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真空閥門

真空系統設計之關鍵

真空閥門

真空閥門在真空系統設計和功能方面扮演關鍵角色,確保在各行各業和研究應用中實現精確控制和可靠運作。

我們的閥門產品組合包括各式各樣的壓力控制閥和截止閥,提供不同執行器和法蘭類型,以滿足多樣化操作需求。

真空閥門的類型

基本真空系統由三種核心設備組成:真空泵浦真空腔體真空閥門。選擇合適的真空閥門對於最佳化系統效能和這些核心組件之間的互動至關重要。

真空閥門通常分為兩大類別:截止閥壓力控制閥

截止閥

這些閥門可隔離氣流,並能夠以手動氣動電動方式運行。它們對透過隔離真空系統區段來維持真空狀態至關重要。

截止閥適用於各種應用,包括半導體製造研發和工業製程,確保可靠密封和操作效率。
  • hv_valve

    HV 角閥

    非常適合注重低脫氣和耐高壓差的高真空系統。

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  • uhv_valve

    UHV 角閥

    可靠的效能、減少的顆粒排放和最小的脫氣,適用於超高真空應用。

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  • mini_valve

    Mini 角閥

    特別適用於占地面積小且空間有限之應用中的密封和排氣。

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  • hv_gate_valves

    HV 閘閥

    為分子流提供高流導值——是高真空應用的理想之選

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  • HV 擺動閥門

    HV 擺動閥門

    平穩的作動和高流導值——非常適合空間有限且需要可靠真空隔離的應用

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  • UHV 閘閥

    UHV 閘閥

    高流導值與絕佳密封——十分適合用於超高真空應用

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  • 球閥

    球閥

    能夠處理嚴苛製程——適用於需要可靠密封和耐用性的應用

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  • inline_valves

    直列閥門

    高效的氣體流量和高壓差——非常適合工業和研究應用

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  • 排氣閥

    排氣閥

    真空系統可控排氣至大氣壓力——對於安全維護和系統停機至關重要

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  • 膜片閥

    膜片閥

    高真空狀態的最佳選擇

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  • 蝶閥

    蝶閥

    非常適合在高真空應用中隔離真空系統的各個區段

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壓力調節閥

壓力控制系統由三個基本組件組成:閥門控制器計量表。閥門的主要功能在於控制真空腔體內的壓力和真空系統內的氣體流量

這些壓力控制閥非常適合對精確製程控制有高要求的應用,例如半導體產業鍍膜應用
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    氣體控制閥

    使用電磁驅動計量機構來精確控制氣流。

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    氣體計量閥

    真空系統中可靠、受控的氣流和壓力

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執行器

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閥門可以多種方式啟動。

截止閥通常透過手輪或快關/快開機構進行手動操作,或使用壓縮空氣進行氣動操作。

然而,我們的 E 系列截止閥透過電動驅動操作。壓力控制閥也是電動驅動的,由馬達驅動。

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手動驅動

手動閥門無需任何電子設備,即可透過手輪或快關/快開機構進行操作。

手輪可提供精確、漸進的控制以實現平穩操作,而快開/快關機構則能實現快速驅動,以便進行快速隔離或應對緊急情況

氣動驅動

氣動驅動閥門需要無油壓縮空氣供應。這用於移動內部活塞,進而開啟或關閉閥門。

電動驅動

電動驅動利用馬達將電能轉換為精確的機械運動。這可以在無需壓縮空氣的情況下開啟或關閉閥門。

電動氣動式驅動

配備電動氣動式驅動的閥門包含一個氣動閥門,並內建一個電磁閥來控制壓縮空氣供應。

電磁閥是一種電控閥門,當電流產生磁場時便會開啟或關閉。

這使得閥門能夠透過電子訊號進行遠端操作,將氣動驅動的快速和可靠作動與電子開關的便利性和控制力相結合。

常見問題

什麼是真空閥門?

真空閥門是一種控制真空系統內氣體流量的機械組件。

每個閥門都扮演著不同的角色:它可以單純地開啟或關閉以啟動或停止氣流,也可以控制流量以幫助建立或維持所需的壓力水準。某些閥門類型也能改變氣體的流向——例如使用乾淨、乾燥的氣體對真空腔體進行通氣——以安全地將系統恢復至大氣壓力,或在停機期間保護敏感組件。

真空閥門有各種不同的形式和不同的驅動方式,包含手動氣動電動設計。

真空閥門會與真空泵浦真空腔體結合使用。它們對於半導體製造薄膜鍍膜以及研究實驗室等應用中可靠且精確的操作至關重要。

各種閥門類型之間有何區別?

每種閥門類型在真空系統中都具備特定功能。
以下的概覽強調了主要特性和使用案例,以協助您為您的應用選擇合適的閥門

閥門類型
典型功能
關鍵優勢
典型應用
閘閥
透過扁平蓋板的開啟與關閉來隔離不同區段
極高流導值,適用於高真空超高真空
負載鎖定裝置和傳遞室鍍膜系統、渦輪分子真空泵浦的隔離
直角閥
使用密封件、塞頭與閥桿將氣流改變 90°
輕巧型設計,適用於有管路限制且需要改變流量方向的系統
一般真空系統、研發裝置、所有市場
蝶閥
透過迴轉圓盤以隔離或控制流量
輕量、快速驅動
球閥
透過旋轉滾珠進行開啟/關閉流量控制
精巧且堅固的設計、快速驅動
膜片閥
透過柔性膜片進行流量控制
潔淨操作、污染風險低
擺動閥門
帶有迴轉閘門的平墊圈運動
適用於狹小空間、高流導值、顆粒產生極少
半導體薄膜沉積、渦輪分子真空泵浦的隔離
排氣閥
允許受控地向大氣排氣以釋放過剩壓力
安全的壓力平衡、保護組件
維護和腔體排氣

如何啟動閥門?

閥門可以透過三種不同方式進行操作:手動氣動電動

  • 手動操作的閥門可透過手輪快關/快開機構來開啟。快開/快關機構能實現快速驅動,以便進行快速隔離或應對緊急情況。
  • 氣動操作的閥門利用壓縮空氣來移動內部活塞或隔膜,進而開啟或關閉閥門機構。
  • 電動驅動使用馬達電能轉換為精確的機械運動,無需壓縮空氣,即可實現自動化的可靠控制。
此外,還有一種組合版本可供選擇:電動氣動操作的閥門同樣使用壓縮空氣,但內建電磁閥來控制氣流。這種電磁閥是一種電控閥門,當產生磁場時便會開啟或關閉。

出於監控目的,可使用位置指示器來判斷閥門是開啟還是關閉。手動閥門通常具視覺指示器,而氣動閥門可向真空系統提供直接電氣回饋,確保精確控制和監控。這些指示器通常直接安裝在閥桿或執行器外殼上,用於追蹤閥門內部移動元件的位置。

選擇真空閥門時,應該考量哪些標準?

為了替您的應用找到合適的真空閥門,您應該考量幾個標準。

  • 用途:應用會顯著影響閥門的選擇。依據閥門是主要用於開啟、關閉真空管路,還是用於壓力控制,其要求會有所不同。
  • 安裝與系統相容性:可用安裝空間的物理尺寸,以及真空泵浦與腔體的法蘭,會直接影響合適閥門結構尺寸的選擇。
  • 泵送介質:流經閥門的氣體成分顯著影響材料選擇,以確保閥門的耐用性和可靠性。
  • 溫度:了解預期溫度對於選擇閥門本體和密封件的適當材料至關重要,以確保功能長久可用。
  • 壓力:了解閥門承受的壓力狀態會影響閥門選擇。

請聯絡我們的專家,為您的應用尋找最完美的真空閥門。

Pfeiffer 真空閥門有何特別之處?

E 系列真空閥門可直接替代氣動電動氣動驅動閥門,將其堅固性和功能性與全電動驅動的優勢相結合。它們消除了對壓縮空氣和外部電磁閥的需求,同時避免了電磁驅動閥門常見的缺點,例如高消耗功率、定位精度有限以及熱產生增加。這帶來了精確、可靠的閥門控制,同時降低了能源消耗並簡化了系統整合。

我們的壓力控制閥整合兩項關鍵創新,旨在提供卓越效能:

  • 控制器內部的馬達控制技術實現了快速操作和精細的位置解析度,使其能夠對不斷變化的製程狀態做出快速反應。
  • 我們的自適應壓力控制演算法與馬達控制協同運作,根據當前狀態持續調整閥門反應。這有助於準確維持目標壓力。

閥門可用於哪些壓力範圍?

真空閥門適用於所有真空應用,而閥門的選擇取決於特定壓力等級所需的密封技術:

有哪些密封和密封機構可供選擇?

密封件與密封方法是為真空系統閥門選型的關鍵因素。

由於耐溫性和放氣率各不相同,密封件的選擇最終取決於製程的要求。這包含了必要的耐溫性和所需的真空度

  • 橡膠密封高真空應用提供可靠密封。其耐溫性取決於彈性體材料和作動類型——因此,某些閥門具備不同的特性,使其更適合特定應用。
  • 金屬密封件不需要彈性體。這意味著它們具有極低的放氣率,因此非常適合超高真空應用

高真空閥門有哪些類型?

在 Pfeiffer,您可以找到滿足不同安裝和效能需求的廣泛高真空閥門系列。正確閥門的選擇取決於多個因素,包括製程順序、製程溫度極限真空氣體組成。高真空和超高真空系統需要兼具可靠密封、高流導值和耐用性的閥門。

  • 直角閥可將氣體流量轉向 90°,而具有相對連接法蘭的直列閥門,可輕鬆安裝在直管管道。兩種類型通常使用波紋管作為密封
  • 閘閥和隔離擺動閥門非常適合狹小空間,確保氣體流動暢通,且光學通路無阻礙。其專為高真空和超高真空設計,通常在低壓差下開啟。它們是氣閘或真空泵浦上游的理想選擇。
  • 球閥也可用於特定高真空應用。經成本優化的 KF 設計,洩漏率達 10-6 mbar l/s,耐受最高 80°C 的溫度。特殊設計適用於高真空範圍,能夠承受高達 150°C 的溫度。