건식 베드 흡수장치

CT-D 현장 사용 흡수장치는 작동에 전기와 압축 공기 또는 질소(N₂)만 필요하므로 기존 인프라에 쉽게 통합할 수 있고 매체 소비를 최소화합니다. 유지보수 요구사항이 낮으며, 막힘을 방지하고 과립의 수명을 연장하는 콜드 트랩을 포함한 특허 받은 흡수장치 설계로 지원됩니다. 이러한 요소를 결합하면 운영 비용을 크게 절감할 수 있습니다.

이 과립식 제품은 반도체, 태양광 및 기타 특수 가스 응용 분야 전용으로 개발되었으며 까다로운 환경에서도 높은 성능 및 안전을 보장합니다. 용기 및 바이패스 내의 과립은 화학흡착을 통해 독성, 부식성 또는 가연성 가스 및 그 부산물을 흡수하여 비휘발성 무기 고체로 전환합니다. 이로 인해 배기면 가스 농도가 임계값(TLV) 미만으로 안정적으로 유지됩니다.

모듈은 30리터, 60리터, 120리터 용기 사이즈 중에서 선택할 수 있어 최소한의 설치 공간을 유지하면서 다양한 형태로 유연하게 플랜트를 구성할 수 있습니다. 개별 유닛에는 터치 판넬 HMI, 엔드포인트 감지, 시동 보조장치 기능 및 흡입 압력 센서 기술이 모두 적용되어 있습니다. 종말점 감지 기능은 과립 흡수제 포화 시점을 식별하고 바이패스로 리디렉션합니다. 여기에서 잔류 가스를 흡수하는 과립 덕분에 공정이 완료되고 미처리 독성 가스가 배출되지 않게 됩니다.

자세히 알아보기

반도체 제조와 같은 공정에서 사용되는 유해 가스는 일반적으로 가스 캐비닛으로 알려진, 진공 상태의 캐비닛에 있는 실린더에서 공급됩니다. CT-D-E는 고장 또는 비상 시 하나 이상의 가스 실린더 누출로 인해 발생한 오염된 주변 공기를 안정적으로 포착하여 가스 공급 설치 시 높은 수준의 안전성을 제공합니다. 수동으로 작동하므로 전기나 추가적인 매체 공급이 필요하지 않습니다.

각 흡수장치는 특정 요구사항을 충족하기 위해 사이즈 및 구성이 개별적으로 설계 되었습니다. 또한, 과립 또는 과립 혼합물이 독성, 부식성 및 가연성 제품 및 부산물의 최적 흡수 능력을 위해 용도에 따라 정확하게 정의됩니다. 화학 흡착을 통해 유해 가스가 과립에 영구적으로 결합되어 탈착 위험을 제거하고 장기적인 밀폐를 보장합니다.

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