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COMBI

真空助力器泵浦機組

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我們的 COMBI 真空助力器泵浦機組是預先配置的高效系統。它們由 HiLobe 或 PANDA 真空助力器和相配的底泵浦(如 R5 或 DuoVane 迴轉葉片真空泵浦或 COBRA 螺旋式真空泵浦)組成。此外,還包括 Profinet(乙太網路通訊協定)等整合介面,以及管道或閥門等組件。這些功能可確保卓越的效能,從而實現快速抽真空時間和一致的真空度。還提供客製化解決方案以滿足特定的製程要求。例如,可將額外階段和更多真空助力器整合到機組中,以達到更低的極限壓力並降低消耗功率。

我們的真空助力器泵浦機組非常適合乾燥和脫氣之類的標準應用,在需要高可靠性的製程中亦表現出色,例如真空包裝、冶金、真空乾燥或洩漏偵測系統。一般來說,它們是在狹小空間中使用的絕佳選擇。

配備 HiLobe 真空助力器的 COMBI 產品系列

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具有高抽氣速率的可靠真空助力器泵浦機組

  • 可靠
  • 效能卓越
  • 靈活

Pfeiffer 真空助力器泵浦機組用於粗真空和中真空環境,提供高抽氣速率,從大氣壓力降低至 10-3 hPa (mbar)。

配備 HiLobe 真空助力器的 COMBI 產品系列益處

由於整合式 HiLobe 真空助力器具有高效能內部永磁馬達(IPM),此版本的真空助力器泵浦機組可實現快速抽真空時間。馬達符合 IE4 和 IE5 標準,可確保低運作成本,這一優勢透過高效的空氣或水冷進一步增強。為了能在狹小空間中安裝,真空助力器泵浦機組僅使用中小型 HiLobe 版本。透過靈活的裝配位置,它們可以在豎直或水平位置。我們的 COMBI 真空助力器泵浦機組採用標準配置,可根據特定應用量身打造,並提供一系列可選配件。例如,控制箱為電子設備控制裝置提供保護外殼,透過 ProfiNet 介面(乙太網路通訊協定)實現狀態監控和可靠的真空助力器泵浦機組製程管理。

視底泵浦為乾式還是油潤滑式而定,對整個真空泵浦機組進行相應分類。

COMBI RH 真空助力器泵浦機組可確保高抽氣速率和快速抽真空時間,非常適合用於預真空鎖應用。它們結合乾式底泵浦(通常是 COBRA 螺旋式真空泵浦)和 HiLobe 真空助力器

COMBI RU 真空助力器泵浦機組配備 R5 之類的油潤滑單級迴轉葉片真空泵浦,由於具有高度耐用的纖維強化環氧樹脂葉片,提供不受氣體影響的抽氣速率,確保無論氣體種類為何,都保持穩定效能。這些堅固的葉片具有耐化學性且只需最少的維護。典型應用包括氦氣洩漏偵測冶金

COMBI RD 真空泵浦機組結合 HiLobe 與兩段式迴轉葉片真空泵浦,例如 DuoVane。標準型號配備軸封,而替代配置則配備帶磁性聯軸器的 DuoVane。結合隔絕密封的 HiLobe,可形成永久密封的真空泵浦機組,防止洩漏和污染,確保可靠且乾淨的真空產生。我們的 COMBI RD 真空泵浦機組特別適合泵送惰性氣體,並達到低極限壓力。它們是渦輪分子真空泵浦之類的高真空泵浦的理想底泵浦,因為兩段式回轉葉片真空泵浦與單級型號相比可達到更低的極限壓力。這些真空助力器泵浦機組經常用於冶金、真空鍍膜研發之類的應用。

所有帶 HiLobe 真空助力器 COMBI 產品

配備 PANDA 真空助力器的 COMBI 產品系列

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具有旁通閥的可靠真空助力器泵浦機組

  • 可靠
  • 效能卓越
  • 靈活

Busch 配備 PANDA 真空助力器的 COMBI 產品系列用於產生真空,從大氣壓力降低至 10-3 hPa (mbar)。

配備 PANDA 真空助力器的 COMBI 產品系列益處

整合式 PANDA 真空助力器配備旁通閥,能可靠地防止過載或過熱。因此,它非常適合用於高壓差。

PANDA 真空助力器非接觸式運行,製程腔體內無任何工作液,確保最低的維護需求。其卓越的容積效率使其能夠在每次迴轉時輸送大量泵送介質,並實現高流量。PANDA 真空助力器可選配變速驅動,從而降低耗能量並減少運作成本。

COMBI BNV 真空助力器泵浦機組結合底泵浦(通常是 COBRA 產品系列的螺旋式真空泵浦)和 PANDA 真空助力器。此組合可在低極限壓力下提供高抽氣速率,確保短抽真空時間。典型應用為冶金、包裝真空乾燥

COMBI BRV 真空泵浦機組配備 R5 單級迴轉葉片真空泵浦。R5 產品系列採用極其耐用的纖維強化環氧樹脂材質的高性能葉片,可確保長久的使用壽命和持續運作。這使得真空助力器泵浦機組非常適合預真空鎖腔體的快速抽空,以及電子束焊表面處理之類的應用。

COMBI WVD 真空助力器泵浦單元結合了 DuoVane 等兩段迴轉葉片式真空泵浦與 PANDA 真空助力器。由於兩段迴轉葉片式真空泵浦能夠達到比單級迴轉葉片式真空泵浦更低的極限壓力,因此此設定是高真空泵浦(包括渦輪分子真空泵浦)的理想前級泵浦。它通常用於鍍膜或冶金等應用。