COBRA Semicon

Le pompe per vuoto a vite a secco COBRA BC sono perfettamente adatte per le attività nella produzione di semiconduttori, in particolare nelle camere di carico e ditrasferimento. Altre applicazioni sono la metrologia, la litografia, la deposizione fisica in fase di vapore (PVD), la ricottura termica rapida (RTA) e l'incisione del silicio.

Il design brevettato della vite con bilanciamento automatico garantisce livelli di vibrazione minimi e un funzionamento silenzioso.

I rotori a vite delle pompe per vuoto COBRA BC vengono prodotte da un pezzo unico di fusione evitando spazi vuoti. Questo rende impossibile la penetrazione di fluidi di processo o particelle. Prevengono quindi corrosione e deposizione.

Le pompe per vuoto COBRA BC presentano una struttura a sbalzo a forma di campana, nella quale il doppio rotore con viti a passo variabile è montato solo sul lato motore. Grazie allo speciale design "a cuscinetto flottante", i cuscinetti di entrata diventano superflui. Pertanto il mezzo trasferito non viene a contatto con i cuscinetti. Questo assicura la generazione di vuoto pulito e consente il recupero completo del mezzo trasferito.

Le pompe per vuoto della serie COBRA BC utilizzano un efficiente raffreddamento ad acqua diretto. Così viene mantenuta una distribuzione uniforme della temperatura in tutto il corpo della pompa. Inoltre, ciò garantisce la stabilità termica durante il processo.

Il protocollo di comunicazione completamente aperto (Modbus TCP-IP) consente di controllare tutte le funzioni, comprese le modalità inattive e un azionamento a velocità variabile. Il protocollo di comunicazione può essere facilmente adattato a un protocollo di rete specifico mediante componenti di interfaccia standard.

Un motore a rotore immerso rende le dimensioni della serie COBRA BC molto compatte. Grazie al design perfettamente adattabile, si possono facilmente adattare e postmontare in breve tempo in sistemi esistenti.

Le pompe per vuoto a vite a secco COBRA DS sono i generatori di vuoto ideali per applicazioni esigenti nella produzione di semiconduttori, in particolare quando è richiesta un'elevata portata di idrogeno. Pertanto sono particolarmente indicate per applicazioni quali la deposizione chimica in fase di vapore (CVD), la lavorazione termica rapida (RTP) o la deposizione di strati atomici (ALD).

Varie dimensioni delle pompe della serie COBRA DS sono dotate di un booster per vuoto ad alte prestazioni integrato. Questa combinazione di pompa per vuoto iniziale e booster per vuoto raggiunge capacità di aspirazione e pressioni assolute nominali maggiori.

La progettazione a vite autobilanciante della pompa per vuoto è un'innovazione brevettata. Questa caratteristica garantisce un'eccellente movimentazione della polvere e un'alta produttività.

I rotori a vite delle pompe per vuoto COBRA DS sono realizzati in fusione monoblocco, evitando così qualsiasi spazio vuoto. Questo rende impossibile la penetrazione di fluidi di processo o particelle. Prevengono quindi corrosione e deposizione.

Le pompe per vuoto della serie COBRA DS utilizzano un efficace raffreddamento ad acqua indiretto. In questo modo è possibile controllare la distribuzione della temperatura nell'intero corpo della pompa. In qualsiasi momento è possibile reagire alle variazioni del processo.

Grazie al design appositamente concepito, le pompe COBRA DS possono essere adattate successivamente in modo semplice e rapido a sistemi esistenti.