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乾式床吸收器

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許多生產製程會產生有害物質和氣體,若不加以干預,可能會釋放到環境中。Pfeiffer 的 CT-D 乾式床吸收器產品系列包括三款產品:CT-D 使用點吸收器、CT-D-E 緊急吸收器和 CT-D-VLC 用於在更換氣瓶時吸收殘留氣體。

這些被動式減排系統由於設施要求低而提供許多優勢。除了電源之外,乾式床吸收器產品系列只需要壓縮空氣或氮氣用於啟動閥門。這些系統的佔地空間小,能安全吸收毒性最強和危害性最大的氣體,例如砷(AsH3)和磷(PH3)。

Pfeiffer 的乾式床吸收器在各種產業中都發揮著作用,尤其是在半導體製造、光電和 LED 技術中。此外,它也適用於大學和研究機構。

益處

不同的颗粒容器尺寸,以满足不同的吸收要求。

具有電化學清潔氣體監控和整合式旁通模式,即使主吸收劑飽和,吸收過程也能進行。

提供各種顆粒容器結構尺寸,可滿足不同的吸收要求。

了解我們的產品系列

  • dry_bed_treatment_stage

    CT-D(使用點)

    雙壁式吸收器設計,可長效運行

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  • CT-D-E(緊急吸收器)

    CT-D-E(緊急吸收器)

    在供氣櫃發生不受控的洩漏時,安全處理受到污染的空氣

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  • CT-D VLC(排氣管線濾芯)

    CT-D-VLC(排氣管線濾芯)

    在更換氣瓶時吸收殘留氣體,以安全有效地清洗製程氣體管道

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CT-D 使用點吸收器

乾式床吸收器 CT-D
雙壁式吸收器可實現更長的正常運行時間

  • 無需維護
  • 高效
  • 安全

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益處

CT-D 使用點吸收器只需要電力和壓縮空氣或氮氣(N₂)即可運作,因此易於整合到現有基礎設施中,並確保最低的介質消耗。維護需求低,採用獲得專利的吸收器設計,該設計包括冷阱,可防止堵塞並延長顆粒使用壽命。這些因素共同作用,大幅降低運作成本。

該顆粒經過特殊開發,可用於半導體、光電和其他特殊氣體應用,確保高要求環境下的高效能和安全。透過化學吸附,容器和旁通管中的顆粒會吸收有毒性、腐蝕性或易燃性氣體及其副產物,將其轉化為非揮發性無機固體。因此,排氣時的氣體濃度可靠地保持在閾值限值 (TLV) 以下。

模組提供 30 公升、60 公升、120 公升的容器尺寸,可靈活適應不同的設施配置,同時保持最小的佔地空間。每個單元都配備觸控螢幕、端點偵測、旁通功能和進氣壓力感應器技術。端點偵測可識別吸收器顆粒何時飽和,並重新導向至旁通路徑。在這裡,顆粒會吸收剩餘氣體,使製程得以完成,並避免任何未經處理的有毒氣體逸出。

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CT-D-E 緊急吸收器

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在供氣櫃發生不受控的洩漏時,安全地清潔受到污染的空氣

  • 去除效率高
  • 自動開始吸收
  • 維護需求低

取得免費報價

益處

製程(例如半導體製造)中使用的有害氣體通常來自真空櫃中的氣體鋼瓶,稱為供氣櫃CT-D-E 為您的氣體供應裝置提供高水準的安全,在發生故障或緊急情況時,能可靠捕捉由一個或多個氣體鋼瓶洩漏造成的受污染環境氣體。它採被動操作,不需要電力或額外的介質供應。

每個吸收器的結構尺寸和配置都經過單獨設計,以滿足您的特定要求。此外,依據應用確定確切的顆粒和顆粒混合物,以獲得對有毒性、腐蝕性、易燃性產品和副產物的最佳吸收能力。透過化學吸附,有害氣體被永久性地固定在顆粒中,從而消除任何脫附風險,並確保長期封存。

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CT-D-VLC 排氣管線濾芯

適用於清除氣體處理的排氣管線濾芯
在更換氣瓶時吸收殘留氣體,以安全有效地清洗製程氣體管道

CT-D-VLC 吸收器的化學吸附製程專為處理少量清除氣體(也稱為排氣氣體)而設計,可確保在更換氣瓶時對各種氣體和應用進行安全且不可逆的吸收。這能在關鍵氣體供應環境中提供可靠的安全措施。

即使在發生故障導致氣體鋼瓶在全壓力狀態下排氣時,系統也會在允許的壓力範圍內安全運作。

CT-D-VLC 採用經 TÜV 測試的不銹鋼壓力容器,壓力等級最高可達 220 bar,可提供最大運行安全性。憑藉輕巧型設計,無感應器、顯示器或其他電子元件,它可以直接整合至管道或供氣櫃中。吸收器使用可選配的耐用不銹鋼支架進行裝配,並可以經濟地重新補充,使其成為具有成本效益且節省空間的解決方案,具備長使用壽命。

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客製化吸收器和吸收器解決方案

可靠地清潔特殊排氣流量

如果我們的其他技術無法完全滿足您的需求,客製化吸收器和吸收器解決方案將是理想選擇。在仔細檢查您的製程並與您進行廣泛討論後,我們將開發完美符合您的個別要求的系統。此類系統提供被動式操作,使用乾式床吸收器與量身定制的顆粒,例如用於去除 VOC(揮發性有機化合物)的活性炭。

它具有介質消耗低,使用壽命長,安裝和維護需求極低的特點。此外,您收到的系統已經過個人化設計,可優化和延長吸附劑更換間隔。多樣化的可選配安全功能可無縫整合至全自動設施控制器和監控系統。成熟的補充系統和全面的服務可確保持續保持效率和可靠性。
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