請更新您的瀏覽器。
您似乎正在使用舊版本 [ 技術 ]。 請更新您的瀏覽器，以獲得最佳的 Pfeiffer 網站體驗。
為每個應用提供精確的總壓力量測
準確的壓力量測是任何可靠真空製程的基礎。從粗真空到超高真空，合適的計量表可確保穩定的操作、製程控制和最佳的產品品質。我們的真空表可提供準確的讀數，確保精確度、耐用性和輕鬆的系統整合。
電容式計量表，也稱為電容式壓力錶，可不受氣體類型影響地測量真空。這些計量表使用柔性膜片，可對測得的真空與穩定的基準真空之間的壓差做出反應。隨著真空腔體中的壓力改變，膜片會稍微彎曲。這種彎曲會改變膜片與固定電極之間的距離，從而改變兩者之間的電容。計量表會測量此電容變化並將其轉換為精確的壓力讀數。
電容式計量表涵蓋從中真空到高真空的廣泛壓力範圍。其特別適合需要精確製程控制的應用，例如薄膜沉積、校準任務或腐蝕性氣體量測，其中，可靠且不受氣體影響的讀數對於維持結果的一致性至關重要。
壓阻式計量表也仰賴膜片的機械偏轉，但該計量表不會偵測電容，而是偵測因應變所造成的電阻變化。當真空腔體中的壓力改變時，膜片會稍微彎曲，導致感應器元件發生機械應變。此應變會改變元件的電阻，計量表會對其進行測量並將其轉換為精確的壓力讀數。
壓阻式計量表不受氣體影響。其特別適用於粗真空到中真空範圍的應用，包括工業製程、底泵浦監控和一般製程控制。
Pirani 計量表透過偵測氣體傳導熱量的效率來測量真空。計量表的核心是一根小型加熱燈絲，其溫度會根據周圍的氣體密度而改變。當氣體分子數量增加時，它們會從燈絲吸收更多熱量，導致燈絲溫度下降。相反地，真空度越高，可帶走熱量的分子越少，因此燈絲會保持較高溫度。計量表會測量這些溫度變化並將其轉換為壓力讀數。
由於導熱性取決於氣體類型，因此 Pirani 計量表會受氣體影響。它們是粗真空到高真空範圍的理想選擇，適用於各種應用，包括洩漏偵測、冷凍乾燥、鍍膜和工業真空系統。
冷陰極計量表，也稱為 Penning 計量表，透過在計量表內電離氣體分子來測量壓力。感應器由兩個電極和強磁場組成。當施加高電壓時，自由電子會加速並開始在電極之間螺旋運動。當自由電子移動時，會與氣體分子碰撞並擊出更多的電子，產生正離子。
形成的離子數量取決於存在的氣體分子數量，亦即腔體內的壓力。在低真空度下，氣體分子數量較多，因此會產生更多的離子，形成更強的離子流。在高真空度下，氣體密度降低，產生的離子較少，電流也會下降。計量表會將此離子流轉換為壓力讀數。
由於每種氣體電離方式不同，冷陰極計量表會受氣體影響。其是高真空和超高真空範圍的理想選擇。典型的應用包括科學研究、顆粒加速器技術、鍍膜系統和半導體製程，在這些應用中，能在極端真空狀態下進行可靠精確的壓力量測至關重要。
熱陰極計量表（最常見的是 Bayard-Alpert 設計）使用加熱的燈絲來釋放電子，而冷陰極計量表則依賴於在磁場中加速的自由電子。這些電子被加速朝向帶正電荷的格柵，在格柵中，它們與氣體分子碰撞並擊出額外的電子，產生正離子。與冷陰極計量表一樣，產生的離子數量取決於存在的氣體分子數量。測量此離子流，並將其轉換為壓力讀數。
熱陰極計量表受氣體影響，並在超高真空至極高真空範圍內提供精確量測，特別適合科學研究、半導體製造以及高要求的分析應用。
每個真空表的運作基於不同的物理量測原理，使某些計量表更適合特定應用。計量表可以準確測量的壓力範圍，取決於基本的量測原理，以及計量表本身的設計，確保在預期製程狀態下達到最佳效能。
選擇真空表時，必須考慮以下因素：
真空表採用直接或間接量測原理。
Pirani 計量表和熱電偶計量表都是熱導率計量表，也就是說，它們會監控加熱導線向周圍氣體散熱的速度，以測量真空。主要區別在於測量導線冷卻的方式：
對於重新校正沒有嚴格的規定或一般性建議。需求取決於您的製程要求、使用的介質和計量表類型。許多客戶選擇六個月或一年的間隔時間。
不確定您的計量表是否需要重新校正？深入了解 Pfeiffer 校準服務，或立即聯絡我們的服務專家！
在大多數真空系統中，單個計量表無法測量整個壓力範圍。為了在所有壓力下取得準確的讀數，可在同一個系統中安裝使用不同量測原理的多個計量表或組合計量表。
選擇正確的型號和計量表組合可確保在整個範圍內可靠精確地監控壓力。它可讓操作人員準確控制整個製程，從抽空腔體到重新引入氣體。
可用的組合計量表：
