Systèmes de traitement des gaz d’échappement

Nos différents systèmes de traitement thermique des gaz combinent la combustion à haute température des gaz dangereux dans une chambre de réaction avec un procédé de lavage par voie humide pour éliminer efficacement les gaz résiduaires et polluants. Ils assurent une destruction efficace des composés dangereux et perfluorés (PFC) afin de minimiser l’impact environnemental.

Ces systèmes garantissent une conformité aux réglementations strictes en matière d’émissions grâce à une approche éprouvée et durable; ce qui les rend idéaux pour toute une variété d’industries qui nécessitent un traitement fiable des gaz, telles que les industries chimiques, des semi-conducteurs ou encore de la recherche et développement.

Nos systèmes de traitement des gaz par voie humide, également appelés épurateurs par voie humide, éliminent efficacement les polluants, les particules et les gaz solubles des flux d’échappement industriels. Grâce à l’absorption des liquides et à des réactions chimiques, ces systèmes d’épuration garantissent l’élimination efficace des gaz acides, des composés organiques volatils (COV) et des poussières.

De par ses faibles besoins en énergie, le traitement des gaz par voie humide constitue une solution fiable et polyvalente permettant de respecter les réglementations environnementales strictes tout en préservant l’efficacité opérationnelle.

La technologie innovante d’épurateur de gaz à sec de Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions élimine en toute sécurité les gaz corrosifs et toxiques par absorption chimique à l’aide d’un granulat spécial. Il est ainsi possible de convertir les gaz en solides stables et non volatils. Les produits chimiques, désormais liés de manière permanente aux granulats, peuvent ensuite être éliminés en toute sécurité conformément aux régulations locales.

Cette méthode ne nécessite ni gaz combustible ni eau et ne produit aucun déchet liquide. Par conséquent, elle offre une solution hautement efficace nécessitant peu de fluides pour le traitement des gaz industriels, en particulier pour l’industrie des semi-conducteurs et la recherche et développement.

Notre filtre à particules sec réduit au minimum les émissions de poussières fines. Ce système peut être combiné à notre système de traitement thermique des gaz pour obtenir une suppression optimale des particules.

Comme le filtre collecte la poussière, en amont du conduit d’échappement, il minimise ainsi la nécessité d’un nettoyage manuel de l’échappement en aval. Cela permet de réduire les coûts d’exploitation de l’installation.

Les systèmes d’abattement des gaz d’échappement éliminent les polluants dangereux et les gaz à effet de serre générés lors des procédés de fabrication, tels que la fabrication de semi-conducteurs. Le nettoyage des gaz résiduaires est essentiel pour s’assurer que ces derniers peuvent être libérés dans l’atmosphère en toute sécurité, sans nuire aux personnes, aux animaux ou à l’environnement. Les diverses propriétés des différents gaz résiduaires nécessitent différentes technologies de traitement. Il peut s’agir de l’oxydation thermique, du traitement par voie humide, de l’épuration des gaz à sec, de la filtration des particules ou d’une combinaison de ces technologies.

Traitement thermique par voie humide : combine les technologies de traitement thermique et de traitement humide pour neutraliser une grande variété de gaz résiduaires. Il modifie la composition chimique des gaz de procédé nocifs par oxydation thermique et dissout les gaz solubles dans l’eau ainsi que les sous-produits dans l’étage humide situé en aval.

Épurateur par voie humide : ce procédé consiste à épurer les polluants nocifs solubles des gaz d’échappement dans l’eau en les absorbant et en les transformant en phase liquide.

Épurateur de gaz à sec : c'est un système d’abattement des gaz d’échappement qui élimine les gaz résiduaires en les faisant passer à travers un absorbant solide, où les polluants sont liés chimiquement ou physiquement. Cette méthode permet de traiter efficacement les gaz nocifs, garantissant des émissions sûres et conformes à l’environnement. Une fois saturés, les absorbants sont remplacés ou régénérés pour un fonctionnement en continu.

Systèmes de filtration : le filtre à particules réduit les émissions de poussières fines grâce à des éléments filtrants à sec. Cela vous permet de nettoyer efficacement les flux d’air d’échappement chargés de particules, tels que ceux produits lors des processus de fabrication des semi-conducteurs. Si nécessaire, un filtre à particules peut être installé en aval de nos systèmes d’abattement des gaz d’échappement thermiques.

Les systèmes de traitement des gaz d’échappement de Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions offrent une efficacité, flexibilité et rentabilité élevées, ce qui en fait le choix idéal pour l'industrie des semi-conducteurs. Principaux avantages :

Type de gaz d’échappement
Différents systèmes d’abattement des gaz d’échappement sont conçus pour traiter une grande variété de gaz spécifiques. Pour les gaz couramment utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs, l’industrie chimique, la R&D et d’autres industries comparables, les technologies de traitement des gaz résiduaires sont recommandées, comme le montre le graphique ci-dessous.

Mode de fonctionnement spécifique du procédé
Votre procédé de fabrication peut avoir une incidence sur le traitement spécifique des gaz et la technologie appropriée. Une technologie idéale pour les procédés de fabrication en continu peut ne pas être la plus rentable pour une utilisation occasionnelle, comme c’est le cas en R&D. Une autre technologie pourrait être le meilleur choix pour les procédés de fabrication semi-continus ou un fonctionnement partiellement interrompu. Nos experts se feront un plaisir de vous aider à identifier la technologie la mieux adaptée à votre application.

Exigences spécifiques de l’installation
L’infrastructure de votre installation peut également influer sur la technologie à utiliser. Les différentes technologies de traitement des gaz nécessitent des encombrements différents, il convient donc de tenir compte de l’espace disponible pour l’installation du système d'abattement. En outre, les alimentations disponibles, comme l’électricité et l’azote, sont des facteurs importants, ainsi que les exigences supplémentaires spécifiques à la technologie, telles que l’oxygène, le gaz combustible et les fluides.

Pour trouver le système d’abattement des gaz d’échappement approprié, veuillez contacter nos experts.

Nous nous engageons à réduire l’impact environnemental des émissions de gaz grâce à une technologie avancée de traitement des gaz. Nos systèmes réduisent efficacement les émissions nocives, y compris les gaz PFC hautement persistants, tels que le CF₄, SF₆et NF₃, qui contribue largement au réchauffement climatique. En épurant efficacement ces gaz dès leur utilisation, nos systèmes d’abattement contribuent à protéger l’environnement et à réduire les émissions industrielles.

Nos solutions de traitement répondent à toutes les normes de sécurité importantes et garantissent une conformité aux lois strictes sur la qualité de l’air, y compris la réglementation allemande « TA-Luft ». En outre, nos certifications ISO 14001 et ISO 9001 témoignent de notre engagement en faveur de la durabilité industrielle et d’une production de haute qualité.

En combinant une technologie de pointe avec une stratégie axée sur la durabilité, nous proposons des solutions qui améliorent à la fois votre efficacité opérationnelle et votre empreinte environnementale.

Chaque installation a des exigences uniques, c’est pourquoi les systèmes d’abattement des gaz d’échappement de Pfeiffer proposent une conception modulaire qui peut être personnalisée en fonction de vos besoins spécifiques en matière de traitement des gaz résiduaires. Nous travaillons en étroite collaboration avec vous pour développer une solution efficace, rentable et durable adaptée à vos procédés et applications.

En tant que fournisseur de services , nous assurons un suivis détaillée du projet, de la consultation initiale à la mise en service, et continuons à vous fournir un service après-vente complet afin de préserver le fonctionnement optimal de vos systèmes.

Solutions de traitement des gaz sur mesure

Chez Pfeiffer, l’innovation est au cœur de tous nos systèmes d’abattement des gaz d’échappement. En tant que leader technologique mondial et fournisseur de technologies de traitement des gaz, nous proposons les solutions les plus avancées et les plus efficaces pour être conforme aux normes industrielles les plus strictes.

Notre laboratoire de recherche interne nous permet de développer en permanence des technologies environnementales de pointe. En outre, nous collaborons activement avec des universités et instituts de recherche, et soutenons ainsi le développement de nouveaux procédés de fabrication en garantissant un traitement des gaz sûr et conforme.