Fabricação de semicondutores

Fornecemos soluções avançadas de gerenciamento de contaminação que permitem que os fabricantes de semicondutores monitorem ambientes de sala limpa em tempo real. Ao detectar as contaminações precocemente, nossas soluções ajudam a minimizar a perda de rendimento.

Nossa linha de bombas de vácuo a seco inclui bombas de vácuo de parafuso e aceleradores de vácuo multiestágio.

Na indústria de semicondutores, os ambientes de vácuo devem estar em conformidade com os rigorosos padrões de sala limpa. Todos os componentes, incluindo bombas de vácuo, são necessários para atender aos regulamentos altamente específicos da indústria.

Os níveis de vácuo na indústria de semicondutores devem ser selecionados com precisão com base na aplicação específica, no tipo de ferramenta e na receita do processo. Cada processo de deposição e gravação – como ALD, PECVD, CVD e PVD – requer um nível de vácuo e pressão controlado, bem como compatibilidade com vários gases do processo.

Sim, a Pfeiffer oferece sistemas de vácuo personalizados a adaptados às necessidades específicas dos fabricantes de semicondutores. Combinamos um amplo portfólio de produtos robustos e de eficiência energética com profundo conhecimento técnico para projetar soluções em todos os regimes de vácuo – da pressão atmosférica ao vácuo ultra-alto.

As bombas de vácuo desempenham um papel fundamental na manutenção dos ambientes ultralimpos necessários para processos de semicondutores, como deposição, gravação, PVD, litografia, gravação por plasma e ALD. Ao garantir condições de vácuo estáveis, elas ajudam a evitar a contaminação por partículas e permitem a alta precisão necessária para a fabricação de wafers.

O vácuo é essencial em todas as tecnologias de wafer – desde o silício tradicional até materiais avançados como carboneto de silício (SiC) e nitreto de gálio (GaN).

Sim. Oferecemos uma ampla gama de produtos semicondutores – como bombas de vácuo e sistemas de redução de gás do processo – projetados com tecnologias avançadas para minimizar o uso de energia, nitrogênio e água. Nossas soluções estão alinhadas com as metas de sustentabilidade do setor, ajudando os fabricantes a reduzir sua pegada ambiental sem comprometer o desempenho.

Uma ampla faixa térmica permite que nossas bombas de vácuo a seco lidem efetivamente com vários gases do processo – desde precursores sensíveis a temperaturas mais baixas até gases condensáveis a temperaturas mais altas. Esta capacidade ajuda a evitar o acúmulo de material dentro do sistema de vácuo, garantindo operação estável, maior confiabilidade e vida útil estendida do produto em aplicações exigentes de semicondutores.

Esta flexibilidade térmica é alcançada através de componentes especializados integrados em nossos produtos. Entre em contato conosco para encontrar a melhor solução para seus requisitos específicos de processo.