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真空腔體

真空腔體是真空系統之核心。我們的產品系列包括從小型到大型腔體,適用於幾乎任何應用。

適用於中真空至超高真空的真空腔體

標準真空腔體

我們的標準真空腔體產品系列為客製化真空腔體提供快速可用且具成本效益的替代方案。您可搭配各種標準化基本主體與自選腔體出口,根據應用需求打造真空解決方案。

標準真空腔體專門設計用於環境壓力最高 1 · 10-7 hPa (mbar)。
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    質譜儀用腔體

    設計用於維持超高真空,確保電離和離子偵測的準確性。

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  • 高真空腔體

    高真空腔體

    運行壓力介於 10-3 至 10-7 mbar (mbar),通常使用渦輪分子或擴散真空泵浦。

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  • 中真空腔體

    中真空腔體

    運行壓力介於 10-1 至 10-3 mbar (mbar),適用於洩漏試驗或包裝等各種工業應用。

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  • modular_vacuum_chambers

    模組化真空腔體

    可自訂修改尺寸和配置,以適用於特定實驗或製程。

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客製化真空腔體

客製化真空腔體
憑藉豐富經驗,我們可針對腔體規格、設計和工程設計提供詳細建議。無論是草圖還是完整設計圖,我們的工程師、物理學家、技術人員和設計師團隊基於您的要求,根據應用量身打造客製化真空腔體。

可依需求整合真空泵浦、量測技術、組件和閥門等組成完整真空系統。
請求報價

了解 UHV 腔體設計

客製化真空腔體
雖然系統設計考慮整體架構,但腔體本身仍然是 UHV 效能之基石。當氣體流量變成分子時——這意味著顆粒主要與腔體壁相互作用,而不是彼此相互作用,表面品質、清潔度和材料選擇對於達成 UHV 至關重要。
在常見問題部分了解更多

常見問題

想要了解關於超高真空腔體設計的知識?

設計優良的超高真空腔體通常包括:

  • 材質選擇:由於低氣體含量和高防腐蝕性,因此首選奧氏體不鏽鋼。
  • 熱管理:所有材料和組件必須耐受烘烤溫度,以降低脫氣。不鏽鋼和銅因熱膨脹相似而匹配良好。鋁合金則較為受限。
  • 焊接與製造:偏好使用內部焊接以避免虛漏。應避免進行雙焊,因為會截留氣體。設計還應盡量減少盲孔和粗糙表面。
  • 潔淨製程:最終製備通常包括超音波浴、去礦物質水沖洗和真空退火,確保汙染最小化。
此外,在洩漏試驗期間控制示蹤氣體流量至關重要——使用短氣管、氦氣噴槍和兩段式減壓器等工具。

真空腔體的功能是什麼?用於哪些領域?

真空腔體是一種隔絕密封容器,用於排出空氣和氣體,可透過真空泵浦抽空。其封閉應用,使其免受外部影響。真空腔體用於粗真空以及中真空、高真空和超高真空應用。潛在應用範圍廣泛,涵蓋工業、研發、分析、鍍膜半導體技術。

Pfeiffer 真空腔體如何適應我的需求?

Pfeiffer 真空腔體符合最高品質和技術標準。我們的目標是提供專屬於您且依需求量身打造的客製化高效真空解決方案。

憑藉在真空技術諸多領域的長年經驗,我們了解真空產生的應用特定要求。我們的專業水平充分體現在真空腔體設計之中。在標準真空腔體中,我們提供經濟實惠且隨時可用的解決方案,可根據特定要求進行調整。我們樂意為您提供選型幫助。此外,您可根據需求自由搭配真空腔體與任何類型的真空泵浦。

Pfeiffer 真空腔體具有哪些優勢?

透過高品質真空腔體(單件和批量生產),我們可以為您提供完美的真空解決方案。Pfeiffer 一站式提供所有製程:應用諮詢、設計、製造、品質保證、裝配和現場服務。

  • 針對旗下製造的所有真空腔體進行洩漏試驗,必要時包括殘留氣體分析
  • 可依據客戶特定的技術要求進行最佳調整,實現多樣化應用可能
  • 豐富多樣的設備選配,因應客製化需求
  • 適用於中真空到超高真空的安全可靠真空解決方案
  • 全面服務,一站式提供諮詢、規劃、製造和安裝

客製化真空腔體有哪些優點?

客製化真空腔體可根據特定需求量身打造,確保最佳適應性,完美契合您的應用。採用高品質材料製成,專為極佳耐用性和長期可靠性而設計。此外,客製化腔體可透過各種附加零件和配件進行擴充,從而根據需要調整和升級系統。