我們的首要任務是確保氣體減排系統的長期效率和可靠性。
從安裝和啟動服務到維護、升級和系統檢查，我們的專家團隊提供量身定制的支援，讓您的設備運作保持最佳效能。
我們還提供運作成本分析、傅立葉轉換紅外光譜 (FTIR) 氣體量測、備件供應以及棄置服務，確保您的系統保持安全、合規且具成本效益。
創新解決方案，打造潔淨環境
作為工業使用現場廢氣處理的技術領導者，我們透過端對端解決方案為更潔淨的未來做出貢獻。我們的系統可有效減少有害排放，包括具有極高全球暖化潛力的高度持久性 PFC 氣體，如 CF4、SF6 和 NF3。我們的氣體減排系統透過在使用現場有效去除這些有害氣體，協助營造更環保的環境。
我們負責管理您的排放，並根據您的特定要求調整久經驗證的製程，例如污染物燃燒、洗滌、過濾或吸收。
我們負責管理您的排放，並根據您的特定要求調整久經驗證的製程，例如污染物燃燒、洗滌、過濾或吸收。
氣體減排系統類型
熱氣體處理
我們的各種熱氣體處理系統結合反應腔體中有害氣體的高溫燃燒與先進的濕式洗滌製程，可有效去除廢氣和污染物。它們可確保有效去除有害化合物和全氟化合物 (PFC)，同時將環境影響降至最低。
這些系統透過久經驗證的永續方法，符合嚴格的排放法規，非常適合需要可靠氣體減排的各類行業，例如半導體和化學工業以及研究與開發領域。
濕氣體處理
我們的濕氣體處理系統（也稱為濕式洗滌器）可有效去除工業排氣流中的污染物、顆粒和可溶性氣體。透過液體吸收和化學反應，這些減排系統可確保酸性氣體、揮發性有機化合物 (VOC) 和粉塵的高去除效率。
濕氣體處理因其較低的需能量，是一種可靠且多用途的解決方案，滿足嚴格的環境法規，同時維持運作效率。
乾式床吸收器
Pfeiffer 的創新乾式床吸收技術使用特殊顆粒，透過化學吸收安全去除有毒氣體和腐蝕性氣體。這會將氣體轉化為穩定的非揮發性固體。化學品現在永久固定在顆粒中，之後可以依照當地法規安全棄置。
此方法不需要燃料氣體或水，也不會產生液體廢棄物。因此，它為工業氣體處理提供了介質需求低、經濟性高的解決方案，特別是對於半導體行業和研究與開發。
過濾系統
我們的乾式顆粒過濾器可將細塵排放降至最低。此系統可與我們的熱氣體處理結合，以達到同類最佳的顆粒去除效率。
由於過濾器會在使用現場（在排氣管道前）收集灰塵，因此最大程度地減少了手動清潔下游排氣的需求。這可降低設施運作成本。
應用
Pfeiffer 的氣體減排系統對於保持乾淨安全的生產環境至關重要，特別是在半導體行業中。從蝕刻、化學氣相沉積 (CVD)、磊晶、原子層沉積 (ALD)、離子植入和薄膜沉積到極紫外光 (EUV) 微影，我們的先進技術可確保在使用現場可靠去除有害製程氣體：熱氣體處理、濕氣體處理、乾式床吸收器和過濾系統，或這些技術的組合。每個行業都有獨特的要求和安全標準。如需瞭解符合您需求的最佳氣體減排解決方案，請與我們的專家聯絡。
專為您的製程而設計：客製化氣體減排解決方案
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 的廣泛減排產品組合，包括適用於每項工業安裝的最佳廢氣處理解決方案。
我們自主開發的模組化系統能讓我們根據您的特定需求量身打造每個解決方案。
我們自主開發的模組化系統能讓我們根據您的特定需求量身打造每個解決方案。
常見問題
什麼是氣體減排系統，其運作方式是怎樣的？
氣體減排系統可去除製造製程中產生的有害污染物和溫室氣體，例如半導體製造或工業氣體運輸。廢氣淨化至關重要，以確保這些氣體能安全地排放到大氣中，而不會對人類、動物或環境造成危害。各類廢氣的各種特性意味著它們需要不同的處理技術。這些技術可能包括熱氧化、濕法處理、乾式床減排、顆粒過濾或這些技術的組合。
熱濕法：結合熱處理和濕法處理技術，減少各類廢氣排放。它透過熱氧化改變有害製程氣體的化學成分，並溶解水溶性氣體以及下游濕法階段的副產物。
濕式洗滌器：該製程指透過吸收排氣中的水溶性有害污染物並將其轉化為液相來進行洗滌。
乾式床吸收器：乾式床吸收器是一種氣體減排系統，透過將廢氣通過固體吸收床來去除廢氣，其中污染物會透過化學或物理作用被固定。這種方法能有效處理有害製程氣體，確保排放安全且符合環境規定。一旦吸收劑飽和，就需要更換或再生，以便持續運作。
過濾系統：顆粒過濾器透過乾式濾芯減少細塵排放。這樣可以高效淨化含有大量顆粒的排氣流，例如在容易產生顆粒的半導體製程中產生的排氣。如有需要，顆粒過濾器可安裝在我們的熱氣體減排系統下游。
Pfeiffer 的氣體減排技術有哪些優點？
Pfeiffer 的氣體減排系統具有高效率、靈活性和成本效益，是半導體製造和其他高要求行業的理想選擇。主要的優點包括以下方面：
- 耐用：我們的系統採用高品質材料製成，可確保持久的效能和低運作成本及售後成本。
- 靈活：我們提供所有主要減排技術，可根據個別應用的要求，靈活選擇系統。
- 模組化：我們的減排系統結合不同的技術，提供量身打造的解決方案。
- 安全：內建的安全功能（例如標準氣體感測器、緊急 N₂ 稀釋、旁通閥以及備用選配）能在緊急情況下確保最大安全性。
如何為我的應用選擇合適的氣體減排系統？
排氣類型
不同的氣體減排系統設計用於運輸特定類型的氣體。對於半導體行業和化學工業，以及研發和其他類似行業所產生的最常見氣體，建議使用如下圖所示的廢氣減排技術。
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特定製程操作模式
製程操作方式會影響特定氣體減排技術的適用性。某種技術可能非常適合連續生產製程，但對於像研發這樣不常運行的情況卻未必最具成本效益。而另一種技術可能才是半連續生產製程或部分中斷運行的最佳選擇。我們的專家很樂意協助您找到符合您特定應用的技術。
特定設施要求
設施的基礎設施也會影響哪種技術最為合適。不同的廢氣減排技術需要不同的佔地面積，因此必須考慮廢氣處理系統安裝的可用空間。此外，電力和氮氣等可用介質供應是另一個重要因素，同時考慮氧氣、燃料氣體和液體等其他技術特定要求。
要尋找合適的氣體減排系統，請與我們的專家聯絡。
氣體減排系統如何支援環境保護？
我們致力於透過先進的廢氣減排技術，將廢氣排放對環境的影響降至最低。我們的系統可有效減少有害排放，包括具有極高全球暖化潛力的高度持久性 PFC 氣體，如 CF4、SF6 和 NF3。透過在使用現場有效淨化這些氣體，我們的氣體減排系統有助於保護氣候並減少工業排放。
我們的減排解決方案符合所有重要的安全標準，並確保遵守嚴格的空氣質量法規，包括德國的 TA-Luft 法規。此外，我們的 ISO 14001 和 ISO 9001 認證也反映了我們對工業永續發展和高品質生產的承諾。
我們將尖端技術與關注永續發展相結合，提供提升營運效率並減少環境足跡的解決方案。
Pfeiffer 是否也提供氣體減排解決方案的客製化規劃？
每項安裝都有獨特的要求，這就是 Pfeiffer 的氣體減排系統具有模組化設計的原因，該設計可根據您的特定廢氣處理需求進行客製化。我們與您密切合作，根據您的製程和應用，開發高效、具有成本效益且永續的解決方案。
作為全方位服務供應商，我們確保從初始諮詢到啟動的詳細專案規劃，並繼續為您提供全面的售後和服務支援，以保持您的系統以最佳效能運行。
客製化氣體減排解決方案
為什麼 Pfeiffer 是氣體減排創新領域的領導者？
在 Pfeiffer，創新是我們所有氣體減排系統的核心。作為減排技術的全球技術領導者和一站式供應商，我們提供最先進、最高效的解決方案，以達到更清潔、更永續的行業標準，特別是在半導體製造領域。
我們的內部研究實驗室使我們能夠可持續開發尖端環境技術。此外，我們積極與大學和研究機構合作，透過確保安全合規的氣體減排來支援新製造製程的發展。