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膜片泵浦

我們的產品 操作原理

適用於分析、工業和化學應用的乾式解決方案

膜片泵浦透過上下移動柔性膜片（稱為隔膜）來產生真空。此外，此隔膜還能將壓縮室與馬達隔絕密封，防止泵送介質受到齒輪油污染。

由於其結構精巧，膜片泵浦非常適合整合到較小的分析系統中，例如測漏儀或質譜儀，以及作為渦輪分子真空泵浦的底泵浦。
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膜片泵浦類型

Pfeiffer 的膜片泵浦可產生乾燥、無污染的真空。它們有兩級、三級或四級。級數較少的型號可提供更高的抽氣速率，從而更快排空。級數更多的真空泵浦可達到更低的極限壓力，因為每增加一級都會進一步壓縮泵送介質，使真空泵浦產生更高真空度。

此外，一些 Pfeiffer 膜片泵浦可搭配直流 (DC) 馬達。與標準膜片泵浦型號的驅動相比，這些馬達版本消耗的能源減少了 80% 以上。

產品
額定抽氣速率
MVP 003
0.25 m3/h
MVP 010
0.6 m3/h
MVP 015 Neo
0.75~1 m3/h
MVP 020
1.4 m3/h
MVP 030
1.8 m3/h
MVP 040
2.5 m3/h
MVP 070
4.3 m3/h
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乾式解決方案，適用於耐化學性運行

MVP

應用

膜片泵浦適用於各種工業應用，例如鍍膜、真空過濾或真空蒸餾。其輕巧型設計和乾燥、無污染壓縮使其成為渦輪分子真空泵浦的理想底泵浦，或非常適合整合至質譜儀等分析系統。具有碳強化特殊隔膜和防腐蝕外殼的版本可用於泵送腐蝕性氣體，例如用於鍍膜工藝。

每個行業和應用都有其獨特要求。若要確定最適合您特定需求的真空解決方案，請與我們的專家聯絡。

您的應用未被列出？探索我們的產品查詢器，瞭解更多選配！

配備膜片泵浦的真空泵浦機組

Pfeiffer 還提供結合渦輪分子真空泵浦與膜片泵浦作為底泵浦的真空泵浦機組。

這些機組配備渦輪泵浦，非常適合需要高至超高真空的應用，例如氣體分析。它們具有易於使用的觸控螢幕，可進行製程監控，並記錄量測資料。

真空泵浦機組
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常見問題

什麼是膜片泵浦？

膜片泵浦是一種正排量真空泵浦，可產生無油和無碳氫化合物的真空。它透過連接到曲軸的連桿上下移動隔膜來產生真空。隔膜泵浦的乾淨真空產生，使其成為敏感環境的理想選擇，例如洩漏偵測系統內部或用作渦輪分子真空泵浦的底泵浦。

膜片泵浦如何運作？

膜片泵浦透過使用柔性隔膜產生真空，運行可靠且無油。真空泵浦本身由一個氣缸組成，氣缸內的隔膜可以上下移動。它將壓縮室與驅動隔離。入口閥和出口閥皆受壓力控制。隔膜與連接在曲軸上的連桿相連。在電動馬達的驅動下，曲軸迴轉，從而帶動隔膜在真空泵浦運轉時移動。

以下是其操作原理的逐步概述：

1. 入口：

  • 曲軸驅動的連桿使隔膜向下移動，從而增加壓縮室的體積。
  • 此體積增加導致壓力降低。
  • 當氣體從壓力較高的區域移動到較低的區域時，泵送介質經由入口進入真空泵浦。

2. 壓縮：
  • 曲軸繼續運動，推動隔膜向上。
  • 這會減少真空腔體的體積，從而壓縮泵送介質。
  • 壓縮的泵送介質經由出口閥排出。

3. 排出：
  • 泵送介質經由出口閥排出。
  • 隨著膈膜上下移動，此循環不斷重複。

膜片泵浦非常適合需要無污染和乾淨真空環境的應用，例如實驗室、分析和化學工業。它們還以其隔膜的長使用壽命、低振動和低噪音、高運行安全性和易於維護而聞名。

無油膜片泵浦有哪些優點？

膜片泵浦是研究與開發或需要乾淨真空的各種工業應用的理想選擇。它們具有幾個益處：

  • 無油運行：膜片泵浦運行時無油、無碳氫化合物，也不會產生任何顆粒。這消除了污染風險，確保乾淨的真空產生。
  • 防腐蝕材料：專為腐蝕性應用設計的膜片泵浦，具有塗層隔膜和防腐蝕外殼。這可確保真空泵浦的組件在物理氣相沉積等製程中免受腐蝕性氣體的侵害
  • 可靠運行：兩段式膜片泵浦配備磁性氣鎮閥，增強了水蒸氣相容性。此功能可提高製程可靠性和耐用性。
  • 隔絕密封設計：真空泵浦內的隔膜作為壓縮室和驅動之間的隔絕密封，防止腐蝕性氣體腐蝕機械零件。
  • 低振動和聲壓位準：在潔淨室等敏感環境中，隔膜泵浦不僅可靠，而且振動和聲壓位準也很低。聲壓位準通常低於 50 dB(A)。
  • 易於維護：這些真空泵浦的設計便於更換隔膜和閥門，從而簡化維護並減少停機時間。
  • 雙電壓馬達：提供雙電壓馬達或直流驅動，可在全球範圍內使用，適應不同的電氣標準，並確保在各種工業環境中的多功能性。
這些特性使膜片泵浦在各種應用中都非常高效可靠。它們還能可靠地處理腐蝕性氣體，確保長久的使用壽命和穩定效能。

膜片泵浦對於洩漏偵測有什麼作用？

膜片泵浦在洩漏偵測技術中是首選，因為它們在處理輕質氣體（尤其是氦氣）方面具有卓越效能。主要原因如下：

  • 輕質氣體的絕佳抽氣速率：膜片泵浦對於氦氣等輕質氣體具有非常好的抽氣速率。
  • 穩定的前級真空壓力：它們有助於維持氦氣檢漏儀技術中使用的渦輪泵浦所需的前級真空壓力，確保一致且可靠的洩漏偵測。
  • 再生能力：這些真空泵浦支援檢漏儀的再生能力，提高其效率和準確性。
  • 低噪音和低振動：Pfeiffer 膜片泵浦的運行噪音低於 50 db(A)，確保舒適的工作環境。
  • 減少消耗功率：膜片泵浦具有極高的經濟性，因此消耗功率極低。
  • 重量輕、設計精巧：膜片泵浦重量輕，採用輕巧型設計，非常適合整合到越來越小的分析系統和渦輪分子泵站中，以及用於行動應用。

這些特性使膜片泵浦在洩漏偵測領域中不可或缺，可在各種應用中提供可靠、高效的效能。

膜片泵浦應如何維護？

一般來講，膜片泵浦的維護需求低，並提供高可靠性。然而，在每個真空泵浦中，特定組件都會承受磨損。在膜片泵浦中，隔膜和閥門屬於易磨損零件。它們由彈性體製成，會隨著時間老化而變得多孔。操作期間的應力也會對塑膠造成應力，導致磨損和孔隙。建議大約每兩年更換這兩個組件，以確保真空泵浦的最大效能。

操作人員可輕鬆進行此更換。您不需要專用工具，只需要包含新隔膜和閥門的檢修套件。您可以在我們的服務頁面找到該套件以及有關製程本身的任何其他資訊。

Pfeiffer 為真空膜片泵浦提供哪些類型的配件？

Pfeiffer 同樣為其膜片泵浦提供全系列配件。這是因為特殊作業需要使用補充零件或組件。專用電力線與通用 OmniControl 操作單元、清除氣體噴嘴、軟管連接或繼電器盒一樣，均屬於產品系列。