氦氣噴灑可準確定位洩漏
在大型真空系統中，即便微小的洩漏也會影響效能、污染製程或延遲操作。壓力上升或下降測試通常表明存在洩漏，下一步是快速可靠地偵測位置。這時氦氣噴灑就變得至關重要。這種偵測方法在廣泛的壓力範圍內都非常有效，並且支援定性測試。
這時氦氣噴灑就變得至關重要。這種偵測方法在廣泛的壓力範圍內都非常有效，並且支援定性測試。
氦氣噴灑的工作原理
- 初始檢查：執行壓力上升或下降測試（也稱為洩漏測試）以確定密封性。預先對系統進行烘烤除氣以盡量減少背景脫氣。
- 連接真空系統至氦氣檢漏儀。
- 對可疑洩漏區域（例如密封、焊接、閥門或法蘭）外部噴灑氦氣。
- 當氦氣進入系統時，透過觀察偵測器訊號峰來偵測洩漏。
由於氦氣噴灑不僅能確認是否存在洩漏，還能定位洩漏，因而可將「檢漏儀」變成真正的洩漏查找器。
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半導體製造面臨的挑戰
- 氣體洩漏或微洩漏造成的污染
- 24/7 生產環境下的停機時間
- O 形環因熱循環而老化
系統建置面臨的挑戰
- 充滿氣體的狹小空間中的工人安全
- 處理循環期間的熱相關損壞
- 難以定位複雜連接系統中的洩漏
UHV 環境中的挑戰
- 達到並維持極低壓力水準
- 偵測多接頭系統中的微小洩漏
- 防止超乾淨環境中的污染
（例如真空爐或鍍膜機）
系統建置
裝配或維護後，即便微小的組件密封錯誤也會導致重大問題，特別是在處理氬氣或氯氣等反應性或危險氣體時。
洩漏通常發生在閥門、工具或製程特定設備整合至系統的接頭處。
氦氣檢漏儀如何協助系統建置：
洩漏通常發生在閥門、工具或製程特定設備整合至系統的接頭處。
氦氣檢漏儀如何協助系統建置：
- 確保安全並防止氣體暴露
- 快速定位洩漏以加快維修速度
- 維持產品品質並防止氧化或缺陷
超高真空 (UHV) 環境
在以 10⁻⁷ hPa (mbar) 及以下運作的超高真空 (UHV) 系統中，即使最微小的法蘭或焊接組件洩漏也會干擾實驗、延遲結果或損壞敏感設備。
為何氦氣噴灑在 UHV 中至關重要：
為何氦氣噴灑在 UHV 中至關重要：
- 能夠在複雜、密封的系統中精確偵測洩漏
- 支援達到超高真空 (UHV) 水準所需的嚴格密封性要求
- 幫助維持加速器、電子顯微鏡和鍍膜腔體等敏感裝置的清潔狀態
Pfeiffer 氦氣檢漏儀
找到適合您系統的正確解決方案。不同的環境需要不同的解決方案，從精巧的維修站到完全整合的高流通量生產線。檢漏儀使用氦質譜法，但在結構尺寸、移動性、流通量和泵浦設定方面有所不同：
- 靈活的系統整合，可選擇各種底泵浦（乾式、油潤滑或外部）以適應不同的洩漏率和腔體容量 (ASM 340)
- 精巧且便攜的設計，非常適合行動服務、研發或狹小空間 (ASM 310)
- 具有最大氦氣抽氣速率的高流通量型號，可在無塵室和 24/7 環境中快速穩定 (ASM 390/392)
- 專用工具和配件有助於根據不斷變化的狀態和工作流程調整檢漏儀。從氦氣噴灑套件到運輸車，一切都能優化您的測試設定
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ASM 340
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ASM 310
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ASM 390/392
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ASM 390/392
專家網路研討會：介紹如何改進真空系統的洩漏偵測
了解洩漏和基本知識
造成真空系統洩漏的原因是什麼？
洩漏原因可能是：
- O 形環損壞
- 法蘭、閥門或焊接處出現裂痕或腐蝕
- 組件或真空設備安裝或維修不當
- 由滯留氣體或多孔材料造成的虛擬洩漏
什麼是虛擬洩漏？
當滯留氣體（通常是水蒸汽）從螺栓螺紋或多孔材料等空腔中緩慢釋放時，即發生虛擬洩漏。雖然並未真正發生違規，但這種脫氣可以模擬洩漏。
它們在分壓狀態下可能難以偵測，需要高靈敏度的方法來偵測洩漏。需要高準確度的氦氣檢漏儀或擴展監控來識別這些洩漏。
能將 WD-40 用於真空洩漏偵測嗎？
不能。WD-40 會在真空環境中留下油性殘留物和污染物，尤其是在低於 1×10⁻³ hPa 的情況下。改用異丙醇或其他酒精基液體，它們會蒸發乾淨並暫時密封洩漏，指示洩漏位置。
為何氦氣通常用於偵測洩漏？
氦氣是多種洩漏試驗方法中的首選示蹤氣體，特別是在真空環境中。
原因如下：
- 惰性且非反應性
- 極小的原子結構尺寸，非常適合微洩漏
- 空氣中含量稀少 (~5 ppm)，可實現高靈敏度
- 無毒且對環境友好
然而，處理不當可能會導致背景污染和假陽性。
始終確保：
- 避免噴灑過量氦氣
- 測試前排空噴霧軟管
- 在可疑部位輕輕且精確地施用氦氣
預防和管理洩漏
如何防止真空系統洩漏？
- 使用適合您壓力的材料
- 盡量減少設計中的接頭、彎弧和死體積
- 安裝期間小心把手部件
- 定期目視檢查真空系統中的關鍵組件
- 執行烘烤除氣以去除殘留的水分和氣體
在選擇檢漏儀並準備系統進行小洩漏試驗時應考慮什麼？
如何收集和記錄檢漏儀的測試結果？
現代氦氣檢漏儀（例如 ASM 系列）支援：
- 數位資料記錄
- USB 或乙太網路匯出
- 內建診斷功能與易於稽核的報告
氦氣洩漏偵測方法和最佳實踐
噴灑方法的準確度如何？
在可用的洩漏試驗方法中，氦氣噴灑對於偵測大多數相關洩漏具有足夠的準確度。氦氣噴灑用於定位，而非絕對速率量測。它可以偵測到低至約 10⁻⁷ 至 10⁻⁹ mbar∙l/s 的洩漏，適用於大多數真空應用。
優勢：
- 在實際系統操作期間有效
- 壓力上升/洩漏測試後的理想選擇
- 快速發現影響安全或效能的洩漏
噴灑與嗅探：真空洩漏偵測的最佳方法是什麼？
氦氣噴灑與嗅探只是幾種真空洩漏試驗方法中的兩種。選擇哪種方法取決於壓力條件，以及系統是處於真空狀態還是充滿空氣。
氦氣噴灑 | 氦氣嗅探 | |
|---|---|---|
氦氣流量 | 外 → 內 | 內 → 外 |
應用案例 | 腔體內的真空 | 加壓腔體 |
氦氣數量 | 小型、可控 | 完全加壓 |
大多數偵測器都支援這兩種模式。對於真空洩漏偵測，噴灑仍然是最高效且最具成本效益的方法。
什麼會影響噴灑測試的反應時間？
在大型系統中，氦氣可能需要一些時間才能通過洩漏路徑。優化方式：
- 使用短而寬的連接
- 確保良好的電導值
- 盡量減少外部泵浦流阻（部分流量設定可能會降低訊號強度）
我可以使用替代方法來偵測洩漏或空氣進入嗎？
可以，特別是在偵測由空氣或其他氣體進入所造成的洩漏時，四極質譜儀 (QMS) 等替代方法可提供額外的準確度。
QMS 可偵測氮氣、水蒸汽或氬氣等氣體。它們在診斷、製藥和研發環境中非常有用，可透過質荷比分析洩漏。
檢漏儀的實際使用和設定
如何正確調整氦氣噴槍？
- 設定溫和、受控的流量，剛好足以在水中產生小氣泡
- 啟動前，吹噴軟管中積聚的氦氣，使其遠離測試物體
- 僅針對可能的洩漏點（法蘭、O 形環、焊接）
- 避免釋放大量氣體，否則可能引發錯誤讀數
選擇用於噴灑的正確氦氣檢漏儀
您的選擇應反映您的設定要求，包括移動性、反應時間、抽氣速率和整合靈活性：
- ASM 340：多功能平台，專為系統驗證和中型設定而設計。提供高氦氣抽氣速率，可配備多種底泵浦（乾式、油潤滑或外部），以符合不同的腔體結構尺寸和洩漏率要求。
- ASM 310：精巧、輕便的解決方案，針對服務、研發和狹小空間進行了優化。具有多位置操作、易於運輸及可拆卸觸控式螢幕介面的特點。最適合便攜性與快速部署至關重要的行動或靈活設定。
- ASM 390 / 392：這些型號專為無塵室使用和 24/7 高流通量操作而設計，可提供產品組合中最高的氦氣抽氣速率。非常適合需要快速穩定的時間敏感製程，例如半導體生產或自動化 QA 站。
哪些配件有助於優化氦氣洩漏試驗？
正確的工具可以讓氦氣洩漏偵測更加精確和更有效率。
主要配件包括：
- HeliSpray：可補充加註的噴霧裝置，用於在密封、閥門和焊接上準確應用氦氣。
- 低流量噴槍：確保受控的氦氣釋放，減少錯誤訊號並提高偵測準確度。
- 運輸車和箱子：保護和調動檢漏儀與敏感組件。
- 模組化推車：非常適合實驗室或生產環境中的靈活試驗設定。