產生超高真空

實現超高真空 (UHV)，首先應對真空物理知識，包括真空度、壓力動態和氣體行為。探索我們的專家主導的影片系列，逐步瞭解 UHV 系統設計、腔體準備和真空泵浦選擇。

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標準超高真空 (UHV) 裝置從乾式底泵浦（第二級）開始，將壓力降低至約 10⁻³ hPa (mbar)。高真空或超高真空泵浦（第一級），例如渦輪分子真空泵浦，接著接管以達到最終操作壓力。

比較合適產品

材料選擇會影響從真空完整性到長期穩定性的各個方面。這不只是在於低脫氣，還有幾個因素很重要：

由於其可靠性和烘烤除氣效能，奧氏體不鏽鋼仍然是 UHV 系統的標準材料。

在選擇合適的材料上需要支援？與我們的專家聯絡。

真空系統通常根據其達到的壓力範圍進行分類。每個範圍都有特定的技術要求，並服務於不同的應用：

對於工業製程，高真空通常足夠了。相比之下，UHV 與 EHV 對特殊材料、密封技術與先進真空泵浦系統有很高要求。

渦輪分子真空泵浦的極限壓力在較低的 UHV 範圍內、在優化的配置中甚至在 EHV 範圍內。對於更高的 EHV 狀態，需要額外的技術，例如離子真空泵浦、鈦昇華真空泵浦和非蒸發性吸氣劑 (NEG) 真空泵浦。

瞭解所需的操作壓力 (pₒ) 是 UHV 系統設計中最關鍵的步驟之一。

它定義了：

沒有明確操作壓力目標的設計通常會導致系統過度設計且成本高昂，或效能不佳且不穩定。渦輪分子真空泵浦的壓縮比 (K₀) 同等重要，特別是在運輸氫氣之類的輕氣體時。根據 Gaede 公式，此比率反映了真空泵浦在每個級別降低氣體壓力的能力。目標壓力越低，所需的壓縮比越高。

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操作壓力和壓縮比是可靠地達到超高真空 (UHV) 狀態的關鍵設計參數。

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在分子流模式中，系統電導值（真空管路允許氣體流量的能力）變得至關重要。連接長或窄可能會顯著降低有效抽氣速率。優化的系統幾何形狀可確保真空泵浦充分運作。

Pfeiffer 自 1955 年以來，結合精密工程、創新和數十年的經驗，在渦輪泵浦技術方面樹立基準。我們的渦輪分子真空泵浦（包括雷射平衡式 HiPace 產品系列）因其使用壽命長、振動級低、效能一致而受到全球信賴，即使在高要求的 UHV 和 EHV 應用中也是如此。

無論您是處理氫氣之類的輕氣體，還是需要整合至分析裝置的精巧解決方案，我們的專業知識都能確保為您的製程提供合適的渦輪泵浦。

想瞭解渦輪泵浦的工作原理嗎？探索工作原理並深入瞭解我們的渦輪泵浦。

要達到 UHV，需要在整個系統設計和安裝中關注細節。妨礙達到超高真空的常見問題包括：

如何避免這些問題


精心規劃的 UHV 系統，由可靠的組件和專家指導提供支援，確保長期穩定性和可重複的效能。