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Trockenbettabsorber

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In vielen Herstellungsprozessen entstehen schädliche Stoffe und Gase, die ohne Gegenmaßnahmen in die Umwelt freigesetzt würden. Die Trockenbettabsorber-Baureihe CT-D von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions umfasst drei Produkte: den CT-D Point-of-Use-Absorber, den CT-D-E Notabsorber und den CT-D-VLC, der Restgas während des Flaschenwechsels absorbiert.

Diese passiven Abgasreinigungssysteme bieten viele Vorteile, da sie nur minimale Anforderungen an die Infrastruktur stellen. Neben einer elektrischen Versorgung benötigt die Trockenbettabsorber-Baureihe lediglich Druckluft oder Stickstoff zur Ventilaktivierung. Diese Systeme haben einen geringen Platzbedarf und können auch die giftigsten und schädlichsten Gase wie Arsin (AsH3) und Phosphin (PH3) sicher absorbieren.

Trockenbettabsorber von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions finden in einer Vielzahl von Branchen Anwendung, insbesondere aber in der Herstellung von Halbleiter-, Photovoltaik- und LED-Technologien. Darüber hinaus eignen sie sich für Universitäten und Forschungseinrichtungen.

Vorteile

Chemisorption von reaktiven, toxischen und korrosiven Gasen unter Einhaltung höchster Sicherheitsstandards.

Die elektrochemische Reingasüberwachung und der integrierte Bypass-Modus sorgen dafür, dass der Absorptionsprozess auch bei gesättigtem Hauptabsorptionsmittel durchgeführt werden kann.

Verschiedene Granulat-Gebindegrößen für unterschiedliche Absorptionsanforderungen.

Entdecken Sie unsere Baureihe

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    CT-D (Point-of-Use)

    Doppelwandiges Absorber-Design für hohe Verfügbarkeit

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  • CT-D-E (Notabsorber)

    CT-D-E (Notabsorber)

    Sichere Entsorgung von verunreinigter Luft im Falle einer unkontrollierten Gasschrank-Leckage

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  • CT-D-VLC (Ventline-Kartusche)

    CT-D-VLC (Ventline-Kartusche)

    Absorbiert Restgas während des Gasflaschenwechsels, für eine sichere und wirksame Reinigung der Prozessgasleitungen

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CT-D Point-of-Use-Absorber

CT-D Trockenbettabsorber
Doppelwandiger Absorber für höhere Verfügbarkeit

  • Wartungsfrei
  • Effizient
  • Sicher

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Vorteile

Für den Betrieb des CT-D Point-of-Use-Absorbers sind lediglich Strom und Druckluft oder Stickstoff (N₂) erforderlich, sodass er einfach in die bestehende Infrastruktur integriert werden kann und ein minimaler Medienverbrauch gewährleistet ist. Der Wartungsbedarf ist gering, unter anderem dank eines patentierten Absorber-Designs mit Kühlfalleneffekt zur Vermeidung von Verblockungen und für eine längere Haltbarkeit des Granulats. In Kombination führen diese Faktoren zu deutlich geringeren Betriebskosten.

Das Granulat wurde speziell für den Einsatz in Halbleiter-, Photovoltaik- und anderen Spezialgasanwendungen entwickelt und gewährleistet hohe Leistung und Sicherheit in anspruchsvollen Umgebungen. Durch Chemisorption absorbiert das Granulat im Behälter und Bypass toxische, korrosive oder leicht entflammbare Gase und deren Nebenprodukte und wandelt sie so in nichtflüchtige, anorganische Feststoffe um. Dadurch werden die Gaskonzentrationen am Reingasausgang zuverlässig unter den Schwellengrenzwerten gehalten.

Die Absorbertonnen sind in Gebindegrößen von 30, 60 und 120 Litern erhältlich und haben einen geringen Platzbedarf, sodass sie flexibel in verschiedenen Anlagenkonfigurationen eingesetzt werden können. Jede Einheit ist vollständig ausgestattet mit einem Touch-Display, Endpunkterkennung, Bypassfunktion und Einlassdrucksensor. Die Endpunkterkennung stellt fest, wann das Absorber-Granulat gesättigt ist, und leitet es dann zum Bypass um. Hier absorbiert das Granulat die restlichen Gase, sodass der Prozess abgeschlossen werden kann, ohne dass unbehandelte toxische Gase entweichen.

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CT-D-E Notabsorber

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Sichere Reinigung von verunreinigter Luft im Falle einer unkontrollierten Gasschrankleckage

  • Hohe Abscheideeffizienz
  • Absorption beginnt automatisch
  • Geringer Wartungsbedarf

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Vorteile

Die in Prozessen wie zum Beispiel in der Halbleiterproduktion verwendeten schädlichen Gase werden in der Regel aus Zylindern in einem unter Vakuum stehenden Gasschrank zugeführt. Der CT-D-E Notabsorber bietet ein hohes Maß an Sicherheit für Ihre Gasversorgungsinstallationen, da er bei einem Ausfall oder Notfall die durch ein Leck an einem oder mehreren Gaszylindern verursachte verunreinigte Umgebungsluft zuverlässig aufnimmt. Er arbeitet passiv und benötigt keine Strom- oder zusätzliche Medienversorgung.

Baugröße und Konfiguration jedes Absorbers werden individuell auf Ihre spezifischen Anforderungen zugeschnitten. Auch das richtige Granulat oder Granulatgemisch wird je nach Anwendung ausgelegt, um die bestmögliche Absorption toxischer, korrosiver und leicht entflammbarer Produkte sowie Nebenprodukte zu gewährleisten. Durch Chemisorption werden schädliche Gase dauerhaft an das Granulat gebunden, wodurch das Risiko einer Desorption ausgeschlossen und eine langfristige Bindung gewährleistet wird.

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CT-D-VLC Ventline-Kartusche

Ventline-Kartusche für die Spülgasentsorgung
Absorbiert Restgas während des Gasflaschenwechsels, für eine sichere und wirksame Reinigung der Prozessgasleitungen

Der CT-D-VLC Absorber wurde für kleine Mengen an Spülgas, auch Entlüftungsgas genannt, entwickelt. Sein Chemisorptionsprozess gewährleistet eine sichere und irreversible Absorption zahlreicher Gase während des Gasflaschenwechsels in verschiedensten Anwendungen. Damit liefert er eine zuverlässige Sicherheitsmaßnahme für kritische Gasversorgungsumgebungen.

Selbst bei einer Entladung des Zylinders bei vollem Druck aufgrund einer Störung arbeitet das System sicher innerhalb des zulässigen Druckbereichs.

Mit einem TÜV-geprüften Edelstahl-Druckbehälter für bis zu 220 bar bietet der CT-D-VLC maximale Betriebssicherheit. Dank seiner kompakten Bauweise ohne Sensoren, Display oder andere Elektronik lässt er sich direkt in Rohre oder Gasschränke integrieren. Der Absorber wird mit einer optionalen, langlebigen Edelstahl-Halterung montiert und kann kostengünstig nachgefüllt werden, was ihn zu einer wirtschaftlichen und platzsparenden Lösung mit langer Lebensdauer macht.

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Maßgeschneiderte Absorber- und Adsorberlösungen

Zuverlässige Reinigung spezieller Abgasdurchflüsse

Eine maßgeschneiderte Absorber- und Adsorberlösung ist ideal, wenn keine unserer anderen Technologien Ihren Anforderungen vollständig entspricht. Nach einer genauen Betrachtung Ihres Prozesses und ausführlichen Gesprächen mit Ihnen entwickeln wir ein System, das Ihre individuellen Anforderungen perfekt erfüllt. Ein solches System bietet einen passiven Betrieb unter Verwendung von Trockenbettabsorbern mit maßgeschneiderten Granulaten wie Aktivkohle zum Entfernen von flüchtigen organischen Verbindungen (VOC).

Es zeichnet sich durch einen geringen Medienverbrauch und eine lange Lebensdauer bei minimalem Installations- und Wartungsaufwand aus. Darüber hinaus wird Ihr System individuell darauf ausgelegt, die Intervalle für den Wechsel der Ab- und Adsorptionsmittel zu optimieren und zu verlängern. Eine Vielzahl optionaler Sicherheitsfunktionen ermöglicht die nahtlose Integration in vollautomatische Systeme zur Anlagensteuerung und -überwachung. Ein bewährtes Nachfüllsystem mit umfangreichem Service sorgt für kontinuierliche Effizienz und Zuverlässigkeit.
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