belüftung Atmosphäre zur Druckentlastung | Sicherer Druckausgleich, schützt Bauteile | Wartung und Kammerbelüftung |
Ventile können auf drei verschiedene Arten betätigt werden: manuell, pneumatisch und elektrisch.
Um ein geeignetes Vakuumventil für Ihre Anwendung zu finden, sollten Sie mehrere Kriterien berücksichtigen.
Die Vakuumventile der Baureihe E sind ein direkter Ersatz für pneumatisch und elektropneumatisch betätigte Ventile, deren Robustheit und Funktionalität sie mit den Vorteilen einer vollelektrischen Betätigung kombinieren. Druckluft und externe Magnetventile sind nicht mehr erforderlich, und auch die typischen Nachteile elektromagnetisch betätigter Ventile, wie hohe Leistungsaufnahme, eingeschränkte Positioniergenauigkeit und erhöhte Wärmeentwicklung, werden vermieden. Das Ergebnis ist eine präzise, zuverlässige Ventilsteuerung mit geringerem Energieverbrauch und vereinfachter Systemintegration.
Unsere Druckregelventile verfügen über zwei wichtige Innovationen für herausragende Leistung:
Vakuumventile eignen sich für alle Vakuumanwendungen, wobei die Wahl des Ventils von der für das jeweilige Druckniveau erforderlichen Dichtungstechnik abhängt:
Dichtungen und Dichtungsmethoden spielen eine entscheidende Rolle bei der Auswahl des richtigen Ventils für ein Vakuumsystem.
Da Temperaturbeständigkeit und Ausgasungsraten variieren, richtet sich die Wahl der Dichtung letztlich nach den Prozessanforderungen. Dazu gehören die benötigte Temperaturbeständigkeit und das erforderliche Vakuumniveau.
Bei Pfeiffer finden Sie ein breites Sortiment an Hochvakuumventilen für unterschiedliche Installations- und Leistungsanforderungen. Die Wahl des richtigen Ventils hängt von mehreren Faktoren ab, darunter Prozessablauf,Prozesstemperatur, Endvakuum und Gaszusammensetzung. Für Hoch- und Ultrahochvakuumsysteme werden Ventile benötigt, die zuverlässige Abdichtung, hohen Strömungsleitwert und Langlebigkeit vereinen.
