- 先進的螺旋式設計
- 乾式和非接觸式操作原理
- 獨特的「懸空軸承」設計
- 懸臂結構
- 精巧密閉式設計
- 直接水冷卻
- 完全開放的通信協議
COBRA Semicon
乾式螺旋式真空泵浦
COBRA Semicon 真空泵浦的操作原理基於我們最先進的螺旋式技術。憑藉其獲得專利的自平衡螺栓，它們在半導體製造的效率和可靠性方面樹立新標準。
COBRA Semicon 真空泵浦兼具高流通量與高蒸氣和顆粒耐受性。因此，它們可以順利抽取含顆粒的介質。無油且非接觸式運行的操作原理可確保維護需求低、運作成本低及使用壽命長。
COBRA BC
輕度到中度半導體應用的理想解決方案
COBRA BC 系列之益處
COBRA BC 乾式螺旋式真空泵浦非常適合用於半導體製造中的任務，特別是在負載鎖和移轉腔室中。其他應用領域還包括度量衡、微影、物理氣相沉積（PVD）、快速熱退火（RTA）和矽蝕刻。
榮獲專利的自平衡螺旋式設計可確保最低的振動級和安靜運行。
COBRA BC 真空泵浦的螺桿轉子由一體式鑄件製成，可避免任何間隙。從而避免製程液體或顆粒進入。因此，可以防止腐蝕和出現沉積。
COBRA BC 真空泵浦配備鐘形懸臂結構：帶有變螺距螺桿的雙轉子僅安裝於馬達一側。得益於獨特的「懸空軸承」設計，不需要入口軸承。因此，抽送介質不會接觸到軸承。這樣可以確保潔淨的真空產生，並可以完全回收抽送介質。
COBRA BC 產品系列真空泵浦採用高效的直接水冷卻方式。由此可確保泵體均衡的溫度分佈， 亦可確保製程的熱穩定性。
根據完全開放的通信協議（Modbus TCP-IP），您可以控制所有功能。包括怠速模式和變速驅動裝置。該通信協定可以使用標準介面元件輕鬆適用特定的網路通訊協定。
直接安裝的密閉式馬達令 COBRA BC 產品系列的尺寸非常精巧。憑藉其密閉式設計，該系列產品可以被快速、輕鬆地加裝到現有系統中。
COBRA DS
適用於嚴苛半導體製程的新一代乾式真空泵浦
- 先進的螺旋式設計
- 乾式和非接觸式操作原理
- 可完美處理粉末質材料
- 高效的間接水冷卻
- 精巧密閉式設計
- 高抽氣速率，從而排出氫氣
- 高效率馬達
- 尺寸多樣並配備集成真空助力器
COBRA DS 系列之益處
COBRA DS 乾式螺旋式真空泵浦是高要求半導體應用的理想真空發生器，特別是需要高氫氣流通量的應用。因此，它們非常適用於化學氣相沉積（CVD）、快速熱處理（RTP）或原子層沉積（ALD）。
COBRA DS 產品系列中各種結構尺寸的真空泵浦均配備整合式高效能真空助力器。底泵浦和真空助力器的組合使用提升了抽氣速率和極限壓力。
真空泵浦的自平衡螺栓設計是一項獲得專利的創新技術。這項功能可確保出色的粉末處理和長效運行。
COBRA DS 真空泵浦的螺桿轉子由一體式鑄件製成，可避免任何間隙。從而避免製程液體或顆粒進入。因此，可以防止腐蝕和出現沉積。
COBRA DS 產品系列真空泵浦採用高效的間接水冷卻方式。由此可在整個泵體內實現可控的溫度分佈， 可隨時回應製程變化。
憑藉其密閉式設計，COBRA DS 可快速、輕鬆地加裝到現有系統中。
